[发明专利]一种栅极、薄膜晶体管的制作方法和显示面板在审
| 申请号： | 202010752766.0 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111883582A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 卓恩宗;夏玉明;李伟 | 申请（专利权）人： | 北海惠科光电技术有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/49;H01L21/336;H01L29/786;H01L27/32;G02F1/1343 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种栅极、薄膜晶体管的制作方法和显示面板，包括步骤：在衬底上利用物理气相沉积铝金属膜；在铝金属膜上方利用原子层沉积钼金属膜；蚀刻铝金属膜和钼金属膜以形成预设图案的栅极；通过两种不同的方法分别制成两层不同的铝金属膜和钼金属膜作为栅极，所述铝采用物理气相沉积，成膜均匀致密，提高电子的迁移率，增强导电率，所述钼采用原子层沉积技术制成，钼金属膜阶梯覆盖率，沉积的密度均匀，使得导电性较强，同时钼金属膜表面平坦，致密度和平整度较强，对后续制程不会造成残留，提高钼金属膜的界面特性，同时，若用原子层沉积技术制作铝金属膜，所需的时间较长，分开不同的技术方法制程，避免影响产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 栅极 薄膜晶体管 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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