[发明专利]MEMS器件、MEMS器件的系统、制作MEMS器件的方法有效
| 申请号： | 201410019257.1 | 申请日： | 2014-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103922269B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | A.德赫 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;H04R27/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 马丽娜,胡莉莉 |
| 地址： | 德国瑙伊比贝*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | MEMS器件、MEMS器件的系统、制作MEMS器件的方法。一种MEMS器件、制作MEMS器件的方法和MEMS器件的系统被示出。在一个实施例中，MEMS器件包括第一聚合物层，设置在第一聚合物层上的MEMS衬底和由MEMS衬底支撑的MEMS结构。该MEMS器件进一步包括在MEMS衬底中设置的第一开口和在第一聚合物层中设置的第二开口。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 系统 制作 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS器件，包括：第一聚合物层；设置在所述第一聚合物层上的衬底；由所述衬底支撑的MEMS结构；设置在所述衬底中的第一开口，其中所述第一开口包括空腔；和设置在所述第一聚合物层中的第二开口，其中所述第二开口包括空腔，并且其中所述第一聚合物层进一步包括小开口，所述小开口比所述第二开口更小并且将所述第二开口连接到所述第一聚合物层的表面。
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