[发明专利]一种晶圆低可靠性失效管芯的标注方法和装置在审
| 申请号： | 202110406245.4 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113148946A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 易丛文;徐文丞;林孟喆;戴静安 | 申请（专利权）人： | 筏渡（上海）科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 周良玉 |
| 地址： | 200090 上海市杨浦区长阳*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种低可靠性失效管芯的标注方法和装置，该方法包括：根据第一晶圆图获取若干第一管芯；第一管芯通过预先进行的第一低可靠性失效标注被认定为低可靠性失效，第一低可靠性失效标注基于晶圆功能测试的结果进行；对若干第一管芯进行可靠性测试，获得可靠性测试结果；根据可靠性测试结果和所述晶圆功能测试的结果，确定第二低可靠性失效标注依据的第一数值边界。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆低 可靠性 失效 管芯 标注 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于筏渡（上海）科技有限公司，未经筏渡（上海）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110406245.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于决策树的文档安全等级划分方法
- 下一篇：一种偏光膜卷材良率的模拟方法
- 同类专利
- 一种半导体导电薄膜线宽的在线测试结构及方法-202011168378.4
- 宋玉洁;周再发 - 东南大学
- 2020-10-28 - 2023-09-29 - B81C99/00
- 本发明公开了一种半导体导电薄膜线宽的在线测试结构及方法，在与待测半导体导电薄膜一端侧制备与其连成整体的圆形半导体薄膜，圆形半导体薄膜周侧设置四个接触电极，采用改进的四点探针法测量并计算得到接触电极的张开角度，进一步得到半导体薄膜的半导体方块电阻。然后通过对待测半导体导电薄膜施加电压，通过测量两电极之间的电流来计算其电阻值，最后由待测半导体导电薄膜的电阻和几何尺寸的关系得出半导体导电薄膜线宽的宽度值。本发明的测试结构采用基本的微机电加工工艺完成，加工过程与微机电器件同步，符合在线测试的要求。测试过程采用简单的直流电流源作为激励源，并仅需采用普通的电压测试设备，即可完成所有的激励与测试过程。
- 电容式MEMS装置-202320216680.5
- 威特·弗雷克;威廉姆斯·凯特;黄莉 - 美新半导体（天津）有限公司
- 2023-02-14 - 2023-09-26 - B81C99/00
- 本实用新型提供一种电容式MEMS装置，其包括：MEMS器件，其包括检测电容，所述检测电容包括第一电极、第二电极和质量块；检测电路；与第一电极耦接的第一开关电路；与第二电极耦接的第二开关电路。在自检的第一阶段时，第一开关电路将第一电极耦接至第一电源端，第二开关电路将第二电极耦接至第二电源端；在自检的第二阶段时，第一开关电路将第一电极耦接至所述检测电路的第一输入端，第二开关电路将第二电极耦接至所述检测电路的第二输入端，所述检测电路对第一电极和第二电极的信号进行检测并输出自检响应信号，基于所述自检响应信号确定所述MEMS器件是否功能正常。这样，不需要增加额外的自检电极就可以完成自检。
- 一种高刚度的三维全解耦微动平台-202310644157.7
- 张国庆;曹帅康;马雨婷;霍泽轩;张旭 - 深圳大学
- 2023-05-31 - 2023-09-12 - B81C99/00
- 本申请提供了一种高刚度的三维全解耦微动平台，包括支架；微动机构包括有主体、第一执行结构、第二执行结构和第三执行结构，主体设置在支架上，第一执行结构可沿第一方向活动地设置在主体上，第一执行结构上设有第一加固部，第二执行结构可沿着第二方向活动地设置在第一执行结构上，第二执行结构上设有第二加固部，第三执行结构可沿着第三方向活动地设置在第二执行结构上第二驱动器与第二执行结构传动连接；第三驱动器与第三执行结构传动连接。本申请提供的一种高刚度的三维全解耦微动平台，通过在第一执行结构和第二执行结构中分别设有第一加固部和第二加固部，从而提高微动机构的刚性强度，进而提高微动平台的解耦性能和提高解耦效率。
- 一种基于铌酸锂单晶薄膜外场调控纳米级逻辑门的方法-202310444369.0
- 耿文平;乔骁骏;陆昊;丑修建;牛丽雅;李稼禾;余楠鑫;段志刚;张亦驰;游亚军 - 中北大学
- 2023-04-24 - 2023-06-30 - B81C99/00
- 本发明属于半导体技术领域，涉及MEMS材料制备，具体为一种基于铌酸锂单晶薄膜外场调控纳米级逻辑门的方法，LN/SiO
- 多适应性的全压电跨尺度多维微纳刻划加工系统及方法-202310104857.7
- 刘英想;孙建华;邓杰;张仕静;陈维山;刘军考 - 哈尔滨工业大学
- 2023-02-13 - 2023-06-23 - B81C99/00
- 多适应性的全压电跨尺度多维微纳刻划加工系统及方法，属于微纳结构加工技术领域，解决微纳加工质量和适应性低问题。本发明的系统包括：四自由度跨尺度压电微纳定位平台，多维压电操控器、结构支撑部件与传感控制部件，所述四自由度跨尺度压电微纳定位平台可独立且协同实现跨尺度X，Y方向的平移运动和绕X轴和Y轴的旋转运动，用于微纳结构刻划形状的控制，所述多维压电操控器可产生独立且协同实现两个正交方向的弯曲微动和沿着轴向的伸缩微动，用于微纳结构宽度的控制，所述结构支撑部件用于架构操控系统部件，调控刻刀与样品间的距离，所述传感控制部件用于加工力与位移的反馈与控制。本发明适用于复杂表面结构的高效精准微纳加工。
- 复用电极的电容式MEMS装置及其自检方法-202310132468.5
- 威特•弗雷克;威廉姆斯•凯特;黄莉 - 美新半导体（天津）有限公司
- 2023-02-14 - 2023-05-23 - B81C99/00
- 本发明提供一种电容式MEMS装置及其自检方法。所述电容式MEMS装置包括：MEMS器件，其包括检测电容，所述检测电容包括第一电极、第二电极和质量块；检测电路；与第一电极耦接的第一开关电路；与第二电极耦接的第二开关电路。在自检的第一阶段时，第一开关电路将第一电极耦接至第一电源端，第二开关电路将第二电极耦接至第二电源端；在自检的第二阶段时，第一开关电路将第一电极耦接至所述检测电路的第一输入端，第二开关电路将第二电极耦接至所述检测电路的第二输入端，所述检测电路对第一电极和第二电极的信号进行检测并输出自检响应信号，基于所述自检响应信号确定所述MEMS器件是否功能正常。这样，不需要增加额外的自检电极就可以完成自检。
- 一种电磁直驱六自由度解耦柔性纳米定位平台-202310061909.7
- 谢超;赖磊捷 - 上海工程技术大学
- 2023-01-18 - 2023-05-16 - B81C99/00
- 本发明涉及一种电磁直驱六自由度解耦柔性纳米定位平台，该定位平台包括底板(1)和位于底板(1)之上的动平台(2)，以及位于底板(1)和动平台(2)之间的多个水平运动支链和多个垂直运动支链。与现有技术相比，本发明共有八个运动支链并联，四个水平分布运动支链驱动动平台产生前后、左右移动和水平面上的转动，四个垂直运动支链驱动动平台产生竖直方向的移动、俯仰转动及左右摆动。此外，本发明还在运动支链末端加入柔性球铰作为解耦装置，来降低输入输出以及各自由度方向上的耦合。
- 两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台-201910092068.X
- 崔玉国;惠相君;李锦棒;杨依领;汪家乐;孙靖康 - 宁波大学
- 2019-01-30 - 2023-03-31 - B81C99/00
- 本发明公开了两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台，包括用作承载物体的动台面，以及间隙设于动台面下方的底座，底座设有呈正三角分布且垂直动台面作独立伸缩运动的第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元。第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元的结构相同，分别包括螺固于底座且垂直动台面作独立伸缩运动的双桥式放大机构，用于驱动双桥式放大机构的压电执行器，以及设于双桥式放大机构和动台面之间的柔性连接件；通过协调控制第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元的运动能实现动台面的两转动及一平动。本发明的优点是结构简单紧凑、位移行程大、无位移耦合。
- MEMS悬空以及薄膜结构去层装置以及方法-202211532397.X
- 范小涛;高强 - 上海季丰电子股份有限公司
- 2022-12-01 - 2023-03-21 - B81C99/00
- 本申请提供了一种MEMS悬空以及薄膜结构去层装置以及方法，涉及MEMS技术领域，缓解了目前MEMS悬空以及薄膜结构去层完整度较低的技术问题。装置包括：带标识的隔热胶带、AI摄像机、加热装置、用于执行撕扯动作的机械装置；加热装置对粘贴于目标MEMS晶片上的隔热胶带进行加热，通过加热使隔热胶带上的胶体发生膨胀反应，以使胶体黏在MEMS晶片的薄膜上或黏在悬空结构上；AI摄像机用于采集隔热胶带上多个标识的当前图像，并利用AI摄像机分析当前图像对应的隔热胶带的形变状态；机械装置用于基于隔热胶带的形变状态通过撕扯动作将胶体发生膨胀反应后的隔热胶带从MEMS晶片上分离。
- 一种基于柔性铰链结构的XY全解耦微运动平台-202111172431.2
- 侯贺天;吕秉锐;刘春艳;林彬 - 天津大学
- 2021-10-08 - 2023-02-03 - B81C99/00
- 一种基于柔性铰链结构的XY全解耦微运动平台，它涉及微纳加工制造领域。本发明解决了现有的两自由度XY运动机构输出块往往较小，携带较大物体实施精密操作，且往往面临两个方向动态性能差异较大，存在XY两个方向运动耦合的问题。本发明的X向压电陶瓷推动X向移动块沿X向发生位移，X向移动块通过四个平行的直圆形双切口柔性铰链与机架铰接，X向移动块通过八个Y向解耦结构分别与四个输出角板块相连。Y向压电陶瓷推动Y向移动块本体沿Y向发生位移，Y向移动块本体通过四个平行的直圆形双切口柔性铰链与机架铰接，Y向移动块本体通过八个X向解耦结构分别与四个输出角板块相连。本发明用于增大输出平台尺寸以实现对较大物体实施高精度定位操作。
- Bosch工艺的工艺参数的监控方法、系统和存储介质-201810650378.4
- 牧净艳 - 北京北方华创微电子装备有限公司
- 2018-06-22 - 2023-01-17 - B81C99/00
- 本发明公开了一种Bosch工艺的工艺参数的监控方法、系统和存储介质。包括：获取父配方信息中包括的若干子配方以及每个子配方的循环次数；每个子配方均执行下述步骤：S110、设定当前子配方的各工艺步骤的采样点；S120、分别获取相同工艺步骤在不同循环次数时，执行到采样点时的变化量参数实际值；S130、将各变化量参数实际值与对应的工艺步骤的变化量参数设定值进行容差比较，以得出各采样点的合法性；S140、根据各采样点的合法性判断是否需要输出容差报警。可以有效监控工艺过程中的变化量参数的变化情况，从而可以根据变化量参数的变化情况对当前工艺过程进行调整，进而可以避免废片现象发生，提高晶片的生产良率，降低晶片的制作成本。
- 一种振动辅助加工用纳米微定位平台-202222775241.6
- 李亮;史立岩;王辉 - 天津金石精密机械有限公司
- 2022-10-19 - 2023-01-17 - B81C99/00
- 本实用新型是一种振动辅助加工用纳米微定位平台，包括平台本体，平台本体上开设有xy平台安装槽，xy平台安装槽内安装有xy平台，xy平台的左右两侧铰接有x向双复合式平行移动副且前后两侧铰接有y向双复合平行移动副，x向双复合式平行移动副、y向双复合平行移动副均通过平行轴式柔性铰链铰接有Scott‑Russell放大机构，Scott‑Russell放大机构连接有二级杠杆放大机构，二级杠杆放大结构一侧设有压电陶瓷驱动器。本实用新型在满足工作行程条件下扩大平台的工作行程和消除系统的耦合误差，平台通过三级位移放大机构扩大工作行程，利用平行轴式柔性铰链和双复合式平行移动副构成解耦机构，消除了运动耦合误差。
- 一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法-202211305026.8
- 王潇悦;吴亚明;凌必赟;陈栋;徐巧 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 2022-10-24 - 2023-01-06 - B81C99/00
- 本发明提供一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法，所述蚀刻测量图形结构用于测量晶圆蚀刻量，所述蚀刻测量图形结构包括以线性阵列排布的测量图形；各所述测量图形之间的间距依次构成等差数列。本发明的钻蚀量的测量方法中，通过设置蚀刻测量图形结构，测量图形成等差数列排布；在不影响晶圆整体工艺的情况下，基于测量图形的边缘连接情况获得钻蚀的数值，测量精度高。
- 一种两自由度精密运动平台-202221563995.9
- 谢文龙;甘金强;张俊仓;龙家荣;邓高峰;张旭东;万乐进;陈枫;王宇 - 中国地质大学（武汉）
- 2022-06-20 - 2022-12-02 - B81C99/00
- 本实用新型提供一种两自由度精密运动平台，包括定平台沿Y方向延伸；一级动平台呈沿X方向和Y方向延伸的框式结构，设定平台一侧，二级动平台设于一级动平台内；第一杠杆放大机构和第二杠杆放大机构分别包括两个沿Y方向间隔并行设置且沿X方向延伸的第一和第二杠杆，第一杠杆分设定平台两侧；第二杠杆设二级动平台内；一个压电陶瓷与第一杠杆连接，另一压电陶瓷与第二杠杆连接；平行导向机构设一级动平台与第一杠杆之间；第一梁结构设于一级动平台的两侧，连接一级动平台和两个第一杠杆；第二梁结构设于二级动平台的两侧，连接二级动平台和两个第二杠杆；第一梁结构的宽度方向沿Z方向延伸、第二梁结构的宽度方向沿X轴延伸设置。
- 一种二维材料悬空释放装置及方法-202210779245.3
- 刘瑛;刘冠军;邱静;吕克洪;张勇;杨鹏;郭斯琳 - 中国人民解放军国防科技大学
- 2022-07-04 - 2022-10-04 - B81C99/00
- 本发明公开了一种二维材料悬空释放装置及方法，该装置包括：二维材料样品高度调整模块，用于通过支撑材料夹持待悬空释放的二维材料样品，以及调整二维材料样品浸入溶液中的深度；二维材料悬空释放溶液置换模块，具有支撑材料去除溶剂，用于去除二维材料表层的支撑材料；置换溶液注入模块，用于向二维材料悬空释放溶液置换模块中加注支撑材料去除溶剂，以及以低表面张力的置换溶液置换高表面张力的支撑材料去除溶剂。本发明应用于微纳系统技术领域，通过低表面张力的溶液置换和二维材料浸入液面高度量化控制，弥补传统方法工艺的不稳定性，可显著降低二维材料悬空释放过程中的破损率，可推广至二维材料悬空器件批量制备。
- 测试仪器及其测试方法-202111314089.5
- 刘源双;洪盟焜;庄明彻;王炳胜 - 知微电子有限公司
- 2021-11-08 - 2022-09-30 - B81C99/00
- 本发明公开一种测试仪器及其测试方法，其中该测试仪器包括一测试平台、一装载装置、一测试信号产生装置、一声音传感装置、一控制单元以及一卸载装置。所述装载装置用于装载多个待测装置到所述测试平台。所述测试信号产生装置，用以产生至少一测试信号，其中所述多个待测装置接收所述至少一测试信号，并根据所述至少一测试信号产生至少一测试声音。所述声音传感装置，用于接收所述至少一测试声音。所述控制单元控制所述卸载装置从所述测试平台卸载所述多个待测装置，并控制所述卸载装置根据所述声音传感装置所接收的所述至少一测试声音将所述多个待测装置分类成多个组。
- 一种球型分层确定氮化镓湿法刻蚀全速率的方法-202210682690.8
- 幸研;陈晔 - 东南大学
- 2022-06-16 - 2022-09-20 - B81C99/00
- 本发明公开了一种球型分层确定氮化镓湿法刻蚀全速率的方法，包括如下步骤：步骤10)获得氮化镓半球以及氮化镓轮幅结构；步骤20)利用AFM测量步骤10)的氮化镓半球，获得刻蚀前的氮化镓半球坐标，并利用SEM拍摄步骤10)的轮幅结构；步骤30)刻蚀步骤10)的氮化镓半球以及轮幅结构；步骤40)利用AFM测量刻蚀后的氮化镓半球，获得刻蚀后的氮化镓半球坐标，并利用SEM拍摄刻蚀后的轮幅结构；步骤50)对所述步骤20和步骤40获得的数据进行处理，获得氮化镓湿法刻蚀全速率。该方法通过借助灰度图利用聚焦离子束技术在氮化镓晶片上加工出凸半球冠及凸半球底以及轮幅结构。并且腐蚀前后借助原子力显微镜获得腐蚀前后半球冠和半球底坐标点，从而得到刻蚀速率。
- 一种DRIE工艺误差监测系统及方法-202210200613.4
- 吴国强;冯荣辉;吴忠烨 - 武汉大学
- 2022-03-03 - 2022-09-02 - B81C99/00
- 本发明属于MEMS器件加工监测技术领域，公开了一种DRIE工艺误差监测系统及方法。本发明结合测试数据库和有限元仿真数据库，可获得晶圆由于工艺误差引起的特征尺寸损耗、侧壁陡直度和倾斜度的实际误差值。本发明能够在不破坏晶圆的情况下，实现对DRIE工艺多参数晶圆级无损监测，可获取晶圆上局部或整体区域的具体参数，保证了监测数据的有效性和准确性，对于提高基于DRIE工艺的MEMS器件性能有重要意义。
- 金刚石对顶砧集成器件的方法-202210465682.8
- 赵帅;戴深宇;郭奥钿 - 季华实验室
- 2022-04-29 - 2022-09-02 - B81C99/00
- 本发明公开了一种金刚石对顶砧集成器件的方法，属于材料加工技术领域。该方法包括：在微阵列模板的表面上形成液相层；将金刚石对顶砧的砧面与微阵列模板的表面贴合，以使液相层位于金刚石对顶砧的砧面与微阵列模板之间，得到复合体；烘干复合体，得到砧面集成有器件的目标金刚石对顶砧。本发明利用具有微阵列结构的微阵列模板，使得制备材料溶液可以按照对应的微阵列结构附着于砧面上，然后通过加热烘干析出晶体，从而使得析出的晶体可以按照对应的微阵列结构形成所需器件。本发明无需采用光刻或人工的加工工艺在金刚石对顶砧上集成器件，避免了传统工艺导致的材料损坏、操作复杂和精度较低的问题，从而提升了集成器件的质量和效率。
- 一种芯片加热开盖装置-202220537966.9
- 邱珮如 - 闳康技术检测（上海）有限公司
- 2022-03-11 - 2022-07-29 - B81C99/00
- 本申请涉及芯片处理的技术领域，尤其是涉及一种芯片加热开盖装置，包括水平设置的定位平台，定位平台上竖直设置有滑杆，定位平台的上方水平设置有高度调节块，高度调节块的套设并固定连接于滑杆，高度调节块的一端设置有用于夹取芯片上盖的夹取组件，定位平台上还设置有高温加热器，且高温加热器位于夹取组件的下方，高温加热器的上顶面设置有加热板，加热板的面积小于高温加热器上顶面的面积，高温加热器内设置有多个加热线圈，且多个加热线圈均固定连接在加热板的下方。本申请能够降低芯片开盖作业的难度。
- 微电子封装组件的高真空全自动封装测试设备-202123184206.9
- 王成君;杨晓东;张红梅;李安华;武春晖;范旭利 - 西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
- 2021-12-17 - 2022-06-14 - B81C99/00
- 本发明公开了一种微电子封装组件的高真空全自动封装测试设备，解决了如何设计一种低成本占地空间小，并可高质量完成平行封焊的全自动封装测试设备的问题。采用多个高真空腔室顺次串联的结构，实现高真空密封器件的自动化封装生产流水作业，顺次串联的高真空腔室包括真空预处理腔、真空激活腔、真空视觉对位及平行封焊腔、真空测试腔、真空转运腔；各工艺腔通过门阀，实现彼此隔离和连通；MEMS器件先通过进料门依次进入真空预处理腔后，被转运机构转运到真空激活腔，再被转运到真空视觉对位及平行封焊腔，通过平行焊接机构进行平行封焊，随后进入到真空测试腔进行测试，最后进入真空转运腔后，从出料门出料。
- 一种MEMS敏感芯片的湿法腐蚀装置-202122474875.3
- 任强;朱丰;张琦;王晓朋 - 浙江芯动科技有限公司
- 2021-10-14 - 2022-06-10 - B81C99/00
- 本实用新型公开了一种MEMS敏感芯片的湿法腐蚀装置，涉及到芯片生产领域，包括装置主体，所述装置主体的开口两端内壁上均固定连接有同步气缸，所述同步气缸的输出端连接有气缸推杆，所述同步气缸的下方设置有清理块。本实用新型通过在装置主体内设置有放置盘，放置盘通过连接柱与电机的输出轴连接，使得电机能够带动放置盘转动，带动放置盘上的芯片转动，提高了芯片腐蚀的效率，同时在装置主体上设置有同步气缸，同步气缸上的气缸推杆通过连接板带动放置盘向上移动，能够将放置盘移出腐蚀液，同时再通过电机带动放置盘转动，通过离心力将芯片上附着的腐蚀液甩出，达到了清理的效率，同时甩出的腐蚀液落到装置内，不会造成浪费。
- 一种嵌入Scott-Russell机构的复合桥式二自由度解耦微位移定位平台-202210054000.4
- 陈云壮;赖磊捷;吴海涛 - 上海工程技术大学
- 2022-01-18 - 2022-05-13 - B81C99/00
- 本发明涉及一种嵌入Scott‑Russell机构的复合桥式二自由度解耦微位移定位平台，包括固定机架、位移输入平台、运动输入机构、嵌入Scott‑Russell机构的复合桥式机构、双平行四边形导向系统及工作平台；运动输入机构的两端分别连接一个位移输入平台；运动输入机构通过复合桥式机构与双平行四边形导向系统传动连接，工作平台与双平行四边形导向系统相连。与现有技术相比，本发明依靠嵌入Scott‑Russell机构的复合桥式机构和双平行四边形导向机构，解决了现有技术中固有频率低以及输出耦合高等问题，此外，这种组合设计还有助于提高结构刚度，增加二自由度柔性解耦微位移定位工作台在工作过程中的稳定性。
- 微机电系统惯性器件的惯性测试装置-202122445386.5
- 柯亮;林武;李妍君;金羊华 - 美新半导体（天津）有限公司
- 2021-10-09 - 2022-04-15 - B81C99/00
- 本实用新型提供一种微机电系统惯性器件的惯性测试装置，其包括：离心机，其包括离心机转轴和离心机样品台，离心机转轴受控转动；离心机样品台固定于离心机转轴的一端；三轴定位基座，其固定于离心机样品台上；测试板，其用于放置参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，测试板可拆卸的固定于三轴定位基座的不同面，以实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个轴上运动方向的切换；上位机，其与离心机通信连接，以控制离心机转轴转动；上位机与测试板通信连接，当离心机转轴受控转动时，参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件输出实际测量的加速度数据至上位机。与现有技术相比，本实用新型可以对微机电系统惯性器件进行高精度、高效率的的测试。
- 微电子封装组件的高真空全自动封装测试设备-202111551514.2
- 王成君;杨晓东;张红梅;李安华;武春晖;范旭利 - 西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
- 2021-12-17 - 2022-02-22 - B81C99/00
- 本发明公开了一种微电子封装组件的高真空全自动封装测试设备，解决了如何设计一种低成本占地空间小，并可高质量完成平行封焊的全自动封装测试设备的问题。采用多个高真空腔室顺次串联的结构，实现高真空密封器件的自动化封装生产流水作业，顺次串联的高真空腔室包括真空预处理腔、真空激活腔、真空视觉对位及平行封焊腔、真空测试腔、真空转运腔；各工艺腔通过门阀，实现彼此隔离和连通；MEMS器件先通过进料门依次进入真空预处理腔后，被转运机构转运到真空激活腔，再被转运到真空视觉对位及平行封焊腔，通过平行焊接机构进行平行封焊，随后进入到真空测试腔进行测试，最后进入真空转运腔后，从出料门出料。
- 微电子封装组件的高真空全自动封装测试方法-202111553874.6
- 杨晓东;王成君;王宏杰;王涛;薛志平;王玉亮 - 西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
- 2021-12-17 - 2022-02-22 - B81C99/00
- 本发明公开了一种微电子封装组件的高真空全自动封装测试方法，解决了如何设计一种低成本占地空间小，并可高质量完成平行封焊的全自动封装测试设备的问题。采用多个高真空腔室顺次串联的结构，实现高真空密封器件的自动化封装生产流水作业，顺次串联的高真空腔室包括真空预处理腔、真空激活腔、真空视觉对位及平行封焊腔、真空测试腔、真空转运腔；各工艺腔通过门阀，实现彼此隔离和连通；MEMS器件先通过进料门依次进入真空预处理腔后，被转运机构转运到真空激活腔，再被转运到真空视觉对位及平行封焊腔，通过平行焊接机构进行平行封焊，随后进入到真空测试腔进行测试，最后进入真空转运腔后，从出料门出料。
- 一种微纳双模检测加工模块-201910368975.2
- 闫永达;史文博;耿延泉;胡振江;王桐;常顺宇 - 哈尔滨工业大学
- 2019-05-05 - 2022-02-08 - B81C99/00
- 本发明公开了一种微纳双模检测加工模块，所述模块包括Z向压电位移台、支架、电容式位移传感器、电容固定座、调节座、锁紧支座、上固定环、PZT激振器、下固定环、测试螺钉、柔性铰链、挡环、固定螺母和探针，其中：所述电容式位移传感器固定在电容固定座；所述电容固定座固定在调节座上方；所述上固定环、PZT激振器、下固定环、测试螺钉、柔性铰链、挡环、固定螺母和探针依次固定在调节座下方；所述探针通过固定螺母和测试螺钉固定在柔性铰链上；所述调节座固定在锁紧支座；所述锁紧支座固定在支架上；所述支架固定在Z向压电位移台上。该模块具有在线检测、伺服加工功能，相比较与商业化AFM，具有更大的加工尺寸及材料适用范围。
- 液体表面微纳粒子定向操纵装置及操纵方法-202111211477.0
- 李炜;戈帕尔·韦尔马;安阳 - 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 2021-10-18 - 2022-01-18 - B81C99/00
- 本发明提供一种液体表面微纳粒子定向操纵装置及操纵方法，其中的液体表面微纳粒子定向操纵装置包括球形曲面透明容器和泵浦激光器，球形曲面透明容器用于盛载液体；泵浦激光器位于球形曲面透明容器的下方，泵浦激光器用于发出泵浦光，泵浦光从球形曲面透明容器的底部入射至液体与空气的界面诱导产生突起，突起引发液体与空气的界面产生毛细力，微纳粒子受毛细力的吸引向突起移动，且在未到达突起的中心位置时毛细力变为排斥力，使微纳粒子停止运动。本发明能够在不侵入微纳粒子的情况下实现对微纳粒子的操纵与捕捉，且结构简单、使用方便、造价低。
- 一平动两转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台-202111029592.6
- 聂建成;崔玉国;杨依领;娄军强;谢启芳 - 宁波大学
- 2021-09-03 - 2022-01-04 - B81C99/00
- 本发明公开了一平动两转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台，包括定平台，定平台上方间隙设有动平台，定平台和动平台的中央设有透光孔，定平台设有第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元四个驱动单元；四个驱动单元分别顺次顶在动平台下方的四个正交方位上；第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元的结构相同，包括固定在定平台上的基座，分别连接在动平台底部和基座上的杠杆组件，施加在杠杆组件上的动力装置;四个驱动单元的结构相同，包括基座第一柔性件、杠杆、第二柔性件和动力装置。本发明在上下厚度方向上结构布局紧凑，平台位移行程大，第一柔性件式杠杆所传递的位移不会产生耦合位移。
- 一种三自由度双向运动精密定位平台-202111245627.X
- 甘金强;龙家荣;邓高峰;张俊仓;张旭东;昌诗宇 - 武汉菲森客科技有限公司
- 2021-10-26 - 2021-12-28 - B81C99/00
- 本发明公开了一种三自由度双向运动精密定位平台，包括平台的固定端、桥式放大机构、单平行导向机构、Z型梁结构和工作平台，所述平台的固定端，被设置为静止不动，且平台的固定端包括外圈的四边环形固定端与中间四个正方形的固定端，所述桥式放大机构包括四个压电陶瓷。该三自由度双向运动精密定位平台，是使两自由度精密定位平台采用Z型梁弯曲变形的原理，利用其原理在X与Y轴反向布置Z型梁，实现了空间三自由度双向运动，并具有较大的行程，而本发明相对于传统三自由度精密定位平台的最大优势在于不仅可以实现三自由度运动，还以平面机构方式实现，节约了空间，并可实现相对中心点的双向运动，在某些特定的工作场合具有较大优势。
- 专利分类
