[发明专利]不对称鳍状结构及其制作方法在审
| 申请号： | 201610905131.3 | 申请日： | 2016-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN107958934A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 林昭宏;黄同隽;蔡世鸿;郑志祥 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336;H01L29/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种不对称鳍状结构及其制作方法。其中该不对称鳍状结构包含一基底，基底具有一上表面，一鳍状元件由基底延伸而成并且和基底连结，鳍状元件包含一第一侧壁和一第三侧壁，第一侧壁和第三侧壁分别位于鳍状元件的相对两侧，第一侧壁接触基底的上表面以及一外延层接触并仅覆盖鳍状元件的第一侧壁，第三侧壁没有和任何外延层接触。 | ||
| 搜索关键词： | 不对称 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种不对称鳍状结构，包含：基底，包含一上表面；第一鳍状元件，由该基底延伸而成并且和该基底连结，其中该第一鳍状元件包含第一侧壁，该第一侧壁接触该上表面；以及第一外延层，接触并仅覆盖该第一鳍状元件的该第一侧壁，其中该第一鳍状元件及该第一外延层共同形成该不对称鳍状结构。
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