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[发明专利]一种晶圆低可靠性失效管芯的标注方法和装置-CN202110407551.X有效
发明人：易丛文;徐文丞;林孟喆;戴静安 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种低可靠性失效管芯的标注方法，该方法包括：通过晶圆功能测试，获取晶圆图；根据晶圆图，确定该晶圆图对应的晶圆上是否存在区域性管芯失效；当存在区域性管芯失效时，确定第一目标管芯，第一目标管芯位于与所述区域性管芯失效对应的失效区域临接的区域中，且该第一目标管芯通过功能测试；判断围绕该第一目标管芯的相邻管芯中，是否存在至少第一预定数量m的失效管芯，如果是，则对该第一目标管芯进行低可靠性失效标注。
一种晶圆低可靠性失效管芯标注方法装置

[发明专利]一种针对结构化数值型数据生成文本的方法及装置-CN202210346474.6在审
发明人：李云健;夏敏;易丛文;徐文丞 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G06F40/274 文献下载
摘要：本发明提供一种针对结构化数值型数据生成文本的方法，包括：获取结构化数值数据，该结构化数值数据为半导体制造相关的数值序列；将数值序列输入训练完成的自然语言生成模型，得到数值序列对应的描述文本，描述文本描述了数值序列对应的异常信息。本发明提供的针对结构化数值型数据生成文本的方法，将结构化数值型数据转化为更易于识别的文本数据，更好的揭示了半导体制造过程中的异常现象。
一种针对结构数值数据生成文本方法装置

[发明专利]一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的方法及装置-CN202210346505.8在审
发明人：徐文丞;易丛文;夏敏 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供一种构建知识图谱用于半导体制造良率分析的方法，包括：获取与半导体制造相关的目标数据；对所述目标数据进行知识抽取，获得与半导体制造相关的实体，以及其间的关系；以所述实体为节点，以关系为连接边，构建半导体制造相关的目标知识图谱；所述目标知识图谱用于对半导体良率进行分析和/或确定半导体良率对应的决策。本发明通过构建的目标知识图谱，实现了半导体制造领域中半导体良率分析和/或提升决策的智能化。
一种构建知识图谱用于半导体制造分析方法装置

[发明专利]一种知识图谱的更新方法及装置-CN202210343925.0在审
发明人：夏敏;张涛;李云健;易丛文;徐文丞 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G06F16/36 文献下载
摘要：本发明提供一种知识图谱的更新方法，包括：获取静态知识图谱，静态知识图谱基于目标数据构建，目标数据包括，半导体制造过程中产生的历史数据；基于当前数据构建动态知识图谱，当前数据为当前预设时间段内半导体制造过程中产生数据；基于动态知识图谱，更新静态知识图谱。本发明提供的知识图谱的更新方法，利用对后续半导体制造过程中产生的数据分析产生的知识，例如缺陷发现以及根因，对静态知识图谱进行不断的更新补全，保证了知识图谱的知识全面性。
一种知识图谱更新方法装置

[发明专利]一种针对结构化数值型数据生成文本的方法及装置-CN202210343943.9在审
发明人：夏敏;李云健;易丛文;徐文丞 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G06F16/2455 文献下载
摘要：本发明提供一种针对结构化数值型数据生成文本的方法，包括：获取结构化数值数据，该结构化数值数据为半导体制造相关的数值序列；基于预设的规则模板，为数值序列匹配对应的描述文本，该描述文本描述了数值序列对应的异常信息。本发明提供的针对结构化数值型数据生成文本的方法，将结构化数值型数据转化为更易于识别的文本数据，更好的揭示了半导体制造过程中的异常现象。
一种针对结构数值数据生成文本方法装置

[发明专利]一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置-CN202110407543.5有效
发明人：徐文丞;易丛文;林孟喆;戴静安 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： G06F16/245 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置，晶圆良率问题数据库为预先建立的，其中包括多个失效类别及其相关的失效特征和对应的指证性数据，该方法包括：在多个第一晶圆图中确定存在预定的失效模式的若干第二晶圆图；提取第二晶圆图的第一失效特征，据以确定第二晶圆图的第一失效类别；根据第一失效类别和多个失效类别的失效特征的相似度，确定多个失效类别中的若干第二失效类别、以及第一失效类别与第二失效类别的失效特征匹配数量；根据第一失效类别和第二失效类别的指证性数据的相似度，确定第一失效类别与各第二失效类别的指证性数据匹配数量；根据失效特征和指证性数据匹配数量，对若干第二失效类别进行第一排序并展示。
一种晶圆良率问题数据库搜索方法装置

[发明专利]基于机器学习的芯片性能参数测试方法和装置-CN202111519259.3在审
发明人：易丛文;徐文丞;林孟喆 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本说明书实施例提供了一种基于机器学习的芯片性能参数测试方法和装置。该方法的一具体实施方式包括：控制测试机台对同一批次的晶圆进行采样，其中，上述测试机台被设置为，第一部分机台按照第一采样密度采集晶圆上芯片的第一测试用数据，第二部分机台按照第二采样密度采集晶圆上芯片的第二测试用数据，上述第一采样密度小于上述第二采样密度；使用预设的机器学习模型对上述第一测试用数据进行处理，生成第一测试参数；使用预定拟合曲线方法对上述第二测试用数据进行处理，生成第二测试参数；基于上述第一测试参数和上述第二测试参数，完成上述同一批次的晶圆上的芯片的电学性能参数测试。
基于机器学习芯片性能参数测试方法装置

[发明专利]基于迁移学习的工艺制程调试方法和装置-CN202111582874.9在审
发明人：易丛文;徐文丞;林孟喆 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本说明书实施例提供了一种基于迁移学习的工艺制程调试方法和装置。该方法的一具体实施方式包括：获取材料供应方已训练的机器学习模型，其中，机器学习模型的模型参数包括针对各生产调试参数的第一权重因子；根据客户方的调试数据，构建训练样本集，其中，训练样本集中的训练样本包括生产调试参数和产品性能参数；基于训练样本集，对机器学习模型进行进一步训练，得到针对各生产调试参数的第二权重因子；根据各生产调试参数的第一权重因子与第二权重因子，从生产调试参数中确定生产调试参数作为待调试参数；将待调试参数发送给材料供应方，以供材料供应方基于待调试参数对生产工艺制程进行调试。
基于迁移学习工艺调试方法装置

[发明专利]一种晶圆失效功能的关系的确定方法和装置-CN202110407539.9在审
发明人：易丛文;徐文丞;林孟喆;戴静安 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种晶圆失效功能的关系的确定方法和装置。该方法包括，根据对晶圆进行功能测试的晶圆测试结果，获取晶圆中的多个失效单元的失效功能和位置；将多个失效单元的失效功能，分别转化为多个第一向量；根据多个第一向量、以及多个失效单元的位置，确定多个失效单元各自对应的第一数据；根据多个所述第一数据,利用聚类算法，获取第一结果，所述第一结果用于指示晶圆失效功能之间的关系。
一种失效功能关系确定方法装置

[发明专利]一种晶圆低可靠性失效管芯的标注方法和装置-CN202110406245.4在审
发明人：易丛文;徐文丞;林孟喆;戴静安 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： B81C99/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种低可靠性失效管芯的标注方法和装置，该方法包括：根据第一晶圆图获取若干第一管芯；第一管芯通过预先进行的第一低可靠性失效标注被认定为低可靠性失效，第一低可靠性失效标注基于晶圆功能测试的结果进行；对若干第一管芯进行可靠性测试，获得可靠性测试结果；根据可靠性测试结果和所述晶圆功能测试的结果，确定第二低可靠性失效标注依据的第一数值边界。
一种晶圆低可靠性失效管芯标注方法装置

[发明专利]一种建立晶圆良率问题数据库的方法和装置-CN202110422604.5在审
发明人：徐文丞;易丛文;林孟喆;戴静安 -专利权人： 筏渡（上海）科技有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： G06F16/21 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种建立晶圆良率问题数据库的方法和装置，该方法包括：在多个第一晶圆图中，确定其中存在预设的失效模式的若干第二晶圆图；提取若干第二晶圆图中的失效特征；根据失效特征,确定各第二晶圆图的失效类别；根据所述失效类别，获取对于不同失效类别的第二晶圆图的失效原因的调查结果；将失效类别与调查结果、失效类别相关的失效特征关联起来，保存于数据库。
一种建立晶圆良率问题数据库方法装置

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