[实用新型]倒置栅极结构的功率MOSFET有效
申请号: | 201721009526.1 | 申请日: | 2017-08-14 |
公开(公告)号: | CN207381409U | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 杨文良;黄凤明;杨彦峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市芯电元科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423;H01L21/336 |
代理公司: | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人: | 邢江峰 |
地址: | 518000 广东省深圳市福田区梅林*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种倒置栅极结构的功率MOSFET,倒置栅极结构的功率MOSFET它包括其上设有源极、栅极和漏极的晶圆;本设计中,源极设置在所述晶圆的正面,漏极和栅极设置于晶圆的背面;本方法它包括a.晶圆正面源极的处理;b.晶圆背面栅极和漏极的处理两大步骤。 | ||
搜索关键词: | 倒置 栅极 结构 功率 mosfet | ||
【主权项】:
1.一种倒置栅极结构的功率MOSFET,包括其上设有源极、栅极和漏极的晶圆;其特征在于:源极设置在所述晶圆的正面,漏极和栅极设置于晶圆的背面;所述源极上设有一电镀层或印刷有锡膏层;所述电镀层或印刷有锡膏层侧部的晶圆正面设有塑封层,与源极连接的电镀层或锡膏层裸露于塑封层外部。
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