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[发明专利]一种外延制程尾气全温程变压吸附提取硅烷的方法-CN202011537627.2有效
发明人：汪兰海;钟娅玲;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C01B33/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种外延制程尾气全温程变压吸附提取硅烷的方法，通过预处理、压缩冷凝、中温变压吸附浓缩、中浅冷精馏、硅烷精制与HCl水洗工序，从基于Si、SiC或蓝宝石衬底上进行含氯或不含氯的同质或异质CVD外延制程尾气中高纯度、高收率的提纯回收有效组分硅烷，并返回到CVD外延制程中循环使用，同时可副产盐酸，既实现尾气中有效组分的回收再利用，又减少了尾气排放，弥补了外延制程尾气回收与提纯SiH4技术的空白。
一种外延尾气全温程变压吸附提取硅烷方法

[发明专利]一种天然气水蒸气二段换热式复合转化制氢系统-CN202310634255.2在审
发明人：钟娅玲;牟树荣;陈运;汪兰海;钟雨明;蔡跃明 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C01B3/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种天然气水蒸气二段换热式复合转化制氢系统，是由预处理模块、换热转化模块、重整转化模块、变换反应模块与变压吸附(PSA)提氢模块组成，其目的是为解决天然气水蒸气转化制氢系统中现有技术突出的转化工段复杂、换热转化效率受限、传热转化深度受限、与其余制氢/提氢工段耦合协同作用小，以及仍然存在烟气排放等问题，能量梯级利用、高甲烷转化深度、系统能量自给平衡以及减少烟气排放的紧凑与高效前提下，完全替代SMR的辐射燃烧重整转化过程，使得制氢系统中各个模块之间的热量耦合更加合理、灵活与紧密，制氢系统热效率高达92～98％、H2收率高达90％以上，且系统便于撬装小型化，适合于加氢站内制氢。
一种天然气水蒸气二段换热式复合转化系统

[发明专利]一种基于有机硅与H2-CN202011533700.9有效
发明人：汪兰海;钟娅玲;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C01B3/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于有机硅与H2反应的SiC‑CVD外延制程尾气FTrPSA提氢与循环再利用方法，通过预处理、中温变压吸附、HCl喷淋吸收、吸附净化、变压吸附提氢、氢气纯化、氯硅烷喷淋吸收、多级蒸发/压缩/冷凝、氯硅烷中浅冷精馏工序，从基于有机硅与H2反应的SiC‑CVD外延制程尾气中回收并提纯至电子级氢气产品，返回到SiC‑CVD外延制程中循环使用，同时副产氯化氢(HCl)产品，或外输或返回至SiC‑CVD外延制程循环使用，既实现尾气有效组分H2及HCl回收再利用，又减少了尾气排放，弥补了基于有机硅与H2反应的SiC‑CVD外延制程尾气处理技术的空白。
一种基于有机硅 base sub

[发明专利]一种粗硅烷全温程变压吸附制取电子级硅烷的方法-CN202011533725.9有效
发明人：汪兰海;钟娅玲;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种粗硅烷全温程变压吸附制取电子级硅烷的方法，利用硅烷与杂质组分之间在不同温度与压力下的物理化学性质及相对吸附/精馏分离系数的差异，通过中温变压吸附提纯与浅冷变压吸附浓缩与精馏、化学吸附纯化耦合，粗硅烷气经过中浅冷精馏、中温变压吸附提纯、浅冷变压吸附浓缩及硅烷纯化工序，高纯度高收率地获得了纯度大于等于99.9999%、收率大于96%的电子级硅烷产品气。本发明适合于不同的方法制造出来的粗硅烷作为原料气，克服了现有的粗硅烷制取电子级硅烷所存在的粗硅烷制备方法不同而产生的粗硅烷中杂质组分不同所需的提纯制备电子级硅烷的方法不同的局限。
一种硅烷全温程变压吸附制取电子方法

[发明专利]一种用于LED-MOCVD制程含氨尾气净化的催化剂、其制备方法及其应用-CN201911424920.5有效
发明人： 钟雨明;汪兰海;陈运;唐金财;蔡跃明;蒋强 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B01J23/83 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于LED‑MOCVD制程含氨尾气净化的催化剂，其组成为，镍钴双金属催化剂制备前驱体为硝酸镍和硝酸钴混合溶液，助催化剂前驱物为硝酸镧与硝酸钾混合溶液，载体为经预处理的多层碳纳米管与氧化镁混合物，通过醇热法，通过醇热法，获得含活性组分镍20～50％(w/w，以下类同)、钴5～20％，含助催化组分镧1～10％，含促进剂钾1～5％，以及含其余的混合载体碳纳米管与氧化镁。本发明对LED‑MOCVD制程所产生的并经过水洗后的外延尾气进行脱氨净化而达到大气排放要求，或直接排放，或经过变压吸附(PSA)提纯、分子筛干燥及金属吸气剂纯化，获得纯度99.9999～99.99999％以上的氢气/氢氮混合气产品，返回LED‑MOCVD制程中循环使用，为LED产业绿色与循环经济发展填补了空白。
一种用于 led mocvd 制程含氨尾气净化催化剂制备方法及其应用

[发明专利]一种工业级乙醇全温程模拟旋转移动床变压吸附精制无水乙醇的方法-CN202210260655.7有效
发明人：唐金财;汪兰海;陈运;钟雨明;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B01D53/08 文献下载
摘要：本发明公开一种工业级乙醇全温程模拟旋转移动床变压吸附（FTrSRMPSA）精制无水乙醇的方法，针对传统的现有轴向流固定床PSA吸附与解吸循环步骤的时序控制是通过许多连接于各个吸附塔之间管道上的控制阀门所造成的各种弊端，以及现有技术的原料波动性适应性差、时序控制步骤少、难以实现传质“稳态”、产品纯度与收率矛盾突出、流程长、稳定性差等诸多问题，开发形成一个FTrSRMPSA系统，通过旋转阀与圆环形旋转托盘的旋转速度以及旋转方向的调配而灵活地实现了多/少步骤的吸附与解吸循环操作，实现了工业级乙醇蒸汽PSA脱水精制成无水乙醇的轴向流固定床层基础上进行的模拟旋转PSA工艺的无水乙醇产品的高纯度（99.9~99.99%）与高收率（98~99%）的“双高”。
一种工业乙醇全温程模拟旋转移动变压吸附精制无水方法

[发明专利]一种氯基SiC-CVD晶体与薄膜生长制程尾气中C2+与氯硅烷FTrPSA分离方法-CN202011537651.6有效
发明人：汪兰海;钟娅玲;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C01B32/963 文献下载
摘要：本发明公开了一种氯基SiC‑CVD晶体与薄膜生长制程尾气中C2+与氯硅烷FTrPSA分离方法，通过预处理、氯硅烷喷淋吸收、中温变压吸附浓缩、浅冷油吸收、多级蒸发/压缩/冷凝、HCl精制与氯硅烷中浅冷精馏工序，将氯基SiC‑CVD晶体与外延薄膜生长制程尾气中的C2+与氯硅烷进行清晰分离与净化，并满足SiC‑CVD制程所需的前驱物‑C2+及氯硅烷原料要求而加以返回循环再利用，解决了氯基SiC‑CVD制程尾气中最难且最关键的分离与净化的技术瓶颈，使得尾气或提氢或全组分回收H2、C2+、HCl及氯硅烷并返回到SiC‑CVD制程中循环使用成为可能，既实现尾气的回收再利用，又减少了尾气排放，弥补了氯基SiC‑CVD晶体或薄膜生长制程尾气处理技术的空白。
一种 sic cvd 晶体薄膜生长尾气 c2 硅烷 ftrpsa 分离方法

[发明专利]一种天然气水蒸气可调套管式复合转化制氢系统-CN202310651524.6在审
发明人：钟娅玲;牟树荣;陈运;汪兰海;钟雨明;蔡跃明 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C01B3/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种天然气水蒸气可调套管式复合转化制氢系统，是由预处理模块、重整转化模块、变换反应模块与变压吸附(PSA)提氢模块组成，提供的一种在天然气水蒸气转化制氢系统中的能量传递、转化效率以及能量平衡的紧凑与高效前提下，使得制氢系统中各个模块与工段之间的协调与耦合更加灵活与紧密，使得重整转化模块中的燃烧重整段与传热重整段之间的转化负荷、甲烷转化率、H2产率及S/C与H2/CO比的调节幅度随着可移动的传热重整段的位置而改变，其热效率高达92～98％、H2收率高达90％以上，且系统便于撬装小型化，适合于加氢站内制氢。
一种天然气水蒸气可调套管复合转化系统

[发明专利]一种旋转分配器用于从空气中提纯N2-CN202210256743.X有效
发明人： 钟雨明;陈运;汪兰海;詹家聪;陈勇;蔡跃明 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转分配器用于从空气中提纯N2的方法，涉及从空气中提纯N2的装，其目的在于解决现有技术中变压吸附每步都需要一条管道、管道不能共用带来的系统结构复杂的问题。在本申请中创造性地使用了旋转分配器，在旋转分配器的外壳内设置可转动的流道分布器，并在流道分布器中设置具有多种功能的独立的功能腔室，不同功能的功能腔室与对应吸附塔连通或阻断连通时，使对应吸附塔处于吸附、压降、压升、顺放、逆放、冲洗、终充或保持阶段，并在各阶段之间进行切换；该旋转分配器可替代原有的旋转阀，且无需设置复杂的吸附管道，不存在复杂的桥架布线、程序编制等工作，吸附系统结构更加简化，生产成本更低。
一种旋转分配器用于空气提纯 base sub

[发明专利]一种全温程模拟旋转移动床变压吸附FTrSRMPSA气体分离与净化方法-CN202210256871.4有效
发明人： 钟雨明;陈运;汪兰海;詹家聪;陈勇;蔡跃明 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B01D53/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种全温程模拟旋转移动床变压吸附FTrSRMPSA气体分离与净化方法，涉及气体分离与净化的变压吸附PSA领域，由n个轴向流固定床层并安置在一个以旋转速度ω2的圆环形旋转托盘上的吸附塔、有m个通道并安置在圆环形托盘中央的以旋转速度ω1旋转的旋转阀、旋转阀与系统外物料气体进出的物料管道以及连接于经圆环形托盘内置管道至吸附塔上下与旋转阀之间的工艺管道以及相应的驱动圆环形托盘及旋转阀旋转及其调控其旋转速度ω1与ω2的驱动机构、缓冲罐、加热/冷却/换热器及/或真空泵/或增压系统所构成，实现各原料气PSA分离与净化提取产品气的轴向流固定床层基础上进行的模拟旋转PSA工艺的高纯度与高收率的双高。
一种全温程模拟旋转移动变压吸附 ftrsrmpsa 气体分离净化方法

[发明专利]合成气分离提取H2-CN202210257272.4有效
发明人： 钟雨明;陈运;汪兰海;詹家聪;陈勇;蔡跃明 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B01D53/06 文献下载
摘要：本发明公开了合成气分离提取H2/CO的全温程模拟旋转移动床变压吸附工艺，是以变压吸附为基础，包括多塔中温变压吸附浓缩系统、多塔中温中间气变压吸附系统、甲烷氢提氢变压吸附系统、浓缩气变温吸附系统，形成一个合成气脱酸气及分离提取高纯度高收率的H2与CO产品气的全温程模拟旋转移动床变压吸附FTrSRMPSA系统，实现了轴向流固定床变压吸附基础上的模拟旋转移动床变压吸附及变温吸附中的吸附与解吸多步骤的循环操作，在实现收率与纯度“双高”及避免深度吸附的同时，适用于合成气相应的流量、组分浓度、压力或温度的波动工况，克服了现有技术包括固定床、循环床、流化床、旋转轮吸附及模拟移动床工艺的缺陷。
合成气分离提取 base sub

[发明专利]一种GaN-MOCVD尾气提取H2与NH3的全温程模拟旋转移动床变压吸附工艺-CN202210259581.5有效
发明人：钟娅玲;汪兰海;陈运;唐金财;钟雨明;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B01D53/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种GaN‑MOCVD尾气提取H2与NH3的全温程模拟旋转移动床变压吸附工艺将置于上下两个多通道旋转阀中央且在其周围安置于一圆环形旋转托盘上多个轴向流固定床吸附塔与旋转速度机构所构成的中高温变压吸附氨浓缩系统与中间气变压吸附提氢系统，使得流经旋转阀通道及吸附塔进出口端管道及吸附床层的气体，在每个吸附塔进出口的位置及每个吸附床层在旋转同时完成各自的吸附与解吸步骤的传质，形成了“模拟旋转移动床”的变压吸附过程，实现了轴向流固定床变压吸附基础上的模拟旋转移动床变压吸附过程，而高纯度高收率地获得H2与NH3产品，并返回GaN‑MOCVD制程中循环使用。
一种 gan mocvd 尾气提取 h2 nh3 全温程模拟旋转移动变压吸附工艺

[发明专利]乙烯与硅烷反应的SiC-CVD无氯外延制程尾气FTrPSA回收与循环再利用方法-CN202011542338.1有效
发明人： 钟雨明;钟娅玲;汪兰海;陈运;唐金财;蔡跃明;蒋强 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C01B3/56 文献下载
摘要：本发明公开了乙烯与硅烷反应的SiC‑CVD无氯外延制程尾气FTrPSA回收与循环再利用方法，属于半导体材料与半导体制程环保技术领域，以解决现有的处理的方法耗能高，成本高，不安全，大量有效组分未能有效利用，排放还带来温室效应的问题，通过预处理、中温变压吸附浓缩、浅冷变压吸附浓缩、吸附净化、氢气纯化、浅冷油吸收、中浅冷精馏、硅烷提纯与乙烯精制工序，将尾气中的氢气、硅烷、乙烯及甲烷有效组分进行了高纯度高收率的回收并返回至SiC‑CVD外延制程循环再利用，既实现尾气的有效组分全回收与循环再利用，又减少了尾气排放，弥补了SiC‑CVD外延制程尾气处理技术的空白，安全，耗能低，成本低。
乙烯硅烷反应 sic cvd 外延尾气 ftrpsa 回收循环再利用方法

[发明专利]一种甲醇水蒸气转化制备H2的催化剂及其应用-CN201911406272.0有效
发明人：汪兰海;钟娅玲;陈运;唐金财;钟雨明;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B01J23/83 文献下载
摘要：本发明公开了一种甲醇水蒸气转化制备H2的催化剂及其应用，催化剂组成为，铜钴双金属催化剂制备前驱体为硝酸铜（Cu(NO3)2）和硝酸钴（Co(NO3)3）混合溶液，助催化剂前驱物为硝酸镧系（La(NO3)3）与硝酸钾（KNO3）混合溶液，载体为经预处理的多层碳纳米管（CNTs）与活性氧化铝（Al2O3）混合物，通过醇热溶‑焙烧法，获得含活性组分铜40~60%（w/w，以下类同）、钴10~20%，含助催化组分镧1~5%，含促进剂钾1~5%，以及含其余的混合载体碳纳米管与活性氧化铝，其中，催化剂在甲醇水蒸气转化反应温度为240~300℃，反应压力为1.0~3.0MPa下，单位催化剂的空速可达到1,600~3,000/g（催化剂）·h以上，甲醇转化率为96~99%以上，甲醇消耗为每一标方氢气产品所消耗的原料甲醇为0.38~0.40公斤。
一种甲醇水蒸气转化制备 h2 催化剂及其应用

[发明专利]一种旋转分配器用于沼气分离甲烷的方法-CN202210256741.0有效
发明人： 钟雨明;陈运;汪兰海;詹家聪;陈勇;蔡跃明 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转分配器用于沼气分离甲烷的方法，涉及从沼气中分离甲烷，其目的在于解决现有技术中变压吸附每步都需要一条管道、管道不能共用带来的系统结构复杂的问题。在本申请中创造性地使用了旋转分配器，在旋转分配器的外壳内设置可转动的流道分布器，并在流道分布器中设置具有多种功能的独立的功能腔室，不同功能的功能腔室与对应吸附塔连通或阻断连通时，使对应吸附塔处于吸附、压降、压升、顺放、逆放、冲洗、终充或保持阶段，并在各阶段之间进行切换；该旋转分配器可替代原有的旋转阀，且无需设置复杂的吸附管道，不存在复杂的桥架布线、程序编制等工作，吸附系统结构更加简化，生产成本更低。
一种旋转分配器用于沼气分离甲烷方法

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