[实用新型]一种OLED有机材料蒸发装置

摘要

本实用新型的用于蒸镀OLED有机材料的新型蒸发装置包括蒸镀腔室、蒸镀基板载台、电加热丝、蒸发皿、高温天平、工控机、蒸镀主控电脑、蒸镀装载机器人；蒸发皿处在高温天平上面，通过高温天平随时称量出蒸镀有机物的质量以及质量的变化；电加热丝通过功率控制器连接到电源控制其发热的功率；高温天平称量的有机物质量数据通过工控机处理之后传输到蒸镀主控电脑和蒸镀装载机器人处理和执行相应的动作。本实用新型的有益效果：本实用新型的用于蒸镀OLED有机材料的新型蒸发装置通过引进可随时称量蒸镀有机物质量的高温天平、可控制加热功率的电加热丝以及数据处理系统使蒸镀用的基板和有机材料避免大量的浪费的问题。

主权项

一种OLED有机材料蒸发装置，包括基板载台、蒸镀室和装载机器人，所述蒸镀室用于为有机材料蒸镀提供真空环境，装载机器人用于装载蒸镀基板，其特征在于，还包括蒸发舟、加热装置、称量单元、工控机和主控单元，所述加热装置用于加热蒸发舟，称量单元放置于蒸发舟下并共同置于蒸镀室内，用于实时反映蒸发舟内有机材料的量，工控机同时与称量单元和主控单元相连接，用于将称量单元称量的有机物的量的信息传输至主控单元，装载机器人与工控机相连接，用于根据有机物的量的信息装载蒸镀基板。