[发明专利]一种脉冲组合的飞秒-纳秒激光加工系统及加工方法有效
| 申请号： | 201810033949.X | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN107953027B | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 杨立军;丁烨;程柏;王懋露;王扬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/062 | 分类号： | B23K26/062 |
| 代理公司： | 北京隆源天恒知识产权代理事务所(普通合伙) 11473 | 代理人： | 闫冬;吴航 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开一种脉冲组合的飞秒‑纳秒激光加工系统及加工方法，其系统包括，飞秒‑纳秒双脉冲激光系统、监视系统、激光工作系统、电源系统，所述飞秒‑纳秒双脉冲激光系统产生具有脉冲延迟的飞秒‑纳秒双脉冲激光，并传送到所述激光工作系统中对工件进行加工，所述监视系统位于所述飞秒‑纳秒双脉冲激光系统和所述激光工作系统之间，用于检测飞秒‑纳秒双脉冲激光的实际脉冲延迟，所述电源系统为上述所有系统供电。本发明大幅度提高了半导体材料的加工效率，对具有一定脉冲延迟的飞秒‑纳秒双脉冲激光波形和激光光斑的聚焦情况和加工过程进行实时观测，确保加工的精确性和半导体材料的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 组合 激光 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种脉冲组合的飞秒‑纳秒激光加工系统，其特征在于，包括飞秒‑纳秒双脉冲激光系统、监视系统、激光工作系统、电源系统；所述飞秒‑纳秒双脉冲激光系统产生具有脉冲延迟的飞秒‑纳秒双脉冲激光，并传送到所述激光工作系统中对工件进行加工，所述监视系统位于所述飞秒‑纳秒双脉冲激光系统和所述激光工作系统之间，用于检测飞秒‑纳秒双脉冲激光的实际脉冲延迟；所述电源系统为上述所有系统供电；所述飞秒‑纳秒双脉冲激光系统包括脉冲序列调制器、飞秒激光器、纳秒激光器、飞秒激光光路整形系统、飞秒激光偏振调整系统、飞秒激光反射镜组、纳秒激光光路整形系统、纳秒激光偏振调整系统、飞秒‑纳秒偏振合光镜，所述脉冲序列调制器连接控制所述飞秒激光器和所述纳秒激光器，所述飞秒激光器、所述飞秒激光光路整形系统及所述飞秒激光偏振调整系统同轴线依次连接，所述纳秒激光器、所述纳秒激光光路整形系统及所述纳秒激光偏振调整系统同轴线依次连接，飞秒激光通过所述飞秒激光反射镜组进入所述飞秒‑纳秒偏振合光镜中并与纳秒激光汇合为同轴同向。
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- 专利分类
