[发明专利]用于形成分级纤锌矿III族氮化物合金层的方法有效

专利信息
申请号: 201880078771.9 申请日: 2018-12-04
公开(公告)号: CN111448674B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 李晓航;刘开锴 申请(专利权)人: 阿卜杜拉国王科技大学
主分类号: H01L33/02 分类号: H01L33/02;H01L33/00;H01L21/02
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 罗小晨;刘继富
地址: 沙特阿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于在第二层上形成包括包含纤锌矿III族氮化物合金的分级纤锌矿III族氮化物合金层的半导体器件的方法。基于半导体器件的预期功能选择针对分级纤锌矿III族氮化物合金层的极化掺杂浓度分布。基于所选择的针对分级纤锌矿III族氮化物合金层的极化掺杂浓度分布,确定分级纤锌矿III族氮化物合金层的组分‑极化变化率和分级纤锌矿III族氮化物合金层的分级速度。组分‑极化变化率和分级速度均基于纤锌矿III族氮化物合金的第一元素和第二元素的组分。使用所确定的组分‑极化变化率和分级速度,基于分级纤锌矿III族氮化物合金层中距离第二层的当前位置来调整纤锌矿III族氮化物合金的第一III族氮化物元素和第二III族氮化物元素的组分,以在第二层上形成具有所选择的极化掺杂浓度分布的分级纤锌矿III族氮化物合金层。
搜索关键词: 用于 形成 分级 锌矿 iii 氮化物 合金 方法
【主权项】:
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