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[发明专利]气体激光装置和电子器件的制造方法-CN202180093444.2在审
发明人：石田启介 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01S3/104 文献下载
摘要：气体激光装置具有：激光振荡器，其包含一对放电电极和激光侧谐振器，该一对放电电极相互对置地配置且通过施加电压而利用激光气体产生光，该激光侧谐振器使光进行谐振；放大器，其包含放大部和放大侧谐振器；分束器，其使来自激光侧谐振器的光的一部分反射；光传感器，其检测被分束器反射的光；以及处理器，其根据光传感器的输出对电压进行控制。放大侧谐振器包含后镜和放大侧输出耦合镜，激光侧谐振器包含光栅和激光侧输出耦合镜。在电压低于电压的阈值的情况下，处理器将电压维持在阈值以上的固定值。
气体激光装置电子器件制造方法

[发明专利]激光加工装置和被加工物的加工方法-CN201880099248.4有效
发明人：新堀真史;若林理 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：激光加工装置具有：载置台，其载置被加工物；整形光学系统，其构成为对激光进行整形，以使激光在掩模中的第1照射区域成为具有短边和长边的矩形，该掩模构成为遮断激光的一部分，整形光学系统能够固定第1照射区域的与短边平行的方向上的第1照射宽度和第1照射区域的与长边平行的方向上的第2照射宽度中的一方，变更另一方；投影光学系统，其构成为将掩模的图案投影到被载置于载置台的被加工物；以及移动装置，其使第1照射区域至少在与短边平行的方向上移动，而使激光在被载置于载置台的被加工物中的第2照射区域移动。
激光加工装置方法

[发明专利]光隔离器、紫外线激光装置和电子器件的制造方法-CN202180092624.9在审
发明人：田丸裕基;三浦泰祐;安原亮 -专利权人： 极光先进雷射株式会社;大学共同利用机关法人自然科学研究机构
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G02B27/28 文献下载
摘要：本公开的一个观点的光隔离器具有：第1偏振片，其透射轴被配置成，该第1偏振片针对紫外线波长的线偏振的入射光的归一化透射率为0.9以上；法拉第转子，其是使用法拉第材料得到的，法拉第转子通过磁场使透过第1偏振片后的光的偏振方向沿第1旋转方向旋转第1旋转量，并且，通过光学活性或双折射使偏振方向沿与第1旋转方向相反的方向即第2旋转方向旋转第2旋转量；以及第2偏振片，其透射轴被配置成，该第2偏振片针对透过法拉第转子后的入射光的归一化透射率为0.9以上。
隔离器紫外线激光装置电子器件制造方法

[发明专利]腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法-CN202280014348.9在审
发明人：藤本准一;竹中怜;寺本昌伦;J·P·赛塞尔 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：腔装置(CH)具有：壳体(30)，其封入激光气体；一对放电电极(32a、32b)，它们通过被施加电压而利用激光气体产生光；窗口(31a、31b)，其被配置于壳体(30)的壁面，光透过该窗口；第1风扇(46)，其使激光气体在一对放电电极(32a、32b)之间流动；过滤器(53a、53b)；以及第2风扇(311、321)，其通过来自第1风扇(46)的驱动源(46a)的驱动力而与第1风扇(46)一起旋转。此外，腔装置(CH)具有：风扇侧流路(313、323)，由过滤器(53a、53b)过滤的激光气体借助第2风扇(311、321)在该风扇侧流路中流动，风扇侧流路使该激光气体的一部分向远离窗口(31a、31b)的方向流动；以及窗口侧流路(315、325)，其与风扇侧流路(313、323)连通，使借助第2风扇(311、321)从风扇侧流路(313、323)流动的激光气体向窗口(31a、31b)侧流动。
装置气体激光电子器件制造方法

[发明专利]腔装置和电子器件的制造方法-CN202280014355.9在审
发明人：藤本准一;巽贵浩;永井一喜;J·P·塞赛尔 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：腔装置(CH)具有：内侧壳体(50)，其包含通过口，在内侧壳体的内部空间中通过激光气体的激励而产生的光在该通过口通过；以及外侧壳体(70)，其从光的行进方向的侧方包围内侧壳体(50)的至少一部分。此外，腔装置(CH)具有分隔壁(80)，该分隔壁(80)被配置于内侧壳体(50)和外侧壳体(70)之间，被固定于内侧壳体(50)和外侧壳体(70)。
装置电子器件制造方法

[发明专利]光隔离器、紫外线激光装置和电子器件的制造方法-CN202180092720.3在审
发明人：田丸裕基;三浦泰祐;安原亮 -专利权人： 极光先进雷射株式会社;大学共同利用机关法人自然科学研究机构
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B27/28 文献下载
摘要：本公开的一个观点的光隔离器具有：第1偏振片，其使紫外线波长的线偏振的入射光透过；法拉第转子，其通过磁场使透过第1偏振片后的光的偏振方向旋转；以及第2偏振片，其使透过法拉第转子后的入射光透过。法拉第转子的法拉第材料为氟化钙晶体，在将晶轴的[001]的方向设为a轴、[100]的方向设为b轴、[010]的方向设为c轴时，在将这3个轴以c轴为中心旋转第1角度、以旋转了第1角度后的b轴为中心旋转了第2角度后的轴分别设为x轴、y轴和z轴的情况下，第1角度为40度以上且50度以下，第2角度为45度以上且75度以下，z轴与入射光的传播方向平行，以第1偏振片的透射轴与x轴之间的角度差处于0度以上且45度以下的范围内的方式配置氟化钙晶体。
隔离器紫外线激光装置电子器件制造方法

[发明专利]紫外线激光装置和电子器件的制造方法-CN202180092630.4在审
发明人：田丸裕基;三浦泰祐;安原亮 -专利权人： 极光先进雷射株式会社;大学共同利用机关法人自然科学研究机构
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B27/28 文献下载
摘要：本公开的一个观点的紫外线激光装置在振荡级激光器与放大器之间的光路上配置有光隔离器，该振荡级激光器输出紫外线波长的线偏振的脉冲激光，该放大器对脉冲激光进行放大并输出。光隔离器具有：第1法拉第转子，其通过第1方向的磁场使从振荡级激光器输出的脉冲激光的偏振方向向第1旋转方向旋转第1角度；第1偏振片，其被配置成使从第1法拉第转子输出的脉冲激光以0.9以上的归一化透射率透过；第2法拉第转子，其通过与第1方向相反的方向的磁场使透过第1偏振片后的脉冲激光的偏振方向向与第1旋转方向相反的方向旋转第2角度；以及第2偏振片，其被配置成使从第2法拉第转子输出的脉冲激光以0.9以上的归一化透射率透过。
紫外线激光装置电子器件制造方法

[发明专利]光源参数信息管理方法、光源参数信息管理装置和计算机可读介质-CN202180092695.9在审
发明人：峰岸裕司;若林理 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2021-03-24 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：光源参数信息管理方法对曝光装置中使用的光源的参数信息进行管理，其中，光源参数信息管理方法包含以下步骤：取得包含如下变量的项目和变量的目标值的优先目标参数信息，该变量的项目是在光源的运转中优先的优先目标参数；根据优先目标参数信息估计维护信息，该维护信息包含表示光源中的消耗品的到维护为止的寿命的值；以及输出维护信息。
光源参数信息管理方法装置计算机可读介质

[发明专利]激光系统和电子器件的制造方法-CN201880098238.9有效
发明人：三浦泰祐;若林理;五十岚裕纪 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01S3/225 文献下载
摘要：本公开的一个观点的激光系统通过波长转换系统将利用第1放大器对从第1半导体激光器系统输出的第1脉冲激光进行放大而得到的第2脉冲激光，波长转换为紫外线的第3脉冲激光，利用准分子放大器对第3脉冲激光进行放大。第1半导体激光器系统包含：第1电流控制器，其对流过第1半导体激光器的电流进行控制，以使从以单纵模进行振荡的第1半导体激光器输出的第1激光产生啁啾；以及对第1激光进行脉冲放大的第1半导体光放大器。激光系统具有控制部，该控制部对第1脉冲激光的啁啾量进行控制，以得到从外部装置指示的目标谱线宽度的准分子激光。
激光系统电子器件制造方法

[发明专利]激光加工装置和被加工物的加工方法-CN201980079677.X有效
发明人：新堀真史 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：激光加工装置具有：载置台，其载置被加工物；整形光学系统，其对激光进行整形，以使激光在掩模中的照射区域成为具有短边和长边的矩形状，所述掩模构成为遮断激光的一部分，整形光学系统能够与照射区域的与短边平行的方向上的第1照射宽度独立地，对照射区域的与长边平行的方向上的第2照射宽度进行变更，整形光学系统构成为能够使照射区域在与长边平行的方向上移动；投影光学系统，其构成为将掩模的图案投影到被载置于载置台的被加工物；以及移动装置，其构成为能够使照射区域在与短边平行的方向上移动。
激光加工装置方法

[发明专利]激光系统的控制方法、激光系统和电子器件的制造方法-CN202180080713.1在审
发明人：浅山武志 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：激光系统统包含：振荡级激光器，其输出第1激光；以及放大级激光器，其对第1激光进行放大，输出第2激光。激光系统的控制方法包含以下步骤：判定放大级激光器的放大特性变化的条件；在判定为满足条件的情况下，取得第1激光的脉冲能量与第2激光的参数之间的关系；以及根据取得的关系设定第1激光的目标脉冲能量。
激光系统控制方法电子器件制造

[发明专利]激光装置和电子器件的制造方法-CN202180088718.9在审
发明人：藤井光一;若林理 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：激光装置具有：光栅系统；致动器系统，其对入射到光栅系统的光束的第1部分相对于光栅系统的第1入射角和光束的第2部分相对于光栅系统的第2入射角进行调整；以及处理器，其对致动器系统进行控制，由此使第1和第2入射角以相位和变动范围中的至少一方不同的方式周期性地变动。
激光装置电子器件制造方法

[发明专利]机器学习方法、激光退火系统和激光退火方法-CN202180088721.0在审
发明人：池上浩;水谷彬 -专利权人：国立大学法人九州大学;极光先进雷射株式会社
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B23K26/03 文献下载
摘要：机器学习方法包含以下步骤：取得根据被照射到第1区域的照明光的反射光生成的图像数据，该第1区域是基板上的半导体膜的利用脉冲激光被进行激光退火后的区域；取得第1区域中的半导体特性的计测数据；生成将图像数据作为输入、将计测数据作为输出而对应起来的训练数据；以及根据训练数据进行使用神经网络的机器学习，生成学习完毕模型。
机器学习方法激光退火系统方法

[发明专利]激光系统、谱波形计算方法和电子器件的制造方法-CN202180088719.3在审
发明人：河野夏彦;大岩舜弥;守屋正人 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2021-02-11 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：能够与曝光装置连接的激光系统具有：分光器，其根据从激光系统输出的激光的干涉图案取得计测波形；以及处理器，其构成为使用第1中间函数和计测波形计算卷积谱波形，该第1中间函数是经过利用分光器的装置函数对曝光装置的空间像函数进行逆卷积积分的处理而得到的。
激光系统波形计算方法电子器件制造方法

[发明专利]激光系统和电子器件的制造方法-CN201880097096.4有效
发明人：三浦泰祐;若林理 -专利权人： 极光先进雷射株式会社
申请日： 2018-10-23 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本公开的一个观点的激光系统包含第1固体激光装置、波长转换系统、准分子放大器和控制部，第1固体激光装置包含第1多半导体激光器系统、第1半导体光放大器和第1光纤放大器。第1多半导体激光器系统包含第1多个半导体激光器、第1谱监视器和第1合束器，该第1多个半导体激光器的波长彼此不同，并且为单纵模，并且进行连续波振荡，控制部对由第1多个半导体激光器生成的第1多线谱的各线的振荡波长和光强度进行控制，以得到从外部装置指示的至少目标中心波长或目标谱线宽度的准分子激光。
激光系统电子器件制造方法

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