[发明专利]孔道穿过的光子芯片在审

专利信息
申请号: 201910486625.6 申请日: 2019-06-05
公开(公告)号: CN110581436A 公开(公告)日: 2019-12-17
发明(设计)人: 塞尔维·梅内佐;塞维琳·谢尔米 申请(专利权)人: 原子能和替代能源委员会
主分类号: H01S5/022 分类号: H01S5/022
代理公司: 11413 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 邰凤珠;谢攀
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 一种光子芯片包括:在接合界面(40)处接合到互连层(36)的光学层(38),该光学层的厚度小于15μm;主孔道(50‑52),其仅在下表面(34)和接合界面(40)之间延伸穿过互连层;电端子,其选自嵌入光学层(38)内部的电触点(74)和产生在上表面上的电轨道(106、108);次孔道(100、102、130),其使主孔道延伸到光学层的内部,以将主孔道电连接到电端子,该次孔道在光学层(38)内部从接合界面(40)延伸至电端子,该次孔道的最大直径小于3μm。
搜索关键词: 光学层 接合界面 次孔道 电端子 主孔道 互连层 光子芯片 延伸穿过 接合 电触点 电轨道 电连接 上表面 延伸 嵌入
【主权项】:
1.一种基本上位于称为“芯片平面”的平面中的光子芯片,该光子芯片包括:/n-衬底(30),其具有与芯片平面平行的上表面(32)和下表面(34),并且在所述上表面和所述下表面之间包括:/n·厚度大于50μm的互连层(36),该互连层不含光学部件,/n·在接合界面(40)处接合到互连层的光学层(38;202),/n·至少一个光学部件(70、72;256),其埋置在光学层(38;202)的内部,/n·电端子,其选自嵌入光学层(38;202)内部的电触点(74;212;264),该嵌入的电触点是光学部件(72)或电子部件(210)的电触点和在衬底的上表面上产生的电轨道(106、108;276、280)的电触点,/n-在衬底的下表面上产生的电连接焊盘,这些焊盘中的每个都能够通过焊接凸点(152-154)与另一载体(14)电连接,/n-主孔道(50-52),其从所述下表面(34)延伸穿过互连层,以将连接焊盘之一电连接到电端子,该主孔道具有大于或等于10μm的直径,/n其特点在于:/n-所述光学层(38;202)的厚度小于15μm,/n-所述主孔道(50-52)仅在所述下表面(34)和接合界面(40)之间延伸穿过互连层,使得主孔道不延伸到光学层(38;202)的内部,并且/n-所述光子芯片包括次孔道(100、102、130;204;252、254、258),所述次孔道使主孔道延伸到光学层的内部,以将主孔道电连接到电端子,该次孔道在光学层(38;202)内部从接合界面(40)延伸至电端子,该次孔道的最大直径小于3μm。/n
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  • 本发明提供一种半导体激光器的封装结构及叠阵结构,涉及半导体器件封装技术领域。该叠阵封装结构包括:包括:半导体激光芯片、导电衬底、补强片。半导体激光芯片的两个键合面各与一个导电衬底平行且键合。补强片固定于导电衬底的侧面,且补强片平行于半导体激光芯片与导电衬底的堆叠方向,其中,补强片的热膨胀系数大于半导体激光芯片和导电衬底组合体的膨胀系数,使得补强片对半导体激光芯片和陶瓷基板在厚度方向施加足够的压应力,与半导体激光芯片和导电衬底自身厚度方向上的拉应力相抵消,降低了GS结构中半导体激光芯片开裂的风险。
  • 一种半导体激光器封装结构-201910958275.9
  • 廖伟春 - 深圳市彩立德照明光电科技有限公司
  • 2019-10-10 - 2019-12-06 - H01S5/022
  • 本发明涉及一种半导体激光器封装结构,包括激光芯片、用于固定激光芯片的支架、以及反射镜,反射镜用于改变激光芯片所发射光束的前进方向;反射镜有间距地设置于激光芯片的侧面,反射镜的底部与支架固定连接;激光芯片为边射型激光芯片,其底部与支架固定连接,当激光芯片通电激励后,激光束由相对反射镜的一侧射出,激光束经反射镜反射后向支架的外部射出,即将侧发激光束改变为正发式激光,达到类似垂直腔面发射激光器的效果;激光芯片通过散热板与支架固定,提高了散热效率,进而可以设计输出功率更高的激光器,并减缓器件老化、提高激光器寿命;另外相比TO管封装方式,本发明的封装结构为表面贴式的封装,提高了生产效率。
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