[实用新型]一种OLED有机材料蒸发装置

说明书

技术领域

本实用新型属于OLED显示器件技术领域，涉及蒸镀有机材料的蒸发技术，具体涉及一种用于蒸镀OLED有机材料的蒸发装置。 

背景技术

随着光通信技术和光传感技术的发展和广泛使用，在OLED有机材料蒸镀技术领域，现有的蒸镀有机材料的蒸发装置存在这诸多问题。传统的蒸镀工艺在OLED量产阶段有机材料加热蒸镀过程是连续不间断的，当填充的有机材料全部被蒸发掉时，必须停止生产以添加蒸镀材料。但是，有机材料什么时候被全部蒸发掉是不确定的，通常只能通过有经验的工程师估计其大概时间。并且，由于蒸镀工艺是对多层多种材料逐一蒸镀，所以在添加有机材料时还需要估计各种有机材料的蒸镀速度，为了降低成本减少浪费，理想状态是多种有机材料同时蒸发完并同时添加新料。例如，当蒸镀到第三层材料时有机材料耗尽，此时需要停机重新添加所有的有机材料（包括用于蒸镀其他层的油机材料），这样不仅打乱正常的生产计划，还浪费了除第三层材料之外的其他有机材料及一张光刻基板。同时，有机材料在生产前需要通过预热工艺进行处理，预热阶段有机材料发生的变化也无法检测，比如当由于预热温度探测设备故障导致温度过高时，有机材料在预热阶段可能就已经蒸发殆尽，当旋转到蒸镀位置时材料已经消耗完，而且此时的蒸镀设备处于真空状态，无法立即打开检查，进而导致延误生产、大量的浪费其他有机材料等一系列的问题。 

实用新型内容

本实用新型为了解决现有的有机材料蒸镀工艺中所遇到的因材料不足导致的蒸镀基板和蒸镀材料浪费的问题，提出了一种可以精确控制有机材料的用于蒸镀OLED有机材料的蒸发装置。 

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：一种OLED有机材料蒸发装置，包括基板载台、蒸镀室和装载机器人，所述蒸镀室用于为有机材料蒸镀提供真空环境，装载机器人用于装载蒸镀基板，其特征在于，还包括蒸发舟、加热装置、称量单元、工控机和主控单元，所述加热装置用于加热蒸发舟，称量单元放置于蒸发舟下并共同置于蒸镀室内，用于实时反映蒸发舟内有机材料的量，工控机同时与称量单元和主控单元相连接，用于将称量单元称量的有机物的量的信息传输至主控单元，装载机器人与工控机相连接，用于根据有机物的量的信息装载蒸镀基板。 

进一步的，所述装置还包括功率控制器，所述功率控制器与加热单元相连接，用于控制加热单元的功率。 

进一步的，所述加热单元为电加热丝。所述电加热丝缠绕在蒸发舟周围，用于对蒸发舟加热。 

进一步的，所述称量单元为天平。 

进一步的，所述称量单元为电子秤或压力传感器。 

进一步的，所述装置包含不止一个蒸发舟，用于依次蒸发不同的有机材料。 

进一步的，所述装置还包括旋转部件，所述旋转部件与基板载台相连接，用于通过控制基板载台旋转使基板进入下一有机材料的蒸镀工序。 

本实用新型的有益效果：本实用新型的用于蒸镀OLED有机材料的蒸发装置通过引入称量单元、加热单元、功率控制器及工控机等模块，解决了现有的OLED有机材料蒸镀中是否需要更换有机材料需要人工估算的不足，实现了对有机材料蒸发动态的实时监控，使蒸发过程控制更加精细化，进而避免了因估计不准出现的蒸镀次品等导致材料浪费的一系列问题，更适用于量产产线。 

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。 

附图标记说明：蒸镀室1，基板载台2，加热单元3，蒸发舟4，称量单元5，工控机6。 

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步详述。