[发明专利]一种基于强电场电离放电技术合成电子级乙硅烷的方法在审

专利信息
申请号: 202310702741.3 申请日: 2023-06-14
公开(公告)号: CN116924411A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 陈润泽;徐海云;李欣;鲁毅;孙加其;吝秀锋;王艳;李国伟 申请(专利权)人: 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
主分类号: C01B33/04 分类号: C01B33/04
代理公司: 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 代理人: 张晓佩
地址: 057550 河北省邯郸市肥乡区化工工业*** 国省代码: 河北;13
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种基于强电场电离放电技术合成电子级乙硅烷的方法,本发明以甲硅烷为初始原料,采用强电场电离放电技术制备乙硅烷,硅烷和乙硅烷混合气随后经过初步分离,硅烷返回系统继续使用,乙硅烷经过两步精制后得到电子级乙硅烷。本发明以甲硅烷为原始原料,以强电场电离放电技术为合成工艺,原料价格低廉,反应收率高,节能环保;同时使用两步法对产物进行精馏,提纯深度高、提纯效率高,适合大规模生产,对于降低生产乙硅烷成本,打破国外企业垄断有重要的意。
搜索关键词: 一种 基于 电场 电离 放电 技术 合成 电子 硅烷 方法
【主权项】:
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