[发明专利]腔室屏蔽装置和半导体处理腔有效
| 申请号： | 201710807707.7 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN109473331B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 郭浩;贾强;王涛;郑金果;赵梦欣;徐奎;张璐;陈鹏;侯珏;丁培军 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 兰天爵 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种腔室屏蔽装置和半导体处理腔室，腔室屏蔽装置包括依次拼接的上屏蔽板、侧屏蔽板和下屏蔽板，上屏蔽板与侧屏蔽板通过第一导体电连接，侧屏蔽板和下屏蔽板通过导电组件电连接。该腔室屏蔽装置的上屏蔽板、侧屏蔽板和下屏蔽板的电位相等，能够防止屏蔽板发生表面放电现象，避免屏蔽板表面留下打火痕迹，避免腔室内颗粒度超标。 | ||
| 搜索关键词： | 屏蔽 装置 半导体 处理 | ||
【主权项】：
1.一种腔室屏蔽装置，包括依次拼接的上屏蔽板、侧屏蔽板和下屏蔽板，其特征在于，所述上屏蔽板与所述侧屏蔽板通过第一导体电连接，所述侧屏蔽板和下屏蔽板通过导电组件电连接。
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