[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202110295192.3 | 申请日: | 2021-03-19 |
公开(公告)号: | CN113451391A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 中谷贵洋;新田哲也;大塚翔瑠 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/739;H01L27/06 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供提高了恢复动作时的破坏耐量的半导体装置。本发明涉及的半导体装置(100)为相邻地设置有绝缘栅型双极晶体管区域(1)和二极管区域(2)的半导体装置,绝缘栅型双极晶体管区域(1)具有:第2导电型的基极层(9),其设置于第1主面侧的表层;第1导电型的发射极层(8),其选择性地设置于基极层(9)的第1主面侧的表层;栅极电极(7a),其设置于半导体基板的第1主面侧,在沿第1主面的第1方向上并列配置多个,隔着栅极绝缘膜(6a)面向发射极层(8)、基极层(9)及漂移层(12);以及第1导电型的载流子注入抑制层(10),其选择性地设置于基极层(9)的第1主面侧的表层,在第1方向上被基极层(9)夹着。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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