[发明专利]MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风模组和电子设备有效
| 申请号： | 202110203471.2 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN112995869B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 周宗燐;邱冠勋 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/06;H04R31/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风模组和电子设备。其中，MEMS芯片包括衬底、振膜以及背极板，振膜设于所述衬底的表面，所述振膜凸设有第一凸起，所述第一凸起开设有贯穿所述振膜的泄气孔；所述背极板电连接于所述振膜背对所述衬底的一侧，并与所述振膜之间形成有振动间隙，所述第一凸起位于所述振动间隙内，所述泄气孔与所述振动间隙连通，所述背极板开设有连通所述振动间隙的开孔。本发明技术方案的MEMS芯片能够维持气压平衡，保证良品率和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 芯片 及其 制作方法 麦克风 模组 电子设备 | ||
【主权项】：
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