[发明专利]利用自组装小球制作用于光刻版的金属网格模板的方法有效
| 申请号： | 201310009072.8 | 申请日： | 2013-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN103091981A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杜成孝;董鹏;郑海洋;魏同波;严清峰;吴奎;张逸韵;王军喜;李晋闽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用自组装小球在透明衬底上制作用于光刻版的金属网格模板的方法，包括如下步骤：选择表面平整的透明材料作为透明衬底；在透明衬底上铺上单层自组装密排小球；将单层自组装密排小球刻蚀拉开，形成非密排小球；在非密排小球层上覆盖金属层，其中非密排小球上面也覆盖了一定厚度的金属层，形成球上金属层，非密排小球间隙处是金属网格层；去除非密排小球和球上金属层，留下金属网格层；制备成带有金属网格层的透明衬底模板。本发明可以实现工艺步骤简单、成本低廉、可靠性高的技术效果，从而可以克服自然光刻长期存在的重复铺设自然掩蔽层的不方便的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 组装 小球 制作 用于 光刻 金属 网格 模板 方法 | ||
【主权项】：
一种利用自组装小球在透明衬底上制作用于光刻版的金属网格模板的方法，包括：步骤1：选择表面平整的透明材料作为透明衬底(10)；步骤2：在透明衬底(10)上铺上单层自组装密排小球(20)；步骤3：将单层自组装密排小球(20)刻蚀拉开，形成非密排小球(30)；步骤4：在非密排小球层(30)上覆盖金属层(40)，其中非密排小球(30)上面也覆盖了一定厚度的金属层，形成球上金属层(41)，非密排小球(30)间隙处是金属网格层(42)；步骤5：去除非密排小球(30)和球上金属层(41)，留下金属网格层(42)；制备成带有金属网格层(42)和透明衬底(10)的金属网格模板(50)。
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