[实用新型]一种铸造单晶硅锭的侧部加热装置有效

专利信息
申请号: 201821522953.4 申请日: 2018-09-18
公开(公告)号: CN208917336U 公开(公告)日: 2019-05-31
发明(设计)人: 董朝龙;熊达;雷杰;漆龙武;喻炜;雷琦;张泽兴;黄林 申请(专利权)人: 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
主分类号: C30B13/14 分类号: C30B13/14;C30B13/16;C30B29/06
代理公司: 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 代理人: 谢德珍
地址: 332000 江西省九*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 一种铸造单晶硅锭的侧部加热装置,包括置于热场保温板内侧的DS块支撑平台,所述DS块支撑平台下端设有支撑脚,DS块支撑平台上端设有石英坩埚,石英坩埚内设有硅碇,石英坩埚外侧四周设有坩埚护板,坩埚护板外侧四周设有4块侧部加热器,所述的4块侧部加热器相互之间经4个转角连接器连接,所述的4个侧部加热器经3个吊臂加热板分别与铜电极接头连接。本实用新型能够抑制晶体形核初期晶种的相变,保证晶体的各向同性生长,改善铸造单晶硅锭存在的孪晶比例大、位错密度大、单晶面积不足等缺陷,从而提高铸造单晶的晶体质量,提高硅片光电转换效率。
搜索关键词: 单晶硅锭 石英坩埚 支撑平台 铸造 加热器 加热装置 单晶 护板 块侧 坩埚 光电转换效率 本实用新型 侧部加热器 转角连接器 接头连接 晶体形核 保温板 加热板 晶体的 铜电极 支撑脚 上端 硅片 吊臂 晶种 孪晶 热场 位错 下端 生长 保证
【主权项】:
1.一种铸造单晶硅锭的侧部加热装置,包括置于热场保温板(1)内侧的DS块支撑平台(3),其特征在于,所述DS块支撑平台(3)下端设有支撑脚(2),DS块支撑平台(3)上端设有石英坩埚(5),石英坩埚(5)内设有硅碇(4),石英坩埚(5)外侧四周设有坩埚护板(6),坩埚护板(6)外侧四周设有4块侧部加热器(9),所述的4块侧部加热器(9)相互之间经4个转角连接器(10)连接,所述的4个侧部加热器(9)经3个吊臂加热板(8)分别与铜电极接头(7)连接。
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