[发明专利]一种增强型开关器件有效
| 申请号： | 201210346746.9 | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102856370A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 程凯 | 申请（专利权）人： | 程凯 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/10;H01L29/423 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215124 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种增强型开关器件，通过在栅极区域引入非平面的台阶状结构，产生氮化镓的非极性面或半极性面或其组合，造成了栅极区域二维电子气的中断。当栅极电压提高时，再在沟道层中形成导电沟道，从而实现了增强型器件操作。该器件制造工艺简单，与常规的耗尽型器件的制造工艺兼容性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 开关 器件 | ||
【主权项】：
一种增强型开关器件，其特征在于，包括：衬底；氮化物沟道层，所述氮化物沟道层呈台阶状，具有位于不同高度上的第一平面和第二平面，所述第一平面和第二平面之间连接有衔接面；形成于所述氮化物沟道层上的氮化物势垒层，所述氮化物势垒层上定义有栅极区域，及分别位于所述栅极区域两侧的两处欧姆接触区域，所述栅极区域位于所述衔接面的上方；位于所述栅极区域内的栅极，所述栅极下方的二维电子气是中断的；分别形成于所述两处欧姆接触区域的源电极和漏电极，所述源电极和漏电极分别位于所述第一平面和第二平面的上方，且位于不同高度上。
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