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[发明专利]湍流稳定的放电管-CN202211443479.7在审
发明人：张冉冉;潘其坤;赵崇霄;郭劲;陈飞;于德洋;张鲁薇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明提供一种湍流稳定的放电管，包括：折转段、进气管和放电段；所述折转段的内径为圆形，所述折转段的内径表面设置有湍流发生器，所述湍流发生器为螺旋状凸起；进气管设置在靠近折转段的初始端的侧面，进气管沿湍流发生器的螺旋方向且朝向放电段设置，进气管的设置角度与湍流发生器的螺旋角度相同；进气管设置在湍流发生器的相邻两个螺旋状凸起之间；放电段与折转段密闭连接，且放电段的外侧设置有放电电极。本发明使用了螺旋状的湍流发生器使混合气体3的湍流更充分，气体混合更均匀，进气口沿湍流发生器的绕向设置，采用非垂直入射的方式，有效降低了压力损失和温升，本发明的折转段长度短、由利于缩小激光器整机大小，且结构简单，制作成本低。
湍流稳定放电

[发明专利]基于单激光器的预主泵浦激光产生装置-CN202211259983.1在审
发明人：张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;赵崇霄;张鲁薇;张阔 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明提供一种基于单激光器的预主泵浦激光产生装置，包括：激光器、分束单元、主泵浦单元、预泵浦单元、合束单元、主放大器模块和液滴靶室模块；预泵浦单元包括第一预泵浦反射镜、脉冲波形调制模块、半波片、预泵浦激光放大器和第二预泵浦反射镜，通过分束单元对种子光进行分束，对分束后的预泵浦光进行脉冲波形调制、时间延迟和相位延迟，对主泵浦光进行预放大，再对两束光进行合束，产生用于放大和打靶的同轴的预主泵浦激光。在LPP‑EUV光源中，相比于传统的主泵浦光和预泵光独立产生和调控的方式，本发明仅需单台激光器产生种子光，具有光路相对简单、不需要复杂的消色差设计的合束镜、光束指向控制成本低、窗口镜工作寿命更长的优势。
基于激光器预主泵浦激光产生装置

[发明专利]抑制寄生振荡的激光放大装置-CN202211260107.0在审
发明人：张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;赵崇霄;张鲁薇;陈毅;张阔 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明提供一种抑制寄生振荡的激光放大装置，包括：n段非光学连续的气体通道，其内壁设置有噪声光吸收层；每段气体通道的两端设置有窗口镜，窗口镜的偏置角度与激光传输光路成布鲁斯特角；气体通道内设置有放电管，在气体通道外侧设置有放电电极，放电电极与放电管平行对应设置；相邻两段气体通道通过气体循环管道连接；隔离器设置在相邻两段气体通道之间，用于抑制噪声振荡；反射镜设置在激光传输光路上，用于改变激光的传输方向。本发明能够有效消除MOPA系统的寄生振荡，防止单台放大器自身产生的寄生振荡，有效降低了激光放大器起振可能性，并可以通过改变气体通道的数量提升寄生振荡的阈值，提高输出功率的稳定性和系统安全性。
抑制寄生振荡激光放大装置

[发明专利]一种气体光隔离装置及其方法-CN202111555698.X在审
发明人：张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;于德洋;张阔;孙俊杰;张鲁薇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种气体光隔离装置，包括用于为目标气体提供工作空间的吸收池、设置在吸收池两侧的用于通光的窗口镜、与吸收池连通的循环气路管道、与循环气路管道连通用于为目标气体提供循环动力的风机、与循环气路管道连通用于对目标气体进行温度控制的换热组件、与循环气路管道连通的用于对循环气路管道进行抽真空的抽气口、与循环气路管道连通用于提供目标气体的充气口、用于监测循环气路管道内气体状态和换热组件数据的监测组件、与监测组件电连接用于进行电气控制的控制组件，整个装置具有热稳定性好、损伤阈值高、长时间工作性能好、更适用于高功率激光系统的优点。本发明还提供一种气体光隔离方法。
一种气体隔离装置及其方法

[发明专利]一种四自由度激光指向控制系统及其控制方法-CN202011540777.9有效
发明人：于德洋;潘其坤;李鑫鹏;郭劲;陈飞;孙俊杰;张阔;张鲁薇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本申请公开了一种四自由度激光指向控制系统及其控制方法，包括：CO2激光器，用于发出激光光束；指向调节模块，包括第一压电陶瓷偏摆镜和第二压电陶瓷偏摆镜，用于调节激光光束的指向；分光模块，用于将激光光束分成第一光束和第二光束；第一光束轰击锡靶；第二光束传输至指向位置监测模块；指向位置监测模块，包括第一相机和第二相机，用于分别对激光指向的近场光斑位置和远场光斑位置进行测量；工控机，用于根据第一相机、第二相机中的光斑位置与预定位置的偏差，解算施加给指向调节模块的驱动信号，以实时调整第一压电陶瓷偏摆镜和第二压电陶瓷偏摆镜的水平与俯仰角度。这样可以实现对激光指向的准直稳定控制，显著降低光束的抖动情况。
一种自由度激光指向控制系统及其控制方法

[发明专利]一种激光功率稳定方法及激光功率放大系统-CN202010575698.5有效
发明人：潘其坤;郭劲;陈飞;谢冀江;李殿军;于德洋;张阔;孙俊杰;张鲁薇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H01S3/13 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光功率稳定方法及激光功率放大系统，激光产生装置产生种子激光脉冲，第一光调制装置用于改变通过光的偏振态，偏振元件用于阻止被第一光调制装置改变偏振态的光通过，光放大装置用于将通过偏振元件的光放大功率而输出。触发激光产生装置产生种子激光脉冲，并控制第一光调制装置改变在第一预设时间段内通过光的偏振态，通过第一光调制装置和偏振元件阻止种子激光脉冲的前沿噪声通过而进入光放大装置，从而消除种子激光脉冲的前沿噪声，能够消除种子激光脉冲的前沿噪声对激光放大功率、光增益扰动的影响，从而能够有效地提升对激光放大功率后输出的窄脉宽激光功率的稳定性以及各个脉冲能量的稳定性。
一种激光功率稳定方法放大系统

[发明专利]CO2-CN202010334463.7有效
发明人：潘其坤;郭劲;李殿军;陈飞;谢冀江;于德洋;张阔;孙俊杰;张鲁薇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种CO2激光放大器的上能级寿命测试装置，包括：用于向待测CO2激光放大器发送触发信号，启动待测CO2激光放大器激发工作粒子向上能级跃迁的信号触发器；用于对工作粒子由上能级向低能级跃迁释放出的能量产生的跃迁光线进行检测分析，并根据跃迁光线的能量以及持续时长确定待测CO2激光放大器的上能级寿命的测试装置。本申请中利用CO2激光放大器激发工作粒子，并对跃迁光线进行检测获得上能级寿命，能够更真实的模拟CO2激光放大器的实际工作过程，进而测得更准确的上能级寿命，为CO2激光放大器的应用提供更为可靠的数据依据。本申请还提供了一种CO2激光放大器的上能级寿命测试方法，具有上述有益效果。
co base sub

[发明专利]一种基于石墨烯的主振荡功率放大器-CN202011477010.6有效
发明人：郭劲;潘其坤;陈飞;张冉冉;于德洋;张阔;孙俊杰;邵春雷;张鲁薇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：本申请公开了基于石墨烯的主振荡功率放大器，包括主振荡激光器、第一扩束准直器件、透射式石墨烯光隔离器、第一放大器、反射镜、第二扩束准直器件、反射式石墨烯光隔离器、第二放大器；透射式石墨烯光隔离器包括第一基底、位于第一基底正面或第一基底背面的第一石墨烯薄膜；反射式石墨烯光隔离器包括第二基底、位于第二基底正面的第二石墨烯薄膜；第一石墨烯薄膜和第二石墨烯薄膜的直径大于入射激光的直径，第一基底正面、第二基底正面分别为面对第一扩束准直器件的表面、第二扩束准直器件的表面。透射式石墨烯光隔离器和反射式石墨烯光隔离器具有抑制小信号噪声光和大功率激光近无损耗通过的能力，可有效保证主振荡功率放大器的激光功率稳定性。
一种基于石墨振荡功率放大器

[发明专利]一种激光光源及激光光束方向的调整方法-CN202011256660.8在审
发明人：潘其坤;郭劲;陈飞;谢冀江;李殿军;张阔;于德洋;孙俊杰;张鲁薇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光光源，包括主振荡激光器、光路调整器、处理器、激光定位器及后级放大器；所述主震荡激光器产生的激光束通过所述光路调整器入射所述后级放大器；单个所述激光定位器包括框体及在所述框体上等间隔设置的激光探测器，所述激光束从所述框体中穿过；当所述激光束发生偏斜，与所述激光探测器接触时，所述激光定位器发送对应的偏斜方向信号至所述处理器；所述处理器根据所述偏斜方向信号调整所述光路调整器，使所述激光束不再与所述激光探测器接触。本发明提高了光束方向的调整效率，避免了人为误差，同时因为不需要插入半透镜，也就避免了插入损耗及波前畸变。本发明同时还提供了一种具有上述有益效果的激光光束方向的调整方法。
一种激光光源光束方向调整方法

[发明专利]一种超高重频窄脉宽CO2-CN201910926663.9有效
发明人：潘其坤;郭劲;陈飞;张阔;于德洋;孙俊杰;张鲁薇;何洋 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01S3/11 文献下载
摘要：本发明公开了一种超高重频窄脉宽CO2激光器，包括CO2激光增益管、偏振分光镜、第一光线调节支路、第二光线调节支路以及触发器，触发器的第一输出端通过第一可控开关与第一光线调节支路的控制端连接、第二输出端通过第二可控开关与第二光线调节支路的控制端连接，触发器通过输出的各个时序信号分别控制第一可控开关和第二可控开关的导通或关断；本发明可以通过触发器输出的每个时序信号分别控制第一可控开关和第二可控开关的动作，两个开关同步动作时输出激光的能量增强，非同步动作时提高激光重复频率，并且第一光线调节支路和第二光线调节支路共用一个CO2激光增益管能够更好的保障光束指向稳定一致性和光束质量一致性。
一种超高重频窄脉宽 co base sub

[发明专利]一种聚焦光学系统及极紫外光产生系统-CN202010698180.0在审
发明人： 张鲁薇;郭劲;陈飞;潘其坤;张阔;于德洋;孙俊杰;何洋;张冉冉 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚焦光学系统，第一激光源用于产生第一激光束，第二激光源用于产生第二激光束，第一光束变换装置用于将第一激光束变换为第一环形光束，并将形成的第一环形光束入射到合束装置，合束装置用于将第一环形光束引导传播到聚焦装置，将第二激光束引导传播到聚焦装置，使得第二激光束处于第一环形光束的中心孔内且第二激光束的光轴与第一环形光束的光轴重合，聚焦装置用于分别将第二激光束聚焦以及将第一环形光束聚焦。本发明的聚焦光学系统与现有的反射式聚焦系统相比避免了中心遮挡，避免了能量损失，因此能够提升能量利用率和抗损伤性能。本发明还公开一种极紫外光产生系统。
一种聚焦光学系统紫外光产生系统

[发明专利]一种长波二氧化碳激光隔离装置-CN202010699321.0在审
发明人：孙俊杰;郭劲;陈飞;潘其坤;张阔;于德洋;张鲁薇;何洋 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： H01S3/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种长波二氧化碳激光隔离装置，该装置设置于种子激光器和激光放大器之间，包括与所述种子激光器连接的缩束镜组，所述缩束镜组的另一端连接有空芯光纤的第一密封窗口，所述空芯光纤的另一端具有第二密封窗口，所述第二密封窗口还通过扩束镜组与所述激光放大器连接，其中，所述空芯光纤中填充有具有饱和吸收特性的气体，用于透过正向传输的激光且吸收反向传输的激光。上述长波二氧化碳激光隔离装置，能够解决现有饱和气体吸收隔离装置引起光束畸变、调节复杂、结构受限以及灵活性差的问题，更加灵活简洁且隔离效率更高。
一种长波二氧化碳激光隔离装置

[发明专利]一种程数可控的二氧化碳激光放大装置-CN201910927741.7在审
发明人：孙俊杰;潘其坤;郭劲;陈飞;张阔;于德洋;张鲁薇;何洋 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本申请公开了一种程数可控的二氧化碳激光放大装置，包括：种子激光器，用于输出或结合偏振元件输出线偏振激光光束；薄膜偏振片，用于将激光光束透射或反射；环形放大器，用于通过环形腔轴流激光放大结构放大激光能量，并注入光束变换系统；光束变换系统，用于将激光光束进行准直及尺寸变换后注入电光开关；电光开关，用于通过调控驱动电压动态调节激光光束的放大程数。这样利用环形腔轴流激光放大结构，有效抑制自激振荡，提高激光放大效率，同时环形放大器结构紧凑，有效减小体积；结合偏振控制元件、光束变换系统与电光开关，可实现任意程数的放大，放大程数控制灵活，在单一激光放大器内实现高增益的激光放大，且对注入种子光功率要求较低。
激光放大光束变换系统电光开关激光光束放大环形放大器环形腔轴流二氧化碳激光偏振控制元件薄膜偏振片激光放大器种子激光器尺寸变换动态调节放大装置功率要求激光能量偏振激光偏振元件驱动电压有效抑制自激振荡高增益可控的输出线种子光透射减小准直反射输出调控灵活申请

[发明专利]Arduino Due与FPGA的数据通信方法及系统-CN201811414447.8在审
发明人：王卫兵;张鲁薇;王锐;王挺峰;郭劲 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： G06F13/40 文献下载
摘要：本申请涉及通信控制技术领域，具体公开一种Arduino Due与FPGA的数据通信方法包括：分别配置Arduino Due和FPGA的通信信号引脚的第一电平强度，在所述时钟信号引脚为输入引脚时，配置所述片选信号引脚的电平强度为第二电平强度，开始由Arduino Due向FPGA写数据或由Arduino Due从FPGA读数据；若检测到所述输入引脚触发中断响应，则完成一次由Arduino Due向FPGA写数据或由Arduino Due从FPGA读数据；在所述时钟信号引脚为输出引脚时，若检测到所述片选信号引脚的片选信号下降，则开始由FPGA向Arduino Due写数据或由FPGA从Arduino Due读数据；若检测到所述输出引脚触发响应，则完成一次由FPGA向Arduino Due写数据或由FPGA从Arduino Due读数据。通过上述方法可使Arduino Due与FPGA之间进行快速数据通讯。
读数据写数据片选信号引脚时钟信号引脚输出引脚输入引脚数据通信检测通信控制技术触发响应触发中断快速数据片选信号通信信号配置引脚响应通讯申请

[发明专利]一种微流控对比光路检测系统-CN201310090408.8有效
发明人：蔡恩林;岑兆丰;李晓彤;王姗姗;黄焓;张鲁薇;罗红妹;董云 -专利权人：浙江大学
申请日： 2013-03-21 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种微流控对比光路检测系统，包括沿光路依次布置的探测光发生装置、待测样品盛放装置以及信号采集装置，在所述探测光发生装置与待测样品盛放装置之间设有用于将探测光分为第一光束和第二光束的分光装置；所述待测样品盛放装置为具有待测样通道和参照样通道的微流控芯片，所述第一光束和第二光束分别投射在待测样通道和参照样通道内，所述信号采集装置对通道内的信息进行采集。本发明微流控对比光路检测系统利用分光装置将探测光分成两个光束，可对待测样品和参照样品同时进行检测，提高检测的精确度；本发明微流控对比光路检测系统既可检测待测样品的荧光度，也可检测待测样品的吸光度，扩大了使用范围。
一种微流控对比检测系统

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