[发明专利]沉积材料、其制造方法和制造装置及电子束照射沉积方法无效
| 申请号： | 201310491570.0 | 申请日： | 2013-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN103834917A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 须藤业;香取健二;本村勇人 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈桂香;褚海英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及沉积材料、其制造方法和制造装置及电子束照射沉积方法。所述沉积材料制造方法包括：将至少一种粉末浸入液体中，并且在所述浸入之后，蒸发所述液体以使所述粉末固化为用于电子束照射沉积的沉积材料。所述沉积材料制造装置包括：用于使至少一种粉末浸入液体中的容器；以及蒸发处理部，它用于蒸发所述容器中的所述液体以使所述粉末固化为用于电子束照射沉积的沉积材料。所述电子束照射沉积方法包括：将至少一种粉末浸入液体中；在所述浸入后，蒸发所述液体以使所述粉末固化；以及将固化后的所述粉末布置在电子束照射沉积装置中以执行电子束照射沉积。所述沉积材料包括通过从浸有粉末的液体中蒸发所述液体而获得的固化材料。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 材料 制造 方法 装置 电子束 照射 | ||
【主权项】：
一种沉积材料制造方法，其包括：将至少一种粉末浸入液体中；以及在所述浸入之后，蒸发所述液体以使所述粉末固化为用于电子束照射沉积的沉积材料。
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