[发明专利]增强的半导体管芯及相关方法在审
申请号: | 201911040775.0 | 申请日: | 2019-10-30 |
公开(公告)号: | CN111146145A | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | E·N·托伦蒂诺;周志雄;林育圣;许瑞霞 | 申请(专利权)人: | 半导体元件工业有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/78 | 分类号: | H01L21/78;H01L29/739 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 秦晨 |
地址: | 美国亚*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明题为“增强的半导体管芯及相关方法”。本发明公开了形成多个增强的管芯的方法的实施方式,该实施方式可以包括:在衬底上形成多个管芯;以及图案化金属组框架以形成多个金属板。多个金属板可以对应于多个管芯。该方法可以包括将金属组框架耦接在多个管芯上方并切单多个管芯。多个管芯中的每个管芯可以包括来自耦接在多个管芯上方的多个金属板中的对应金属板。 | ||
搜索关键词: | 增强 半导体 管芯 相关 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造