[实用新型]一种OLED有机材料蒸发装置

权利要求书

1.一种OLED有机材料蒸发装置，包括基板载台、蒸镀室和装载机器人，所述蒸镀室用于为有机材料蒸镀提供真空环境，装载机器人用于装载蒸镀基板，其特征在于，还包括蒸发舟、加热装置、称量单元、工控机和主控单元，所述加热装置用于加热蒸发舟，称量单元放置于蒸发舟下并共同置于蒸镀室内，用于实时反映蒸发舟内有机材料的量，工控机同时与称量单元和主控单元相连接，用于将称量单元称量的有机物的量的信息传输至主控单元，装载机器人与工控机相连接，用于根据有机物的量的信息装载蒸镀基板。 

2.根据权利要求1所述的一种OLED有机材料蒸发装置，其特征在于，所述装置还包括功率控制器，所述功率控制器与加热单元相连接，用于控制加热单元的功率。 

3.根据权利要求1或2所述的一种OLED有机材料蒸发装置，其特征在于，所述加热单元为电加热丝，所述电加热丝缠绕在蒸发舟周围，用于对蒸发舟加热。 

4.根据权利要求1所述的一种OLED有机材料蒸发装置，其特征在于，所述称量单元为天平。 

5.根据权利要求1所述的一种OLED有机材料蒸发装置，其特征在于，所述称量单元为电子秤或压力传感器。 

6.根据权利要求1所述的一种OLED有机材料蒸发装置，其特征在于，所述蒸发装置包含不止一个蒸发舟，用于依次蒸发不同的有机材料。 

7.根据权利要求1、2、4、5和6之任一项权利要求所述的一种OLED有机材料蒸发装置，其特征在于，所述蒸发装置还包括旋转部件，所述旋转部件与基板载台相连接，用于通过控制基板载台旋转使基板进入下一有机材料的蒸镀工序。