[发明专利]一种可控硅器件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201911025815.4 申请日: 2019-10-25
公开(公告)号: CN110828548A 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 赖首雄;张潘德;蓝浩涛 申请(专利权)人: 深圳市德芯半导体技术有限公司
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/167;H01L29/745;H01L21/332
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 张海燕
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区坂*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请属于半导体器件技术领域,提供了一种可控硅器件及其制备方法,其中,衬底层的第一侧设有正面阳极发射区、阴极发射区、绝缘介质层,衬底层的第二侧设有背面阳极发射区,通过在衬底层掺杂铂元素的方式对其少数载流子的寿命进行调节,从而在不改变衬底层的掺杂浓度情况下降低可控硅器件的关断时间,解决了现有的可控硅器件关断时间较长,应用在中高频的开关电路中时存在的关断异常的问题。
搜索关键词: 一种 可控硅 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
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