[发明专利]一种垂直型高压功率器件高效终端结构及其制作方法在审
| 申请号： | 201711002677.9 | 申请日： | 2017-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN107910356A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 崔磊;金锐;潘艳;赵岩;温家良;徐向前;刘双宇;周哲;朱涛;刘江;徐哲;赵哿;王耀华 | 申请（专利权）人： | 全球能源互联网研究院 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种垂直型高压功率器件高效终端结构及其制作方法。该结构包括衬底、设置在衬底上表面的场环掺杂区、场板与衬底之间的隔离绝缘层、衬底背面的掺杂区、电极结构、钝化层结构。本发明提供的技术方案所得的垂直型高压功率器件高效终端结构，具有效率高、隔离绝缘层应力小、稳定性好、易加工的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 高压 功率 器件 高效 终端 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种垂直型高压功率器件高效终端结构，其特征在于，所述终端结构包括：衬底(101)和所述衬底(101)的上表面设置的终端掺杂区(106、107)和隔离绝缘层(102)，所述隔离绝缘层(102)上设置的终端一级场板(109)和终端二级场板(110)；所述终端掺杂区(106)上设有分别与所述终端一级场板(109)和终端二级场板(110)电连接的电连接层(108)；所述终端一级场板(109)和终端二级场板(110)上分别设有钝化层(103)；所述衬底(101)的下表面设有背面掺杂区(104)；所述背面掺杂区(104)下设置有电极(105)，所述电极(105)与所述背面掺杂区(104)欧姆接触；第一类型场板(111)，设有所述终端一级场板(109)，位于有源区区域；所述第一类型场板(111)的一侧依次设有含所述终端一级场板(109)和所述终端二级场板(110)的第二类型场板(112)，以及含所述终端二级场板(110)的第三类型场板(113)。
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