[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201610862453.4 | 申请日: | 2016-09-28 |
公开(公告)号: | CN106992206B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 森克·哈贝尼希特;斯特芬·霍兰 | 申请(专利权)人: | 安世有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/732;H01L29/78;H01L21/331;H01L21/336;H01L21/28 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 麦善勇;张天舒 |
地址: | 荷兰*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种半导体装置(300),该半导体装置(300)包括:掺杂的半导体衬底(302);安置在该衬底的顶部上的外延层(304),该外延层具有浓度比该衬底低的掺杂物;安置在该外延层的顶部上的切换区;以及安置在该外延层的顶部上的接触扩散(350),该接触扩散(350)具有浓度比该外延层高的掺杂物;其中该外延层在该接触扩散与该衬底之间形成阻挡层。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于,所述半导体装置包括:掺杂的半导体衬底;安置在所述衬底的顶部上的外延层,所述外延层具有浓度比所述衬底低的掺杂物;安置在所述外延层的顶部上的切换区;以及安置在所述外延层的顶部上的接触扩散,所述接触扩散具有浓度比所述外延层高的掺杂物;其中所述外延层在所述接触扩散与所述衬底之间形成阻挡层。
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