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[发明专利]用于椭偏量测系统的拟合优化方法和相关装置-CN202210885421.1有效
发明人：杨峰;韩景珊;庄源 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G06F17/14 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于椭偏量测系统的拟合优化方法及其相关装置。该方法包括：使用所述椭偏量测系统对参考样品进行M次测量，以获取对应的M个光谱信号；获取依赖于所述参考样品的理论材料模型的理论灵敏度函数；基于所述信噪比函数和所述理论灵敏度函数，获得适用于待测样品的实际测得的目标拟合函数的拟合权重函数，所述待测样品的类型与所述参考样品的类型相同；以及基于所述理论材料模型，使用所述拟合权重函数并以所述待测样品的目标待测量为变量，对所述待测样品的所述实际测得的目标拟合函数进行拟合。利用本公开的方法，可以显著地提高椭偏量测系统的测量精度和灵敏度。
用于椭偏量测系统拟合优化方法相关装置

[发明专利]用于椭偏量测系统的自动聚焦装置-CN202210956090.6有效
发明人：韩景珊;王瑜;杨峰 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于椭偏量测系统的自动聚焦装置(100)。该自动聚焦装置(100)适于被布置在所述椭偏量测系统的从样品(204)反射的光束的光路上，并且包括：反射型聚焦镜，被构造成具有反射表面和通光孔(111)，所述反射表面适于反射所述光束的第一部分至所述椭偏量测系统中的光谱仪，所述通光孔(111)适于透过所述光束的第二部分，其中所述第一部分所占光束的能量的比例大于所述第二部分所占光束的能量的比例；多象限探测器(103)，被布置成用于接收从所述通光孔(111)所透过的所述光束的所述第二部分，并且产生与所述样品(204)偏离所述椭偏量测系统的入射光束的焦面的距离有关的探测信号；以及处理器，被配置成基于所述探测信号，产生用于使所述样品(204)移动至所述焦面的控制信号。
用于椭偏量测系统自动聚焦装置

[发明专利]一种光谱椭偏测量系统和一种光谱椭偏测量方法-CN202310317770.8有效
发明人：王瑜;杨峰;吕彤欣;韩景珊 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种光谱椭偏测量系统和光谱椭偏测量方法。该光谱椭偏测量系统包括：光源，用于提供偏振态的入射光；至少一组反射式投影物镜，被配置为：根据目标尺寸，调节自身的位置和/或焦距；根据该位置及该焦距，将该入射光会聚到待测样品的表面，以形成该目标尺寸的光斑；以及从该待测样品的表面获取该光斑的反射光，并根据该位置及该焦距对该反射光进行准直处理；以及探测器，获取该反射式投影物镜输出的反射光，并根据该反射光的偏振态参数确定该待测样品表面的薄膜厚度。本发明能够根据晶圆的图形尺寸，灵活调节聚焦到晶圆表面的光斑尺寸大小，从而准确测量出晶圆表面的薄膜厚度。
一种光谱测量系统测量方法

[发明专利]一种物镜远心度的测量系统、方法及存储介质-CN202310835785.3有效
发明人：包建;杨浩哲;相春昌 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种物镜远心度的测量系统、一种物镜远心度的测量方法以及一种存储介质。该物镜远心度的测量系统包括：照明光源，用于提供照明光束；安装结构，用于固定待测物镜；反射件，位于待测物镜的焦面，用于向待测物镜提供照明光束的反射光束；相机，经由待测物镜采集反射光束的图像；分光片，以预设角度设于照明光源、待测物镜及相机之间，经由其第一表面将照明光束反射到待测物镜，并经由其第二表面将待测物镜输出的反射光束传输到相机；以及控制器，被配置为：获取相机边缘视场灰阶相等的第一图像；调节反射件相对光轴的倾斜角，以获取相机边缘视场的响应灰阶值最大的第二图像；以及根据调节的倾斜角，确定待测物镜的远心度。
一种物镜远心度测量系统方法存储介质

[实用新型]一种晶圆角度自动旋转设备-CN202321246194.4有效
发明人：齐国宇;王金歌;李晓辉 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆角度自动旋转设备，包括可调节高度的底座，底座上固定有固定套筒，固定套筒内设有可转动的丝杠以及通过螺纹转动连接于丝杠上的多个滑块，丝杠一端与丝杠电机的驱动端连接，固定套筒的一侧设有使得所有可伸缩手臂上下移动的滑槽，每个可伸缩手臂另一端固定有旋转电机，旋转电机的驱动端上固定有吸住晶圆的吸盘，每个可伸缩手臂另一端穿过固定套筒上的滑槽并与其对应的一个滑块固定连接，每个可伸缩手臂上分别设有可独立探测晶圆角度的探测器。本实用新型的高度可调节，可伸缩手臂长短可根据不同尺寸晶圆手动调节，丝杠电机通过驱动丝杠旋转可以调节可伸缩手臂的间距。
一种角度自动旋转设备

[发明专利]光强校正、照明、显微镜成像、硅片缺陷检测装置及方法-CN202310694041.4有效
发明人：包建;杨浩哲;相春昌 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种光强校正方法、装置、存储介质、照明系统、显微镜成像系统、硅片缺陷的检测装置及方法。所述光强校正方法包括以下步骤：以原始光源关于视场光阑视场的第一输出光强分布、科勒照明模块所需的目标光源尺寸及目标光源发散角度为输入变量，以所述科勒照明模块的输出端所需的第一目标照度分布为优化目标，构建光强校正模型；获取所述第一输出光强分布、所述目标光源尺寸、所述目标光源发散角度及所述第一目标照度分布，并求解所述光强校正模型，以确定所述焦距、所述距离及所述遮拦视场；以及根据所述焦距、所述距离及所述遮拦视场配置所述光强校正模块，校正所述原始光源，以获得满足所述第一目标照度分布的校正光源。
校正照明显微镜成像硅片缺陷检测装置方法

[发明专利]一种显微物镜光学系统、硅片缺陷的检测装置及检测方法-CN202310620301.3有效
发明人：包建;杨浩哲;相春昌 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G02B21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种显微物镜光学系统、一种硅片缺陷的检测装置以及一种硅片缺陷的检测方法。该显微物镜光学系统包括：光阑；第一透镜组，位于光阑的第一侧，具有负的第一光焦度、第一球差、第一场曲、第一色差、第一像散、第一彗差及负的第一畸变；第二透镜组，位于光阑的第二侧，具有第二光焦度、正的第二球差、正的第二场曲、负的第二色差、第二像散、第二彗差及第二畸变；以及第三折反透镜组，位于第二透镜组的第二侧，具有第三光焦度、第三球差、第三场曲、第三色差、正的第三像散、正的第二彗差，以及第三畸变。本发明能够同时满足大视场、高数值孔径、宽光谱波段的观测需求，并获得接近衍射极限的高成像质量及低光学畸变的成像效果。
一种显微物镜光学系统硅片缺陷检测装置方法

[实用新型]一种用于测量设备中的多镜调整装置及椭偏量测设备-CN202320393656.9有效
发明人：朱强铭;熊金磊;毛宗钦 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于测量设备中的多镜调整装置及椭偏量测设备，其中一种用于测量设备中的多镜调整装置，包括：同轴设置的基准板和至少一层的基准板外环；与基准板通过多个球头螺丝法向连接的镜一板；与第一层的基准板外环通过多个球头螺丝法向连接的镜二板；沿第一层的基准板外环外部径向伸入并可与基准板固定定位的若干柱塞；当N≥2时，还包括：与第N层的基准板外环通过多个球头螺丝法向连接的镜N+1板；沿第N层的基准板外环外部径向伸入并可与第N‑1层的基准板外环固定定位的若干柱塞。基准板外环在调整镜二板时，用弹性柱塞固定在基准板上，可防止调整镜二板时镜一板位置变动。
一种用于测量设备中的调整装置椭偏量测

[发明专利]自动对焦系统及方法、半导体缺陷检测系统及方法-CN202310828033.4在审
发明人：包建;杨浩哲;相春昌 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：本发明提供了自动对焦系统及方法、半导体缺陷检测系统及方法，以及计算机可读存储介质。该自动对焦系统包括：投影目标靶，倾斜设置于投影光轴；第一光源，提供沿投影光轴传输的第一光线，经由显微物镜将投影目标靶投影到对焦目标表面，以形成第一平面像；成像物镜，结合显微物镜对第一平面像进行二次成像，以在探测器表面形成第二平面像；探测器，采集第二平面像，并在第二平面像与探测器表面的交点位置获得清晰图像；以及控制器，通信连接探测器，并被配置为：根据第二平面像中清晰图像的像素坐标，确定对焦目标表面到显微物镜的物镜焦面的调节距离；以及根据调节距离，调节显微物镜和/或对焦目标的位置。
自动对焦系统方法半导体缺陷检测

[发明专利]显微镜照明系统、成像系统、硅片缺陷的检测装置及方法-CN202310638595.2有效
发明人：杨浩哲;包建;相春昌 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G02B21/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种显微镜照明系统、一种显微镜成像系统，以及一种硅片缺陷的检测装置及方法。所述显微镜照明系统包括原始光源、光学扩展量扩大模块以及柯勒照明模块。所述原始光源用于提供目标光谱范围的第一光束。所述光学扩展量扩大模块位于所述原始光源的后端，用于根据显微物镜所需的目标光学扩展量，对所述第一光束进行光学扩展量的扩大处理，以输出第二光束。所述柯勒照明模块位于所述光学扩展量扩大模块的后端，用于对所述第二光束进行匀光处理，以向后端的所述显微物镜提供所述目标光学扩展量的第三光束，并经由所述显微物镜向待测目标的表面提供符合目标照度分布的第四光束。
显微镜照明系统成像硅片缺陷检测装置方法

[实用新型]一种激光光源的控制驱动装置-CN202320008675.5有效
发明人：吴博文;姚岭 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-01-03 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01S5/042 文献下载
摘要：本申请实施例的目的是提供一种激光光源的控制驱动装置。本申请实施例的控制驱动装置包括：驱动模块、控制模块和上位机；其中，所述驱动模块用于提供电源；其中，所述控制模块包括一个或多个单片机；所述控制模块从上位机获取激光光源的光强控制信号，并将获取到的光强控制信号发送至驱动模块来进行相应的控制操作；所述控制模块将温度信息发送至上位机。本申请实施例具有以下优点：通过使用由驱动模块，控制模块和上位机构成的控制驱动装置，能够对缺陷检测设备所用的激光光源进行直接的控制；电路简单，减少了布线复杂度，能够方便地与缺陷检测设备的软件系统相兼容，从而对激光光源的进行多种控制操作。
一种激光光源控制驱动装置

[实用新型]一种用于光学设备的扩束装置-CN202320186981.8有效
发明人：朱强铭;熊金磊;毛宗钦 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本申请实施例的目的是提供一种用于光学设备的扩束装置。本申请实施例的扩束装置包括：入射镜安装架、总成板、小孔座、小孔调节座、调节座安装架、出射固定板、出射调整板、移动基准块、Y向基准块、多个球头顶丝、一级支撑；其中，所述入射镜安装架固定在总成板上；其中，所述出射调整板被固定在出射固定板上；其中，所述出射固定板、移动基准块以及Y向基准块固定在一级支撑上；其中，所述出射固定板上粘有平垫片、锥垫片和V型垫片。本申请实施例具有以下优点：结构牢固可靠，能够避免弹簧结构导致的入射镜头、小孔和出射镜头相互之间位置在运输或震动后发生变动；能够对入射镜头、小孔和出射镜头进行多自由度的姿态调节。
一种用于光学设备束装

[实用新型]一种可调光阑的光纤准直装置-CN202320619057.4有效
发明人：孙思华;王瑜;陆杨杨 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G02B6/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种可调光阑的光纤准直装置，包括：光纤座，其出射端固定设置光阑；轴筒，其入射端与光纤座固定；镜头支架，套接在轴筒上；轴环，螺纹旋接在轴筒上；限位块，一端固定在镜头支架上，另一端具有挡在轴环入射端之前的限位部；模组支架，固定在镜头支架的出射端，并作为整个光纤准直装置的支撑基础。本实用新型紧凑的结构设计实现了光纤头、光阑的轴向可调，以及模组支架作为整个光纤准直装置的支撑基础，不参与任何运动，其内的准直镜的姿态可调。
一种可调光阑光纤装置

[发明专利]一种光谱椭偏测量系统-CN202310321985.7在审
发明人：王瑜;杨峰;吕彤欣;韩景珊 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种光谱椭偏测量系统，包括：光源，用于提供偏振态的入射光；第一反射式投影物镜，位于光源与待测样品之间的光路内，用于将入射光会聚到待测样品的表面，以形成检测光斑；第二反射式投影物镜，对称第一反射式投影物镜地设置于待测样品与分光器之间的光路，用于从待测样品的表面获取光斑的反射光，并对反射光进行准直处理；分光器，获取第二反射式投影物镜输出的反射光，并对反射光进行关于入射角度的分光，以输出多束基于部分入射角度的分光光束；以及至少一台探测器，获取分光器输出的多束分光光束，并根据多束分光光束的偏振态参数确定待测样品表面的薄膜信息。
一种光谱测量系统

[发明专利]光谱仪的偏振响应测试方法-CN202111636117.5在审
发明人：黄建华;牛晓海 -专利权人： 睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本公开涉及一种光谱仪的偏振响应测试方法。该偏振响应测试方法通过使用直通偏振光路来实现，其中所述光谱仪被布置在直通偏振光路中，所述直通偏振光路至少包括依次直线布置的光源、起偏器、验偏器和待测试的所述光谱仪，该方法包括：使用所述光谱仪对在所述验偏器的预定旋转角度下和/或预定旋转角度间隔内所接收到的光的光强进行测量；基于所述预定旋转角度与所测量的光强,和/或所述预定旋转角度间隔与所测量的光强的一系列数据，获得用于表征光强的傅里叶表达式中的两个二次项系数的值；以及基于所获得的所述两个二次项系数的值，确定所述光谱仪的偏振响应是否满足预定要求。
光谱仪偏振响应测试方法

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