[发明专利]加工夹具、加工装置及加工方法有效
| 申请号： | 201410071820.X | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN104057547A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 须藤正昭 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D5/02;H01L21/301 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐冰冰;黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种加工夹具、加工装置及加工方法。实施形态大概涉及加工夹具、加工装置及加工方法。提供能够提高加工精度的加工夹具、加工装置及加工方法。实施形态的加工夹具具备：基部，在一个面上具有保持加工物的区域；检测部，具有导电性，具备设置在保持上述加工物的区域的周边的连接部，以及分别连接在上述连接部两端的布线部。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 夹具 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种加工夹具，具备：基部，在一个面上具有保持加工物的区域；以及检测部，具有导电性，具备设置在保持上述加工物的区域的周边的连接部、和分别连接在上述连接部两端的布线部。
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