[发明专利]半导体器件的图像处理有效
| 申请号： | 201611048584.5 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN108109131B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 符祖标;施耀明;徐益平 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及半导体器件的图像处理。一种处理半导体器件的图像的方法，包括：分割半导体器件的测量图像以确定与目标结构单元相关联的目标区域；细化目标区域以确定目标区域的骨架；以及基于在骨架上的多个初始点处测量图像的强度的变化梯度，确定目标结构单元的测量轮廓上的多个待测点。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 图像 处理 | ||
【主权项】：
1.一种处理半导体器件的图像的方法，包括：分割所述半导体器件的测量图像以确定与目标结构单元相关联的目标区域；细化所述目标区域以确定所述目标区域的骨架；以及基于在所述骨架上的多个初始点处所述测量图像的强度的变化梯度，确定所述目标结构单元的测量轮廓上的多个待测点。
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