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[实用新型]石英坩埚-CN201320483960.9有效
发明人：陈龙;伍耀川;何钊煊;孙前颂;潘守明 -专利权人：徐州协鑫太阳能材料有限公司
申请日： 2013-08-08 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种石英坩埚，包括坩埚主体，坩埚主体包括坩埚内壁、坩埚外壁以及坩埚底壁。坩埚内壁的底部具有通孔；在坩埚主体与硅熔液接触面上涂覆有保护涂层。上述石英坩埚，在坩埚内壁以及坩埚外壁之间形成持续注入固态或液态硅料的环形加液区。在坩埚主体上涂覆的保护涂层，能够减少石英由于“析晶”现象对坩埚主体的破坏，有效阻止了硅熔液与坩埚主体发生反应的几率，在提高石英坩埚的使用寿命的同时，也提高了单晶硅的纯度。此外，还揭示了石英坩埚的制备方法。
石英坩埚

[实用新型]石英坩埚-CN201120447458.3有效
发明人：韩培 -专利权人：常州江南光伏材料有限公司
申请日： 2011-11-14 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英坩埚，它包括四个侧壁（1）和一个埚底（2），四个侧壁（1）和埚底（2）围合成一薄壁中空的长方体，侧壁（1）之间平滑衔接，侧壁（1）的内壁下部与埚底（2）的上表面平滑衔接，侧壁（1
石英坩埚

[实用新型]石英坩埚-CN201920868486.9有效
发明人：嵇奎军 -专利权人：新沂市东方硕华光学材料有限公司
申请日： 2019-06-10 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： B01L3/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种石英坩埚，包括坩埚本体，坩埚本体上设有容置槽，容置槽用于装入试剂；与过滤板，过滤板装设在容置槽内，并将容置槽分为第一分体槽与第二分体槽，过滤板上设有过滤孔，第一分体槽通过过滤孔与第二分体槽连通设置通过过滤板将坩埚本体的容置槽分为第一分体槽与第二分体槽，当需要融化试剂时，将试剂放入第二分体槽中，此时，试剂只在第二分体槽中受热融化，当试剂融化成液体时，液体会通过过滤板上的过滤孔流入第一分体槽中，而液体中的杂质或固体颗粒则被过滤板挡在第二分体槽中
石英坩埚

[实用新型]一种单晶炉坩埚套件-CN201320796563.7有效
发明人：张雷;李莉;孙雪敏 -专利权人：保定天威英利新能源有限公司
申请日： 2013-12-05 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本使用新型提供了一种单晶炉坩埚套件，包括石墨坩埚、石英坩埚以及石墨环。所述石英坩埚置于所述石墨坩埚内部，所述石英坩埚外壁与所述石墨坩埚内壁相接，所述石英坩埚口部高于所述石墨坩埚，所述石墨环套装在石墨坩埚的口部并低于石英坩埚的口部。
一种单晶炉坩埚套件

[发明专利]一种带有石墨纸夹层的硅料加热埚-CN201510299670.2在审
发明人：李广哲;陶建涛;李杰涛;赵聚来;冯立涛 -专利权人：宁晋晶兴电子材料有限公司
申请日： 2015-06-04 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：一种带有石墨纸夹层的硅料加热埚，其包括用以熔融硅晶体的石英坩埚和承载石英坩埚的石墨坩埚，所述的石英坩埚位于石墨坩埚的内腔中，石英坩埚的外形与石墨坩埚内腔的形状相配，石英坩埚的上沿高于石墨坩埚的上表面；所述石英坩埚的外表面与石墨坩埚的内腔之间还设有防止二者反应的石墨纸夹层，石墨纸的外形与石墨坩埚内腔的形状相配，石英坩埚的外表面贴合石墨纸的内腔，所述石墨纸的外表面贴合石墨坩埚的内腔，在石英坩埚的外表面与石墨坩埚的内腔之间铺设有石墨纸，以避免石英坩埚和石墨坩埚高温发生氧化反应，提高石墨坩埚的使用寿命，大大降低成本，经济耐用性更高。
一种带有石墨纸夹加热

[实用新型]一种带有石墨纸夹层的硅料加热埚-CN201520378603.5有效
发明人：李广哲;陶建涛;李杰涛;赵聚来;冯立涛 -专利权人：宁晋晶兴电子材料有限公司
申请日： 2015-06-04 - 公布日： 2015-10-28 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：一种带有石墨纸夹层的硅料加热埚，其包括用以熔融硅晶体的石英坩埚和承载石英坩埚的石墨坩埚，所述的石英坩埚位于石墨坩埚的内腔中，石英坩埚的外形与石墨坩埚内腔的形状相配，石英坩埚的上沿高于石墨坩埚的上表面；所述石英坩埚的外表面与石墨坩埚的内腔之间还设有防止二者反应的石墨纸夹层，石墨纸的外形与石墨坩埚内腔的形状相配，石英坩埚的外表面贴合石墨纸的内腔，所述石墨纸的外表面贴合石墨坩埚的内腔，在石英坩埚的外表面与石墨坩埚的内腔之间铺设有石墨纸，以避免石英坩埚和石墨坩埚高温发生氧化反应，提高石墨坩埚的使用寿命，大大降低成本，经济耐用性更高。
一种带有石墨纸夹加热

[发明专利]坩埚组件和晶体生长装置-CN202211614527.4在审
发明人：陈俊宏 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C30B15/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种坩埚组件和晶体生长装置，坩埚组件包括：石英坩埚具有用于盛放原料的容纳腔；石墨坩埚设于石英坩埚外，且石墨坩埚的底壁与石英坩埚的底壁间隔设置以形成间隔空间；承载组件设于间隔空间内，承载组件包括承载台，承载台设于石英坩埚的下侧，承载台适于在石英坩埚变形时承载石英坩埚且朝向石墨坩埚的内侧壁移动；支撑件，支撑件承载石英坩埚，且沿承载组件的周向设置，支撑件中设有移动件，移动件的一端与承载台相抵，当石英坩埚变形时，移动件适于在承载台移动的推力作用下支撑石英坩埚以使石英坩埚向容纳腔方向形成凸起。根据本发明的坩埚组件，能够避免石英坩埚软化后堆积，确保晶体中的含氧量分布均匀，减少晶体的体微缺陷。
坩埚组件晶体生长装置

[实用新型]坩埚组件和晶体生长装置-CN202223356112.X有效
发明人：陈俊宏 -专利权人：中环领先（徐州）半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C30B15/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坩埚组件和晶体生长装置，坩埚组件包括：石英坩埚具有用于盛放原料的容纳腔；石墨坩埚设于石英坩埚外，且石墨坩埚的底壁与石英坩埚的底壁间隔设置以形成间隔空间；承载组件设于间隔空间内，承载组件包括承载台，承载台设于石英坩埚的下侧，承载台适于在石英坩埚变形时承载石英坩埚且朝向石墨坩埚的内侧壁移动；支撑件承载石英坩埚，且沿承载组件的周向设置，支撑件中设有移动件，移动件的一端与承载台相抵，当石英坩埚变形时，移动件适于在承载台移动的推力作用下支撑石英坩埚以使石英坩埚向容纳腔方向形成凸起。根据本实用新型的坩埚组件，能够避免石英坩埚软化后堆积，确保晶体中的含氧量分布均匀，减少晶体的体微缺陷。
坩埚组件晶体生长装置

[发明专利]改良石英坩埚及其制作方法-CN201810526785.4有效
发明人：王建军;李常国;李杰;何玉鹏;郭宝东 -专利权人：宁夏富乐德石英材料有限公司
申请日： 2018-05-29 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：一种改良石英坩埚及其制作方法，属于单晶硅制造设备技术领域，本发明通过增加石英坩埚外表面的粗糙度能够增加石英坩埚与石墨坩埚接触的孔隙率，在石英坩埚高温与石墨坩埚发生反应产生气体时，气体能够通过石英坩埚与石墨坩埚之间的孔隙导出，从而避免石英坩埚发生变形，另外，在石英坩埚内表面上喷射氢氧化钡溶液，以通过氢氧化钡与空气中的二氧化碳发生反应生成碳酸钡，再通过碳酸钡与石英坩埚发生反应生成硅酸钡，硅酸钡再诱导石英坩埚内表面生成一层致密的晶体方石英层，由于晶体方石英无软化点且强度高，提高了石英坩埚内壁的强度，从而防止了石英坩埚发生变形。本方法能够有效的减少石英坩埚在高温下发生变形，同时方便操作。
改良石英坩埚及其制作方法

[发明专利]一种异形PBN和石英组合坩埚-CN202011048268.4在审
发明人：罗福敏;胡昌勇 -专利权人：威科赛乐微电子股份有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体材料生产技术领域，公开了一种异形PBN和石英组合坩埚，包括石英坩埚、PBN坩埚和石英帽，所述石英坩埚包括包覆腔和石英坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚包括原料腔和PBN坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚和石英帽均设置于石英坩埚的内腔中，所述石英帽设置在靠近石英坩埚的开口一端，且所述石英帽的开口朝向PBN坩埚；所述石英坩埚籽晶腔包括第一籽晶腔段和第二籽晶腔段，所述第二籽晶腔段与PBN坩埚籽晶腔的外壁紧密贴合，所述石英坩埚的第一籽晶腔段和包覆腔与PBN坩埚之间设置有间隔区。
一种异形 pbn 石英组合坩埚

[发明专利]晶硅提拉用增氧石英坩埚、其制备设备和方法-CN202210717949.8有效
发明人：王建军;李卫;李常国;何玉鹏;邓红 -专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶硅提拉用增氧石英坩埚，包括透明层和气泡层，透明层位于气泡层内侧，气泡层外侧设置多个相间的凸起部。在高温下拉制晶硅过程中，石英坩埚的凸起部与单晶炉内的石墨坩埚内壁相接触，当石英坩埚的温度达到1100‑1200°后，石英坩埚开始由脆性变为蠕变性状态，软化状态的石英坩埚受到逐渐熔化的多晶硅料的朝外挤压，同时软化状态的石英坩埚外侧的凸起与石墨坩埚接触，使石英坩埚的外表面逐渐贴合在石墨坩埚内表面，石英坩埚凸起部将促使石英坩埚内表面产生内凸起，内凸起将增大石英坩埚与溶硅的接触面，同时内凸起将增加溶硅对石英坩埚的冲刷，促进石英坩埚中氧元素分解至溶硅中，提升晶硅中的整体氧含量和尾部氧含量。
晶硅提拉用增氧石英坩埚制备设备方法

[实用新型]一种异形PBN和石英组合坩埚-CN202022183332.1有效
发明人：罗福敏;胡昌勇 -专利权人：威科赛乐微电子股份有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体材料生产技术领域，公开了一种异形PBN和石英组合坩埚，包括石英坩埚、PBN坩埚和石英帽，所述石英坩埚包括包覆腔和石英坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚包括原料腔和PBN坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚和石英帽均设置于石英坩埚的内腔中，所述石英帽设置在靠近石英坩埚的开口一端，且所述石英帽的开口朝向PBN坩埚；所述石英坩埚籽晶腔包括第一籽晶腔段和第二籽晶腔段，所述第二籽晶腔段与PBN坩埚籽晶腔的外壁紧密贴合，所述石英坩埚的第一籽晶腔段和包覆腔与PBN坩埚之间设置有间隔区。
一种异形 pbn 石英组合坩埚

[发明专利]一种使用磁铁控制石英坩埚的装置-CN202010590947.8有效
发明人：邾根祥;朱沫浥;王伟;齐亚芹;王卫 -专利权人：合肥科晶材料技术有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种使用磁铁控制石英坩埚的装置，属于石英坩埚设备技术领域，包括石英坩埚本体和加热炉本体，石英坩埚本体设置在加热炉本体内；石英坩埚本体包括石英管、石英盖板和石英坩埚座，石英管固定连接在石英坩埚座上，石英坩埚座内设有腔体，石英盖板活动连接在石英坩埚座的腔体内，石英管内设有耐高温金属丝，耐高温金属丝的一端连接有钕铁硼磁铁，钕铁硼磁铁位于石英管内，耐高温金属丝的另一端连接有氧化铝线，氧化铝线贯穿石英管的内壁，氧化铝线的一端连接在石英盖板上，石英管的一端外侧套设有与钕铁硼磁铁配合的钕铁硼磁环；本发明解决了现有技术中石英坩埚的位置固定无法移动和无法控制打开和闭合的石英坩埚的问题。
一种使用磁铁控制石英坩埚装置

[发明专利]一种提高直拉单晶石英坩埚使用寿命的方法及坩埚结构-CN202210740026.4在审
发明人：马幼学 -专利权人：乌海市京运通新材料科技有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明具体涉及直拉单晶硅技术领域，具体涉及一种提高直拉单晶石英坩埚使用寿命的方法及坩埚结构。所要解决的技术问题是在拉直多根单晶硅棒时，石英坩埚容易变形的问题。采用的技术方案为：一种提高直拉单晶石英坩埚使用寿命的坩埚结构，包括，设置在内侧用于装盛熔硅的石英坩埚和设置在外侧用于支撑所述石英坩埚的第一坩埚，其特征在于，所述石英坩埚外侧和和第一坩埚的内侧之间留有间隙，第一间隙内填充有高纯石英砂，所述高纯石英砂用于阻隔高温下石英坩埚与外侧的第一坩埚发生反应，本发明通过在石英坩埚和第一坩埚之间的第一间隙内填充高纯石英砂，将石英坩埚和第一坩埚之间原本的直接接触变为间接接触，可以达到保护石英坩埚外层的目的。
一种提高直拉单晶石坩埚使用寿命方法结构

[实用新型]一种提高单晶少子寿命的石英坩埚-CN201921701780.7有效
发明人：赵国伟;徐强;高润飞;王林;谷守伟;王建平;周泽;杨志;吴树飞;刘振宇;王鑫;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;郭志荣 -专利权人：内蒙古中环光伏材料有限公司
申请日： 2019-10-12 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种提高单晶少子寿命的石英坩埚，包括石英坩埚主体和α‑方石英层，所述α‑方石英层设于所述石英坩埚主体的内壁上，所述α‑方石英层为α‑方石英。本实用新型的有益效果是在石英坩埚具有α‑方石英层，该稳定层为的α‑方石英结构，减少析晶层脱落，减少硅溶液对石英坩埚腐蚀，提高石英坩埚使用寿命，做到降本增效。
一种提高少子寿命石英坩埚

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