[发明专利]一种MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202110273282.2 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN112672261A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 山东新港电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00;B81C1/00;B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 潍坊中润泰专利代理事务所(普通合伙) 37266 | 代理人： | 田友亮 |
| 地址： | 261200 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风。其中，所述MEMS芯片包括具有背腔的衬底以及设置在所述衬底同一侧的电容系统；所述电容系统包括振膜和背极板；所述振膜具有凹凸结构，所述背极板同样具有凹凸结构，且与所述振膜嵌套设置。与平面结构的电容系统相比，本发明的具有凹凸结构的电容系统，可显著增大振膜与背极板之间的有效电容，提高MEMS麦克风的灵敏度和信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 芯片 及其 制作方法 麦克风 | ||
【主权项】：
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