[发明专利]沉积材料、其制造方法和制造装置及电子束照射沉积方法

权利要求书

1.一种沉积材料制造方法，其包括：

将至少一种粉末浸入液体中；以及

在所述浸入之后，蒸发所述液体以使所述粉末固化为用于电子束照射沉积的沉积材料。

2.根据权利要求1所述的沉积材料制造方法，其中，

将浸有所述粉末的所述液体倒入用于所述电子束照射沉积的炉床中，然后蒸发所述液体。

3.根据权利要求1所述的沉积材料制造方法，其中，

将浸有所述粉末的所述液体放置在多孔材料上，然后使所述液体在被所述多孔材料吸取的同时进行蒸发；以及

在蒸发所述液体之后，通过剥离所述多孔材料来获得所述沉积材料。

4.根据权利要求3所述的沉积材料制造方法，其中，

在所述多孔材料内形成有许多细小通孔而所述粉末的颗粒无法借此通过。

5.根据权利要求1所述的沉积材料制造方法，其中，

将浸有所述粉末的所述液体放置在过滤器上，然后在利用抽吸泵抽吸所述液体的同时进行蒸发。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的沉积材料制造方法，其中，

将两种以上的粉末用作浸入所述液体中的所述粉末；以及

将所述两种以上的粉末的混合比设置成能够获得用于反应沉积的沉积材料。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的沉积材料制造方法，其中，所述液体具有强的表面张力。

8.根据权利要求6所述的沉积材料制造方法，其中，在将所述两种以上的粉末浸入所述液体中时，施加超声波以使所述两种以上的粉末及所述液体均匀地分散。

9.一种沉积材料制造装置，其包括：

容器，它被构造成用于使至少一种粉末浸入液体中；以及

蒸发处理部，它被构造成用于蒸发所述容器中的所述液体以使所述粉末固化为用于电子束照射沉积的沉积材料。

10.根据权利要求9所述的沉积材料制造装置，其中，

所述容器是用于所述电子束照射沉积的炉床。

11.根据权利要求10所述的沉积材料制造装置，其中，

所述炉床是形状从底面向顶面逐渐扩大的梯形。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的沉积材料制造装置，其中，

所述蒸发处理部包括被设置在所述容器的底面处的多孔材料。

13.根据权利要求9至11中任一项所述的沉积材料制造装置，其中，

所述蒸发处理部包括被构造成用于抽吸所述容器中的所述液体的抽吸泵。

14.根据权利要求9至11中任一项所述的沉积材料制造装置，其还包括用于向所述容器施加超声波的器件。

15.一种电子束照射沉积方法，其包括：

将至少一种粉末浸入液体中；

在所述浸入后，蒸发所述液体以使所述粉末固化；以及

将固化后的所述粉末布置在电子束照射沉积装置中以执行电子束照射沉积。

16.一种用于电子束照射沉积的沉积材料，其包括：

通过从浸有粉末的液体中蒸发所述液体而获得的固化材料。