[发明专利]沉积设备、制造有机发光显示设备的方法及显示设备在审
| 申请号： | 201310301733.4 | 申请日： | 2013-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN103540896A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 崔永默 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50;C23C14/56;H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;韩芳 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送器单元，包括用于附着基底的传送单元、第一输送器单元和第二输送器单元；以及沉积单元，包括真空室以及用于将有机层沉积在基底上的有机层沉积组件。有机层沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；以及沉积源快门，沿第一方向移动并选择性地阻挡在沉积源中蒸发的沉积材料。传送单元在第一输送器单元和第二输送器单元之间移动。传送单元使附着的基底在被第一输送器单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 制造 有机 发光 显示 方法 | ||
【主权项】：
一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送器单元，包括用于附着基底并且被构造为与所述基底一起移动的传送单元、用于将附着有基底的传送单元沿着第一方向移动的第一输送器单元和用于在已经完成沉积之后将与基底分开的传送单元沿着与第一方向相反的方向移动的第二输送器单元；以及沉积单元，包括被构造成保持在真空状态下的室以及用于将有机层沉积在附着于传送单元的基底上的有机层沉积组件，其中，有机层沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，在沉积源的一侧并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；以及沉积源快门，能够沿第一方向移动并被构造为选择性地阻挡在沉积源中蒸发的沉积材料，其中，传送单元被构造为在第一输送器单元和第二输送器单元之间移动，并被构造为使附着的基底在被第一输送器单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开。
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