[发明专利]一种MEMS结构的测量系统在审
申请号: | 202010317016.0 | 申请日: | 2020-04-21 |
公开(公告)号: | CN111405454A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 刘端 | 申请(专利权)人: | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
主分类号: | H04R29/00 | 分类号: | H04R29/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本申请公开了一种MEMS结构的测量系统,用于测量待测MEMS结构的灵敏度,包括:参考MEMS结构,用于接收激励信号并发生振动;待测MEMS结构,用于接收激励信号并发生振动;激光测振仪,用于测量参考MEMS结构和待测MEMS结构的振膜的振动幅度;基于参考MEMS结构的振动幅度与待测MEMS结构的振动幅度的比率,以及参考MEMS结构的灵敏度,获取待测MEMS结构的灵敏度。这种MEMS结构的测量系统无需在消音室中测量灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 mems 结构 测量 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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