专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]磁控管旋转结构、磁控管组件及反应腔室-CN201710354815.3有效
  • 佘清;魏景峰;赵梦欣;侯珏 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2017-05-18 - 2023-10-13 - C23C14/35
  • 本发明提供一种磁控管旋转结构,第一旋转臂,其上设置有第一旋转轴和第二旋转轴;所述第一旋转轴,与驱动源相连,用以在驱动源的驱动下旋转并带动所述第一旋转臂旋转;所述第一旋转轴通过传动组件与所述第二旋转轴相连,所述传动组件用以在所述第一旋转轴旋转时带动所述第二旋转轴旋转;第二旋转臂,与所述第二旋转轴连接且其上固定有磁控管;限位件,用于在所述第一旋转轴沿第一方向和第二方向旋转时限制所述第二旋转臂相对所述第一旋转臂的位置,以使所述磁控管沿不同的第一轨道和第二轨道旋转。本发明还提供一种磁控管组件及反应腔室。本发明不仅结构简单,且使得工艺过程简单、容易实现。
  • 磁控管旋转结构组件反应
  • [发明专利]磁控管驱动机构、工艺腔室和半导体处理设备-CN201910294541.2有效
  • 兰玥;侯珏 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2019-04-12 - 2023-06-16 - H01J37/02
  • 本发明公开了一种磁控管驱动机构、工艺腔室和半导体处理设备。包括第一旋转臂,设置有第一旋转轴和第二旋转轴,第一旋转轴与第一驱动源相连;第二旋转臂,与第二旋转轴连接且固定设置有磁控管;传动机构,其包括第一主动轮和第一从动轮,第一主动轮与第一旋转轴连接,第一从动轮与第二旋转轴连接;至少一个传动比改变机构,分别与第一主动轮和第一从动轮传动连接,并且,传动比改变机构能够改变其与第一主动轮、第一从动轮的接触位置,以改变传动机构的传动比。这样,利用所设置的传动比改变机构,可以不必更改传动机构的结构,实现其传动比的改变,从而可以改变磁控管的运动轨迹,实现全靶腐蚀,进而可以提高晶片的加工良率,降低制作成本。
  • 磁控管驱动机构工艺半导体处理设备

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