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[发明专利]准分子激光装置和电子器件的制造方法-CN201780096556.7有效
发明人：石田启介;守屋正人;河野夏彦;浅山武志;草间高史 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2017-12-05 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01S3/134 文献下载
摘要：本公开的准分子激光装置具有：标准具分光器，其计测激光的条纹波形；以及控制器，其求出根据标准具分光器的计测结果得到的谱空间中的第1比例的面积，根据所求出的第1比例的面积计算激光的第1谱线宽度，并且，根据相关函数对第1谱线宽度进行校正，该相关函数表示由基准计测器计测出的激光的第2谱线宽度与第1谱线宽度的相关。
准分子激光装置电子器件制造方法

[发明专利]窄带化激光装置-CN201580053741.9有效
发明人：守屋正人;太田毅;石田启介;草间高史 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2015-11-20 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： H01S3/13 文献下载
摘要：窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；一对放电电极，它们隔着激光谐振器的脉冲激光的光路配置；电源，其对一对放电电极施加脉冲状的电压；第1波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；第2波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及控制部，其根据第2计测结果对第1计测结果进行校正。控制部根据以第1方式控制电源时的第2计测结果与以第2方式控制电源时的第2计测结果之差，对第1计测结果进行校正，其中，该第1方式是电源以第1重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压，该第2方式是电源以比第1重复频率高的第2重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压。
窄带激光装置