[发明专利]一种增强型开关器件有效
| 申请号： | 201210346746.9 | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102856370A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 程凯 | 申请（专利权）人： | 程凯 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/10;H01L29/423 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215124 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 增强 开关 器件 | ||
1.一种增强型开关器件，其特征在于，包括：
衬底；
氮化物沟道层，所述氮化物沟道层呈台阶状，具有位于不同高度上的第一平面和第二平面，所述第一平面和第二平面之间连接有衔接面；
形成于所述氮化物沟道层上的氮化物势垒层，所述氮化物势垒层上定义有栅极区域，及分别位于所述栅极区域两侧的两处欧姆接触区域，所述栅极区域位于所述衔接面的上方；
位于所述栅极区域内的栅极，所述栅极下方的二维电子气是中断的；
分别形成于所述两处欧姆接触区域的源电极和漏电极，所述源电极和漏电极分别位于所述第一平面和第二平面的上方，且位于不同高度上。
2.根据权利要求1所述的增强型开关器件，其特征在于，所述衬底和氮化物沟道层之间设有氮化物成核层和氮化物缓冲层。
3.根据权利要求1所述的增强型开关器件，其特征在于，所述衔接面为垂直面、或呈一定角度的坡面、或弧形面、或非规则形状的面。
4.根据权利要求1所述的增强型开关器件，其特征在于，所述氮化物势垒层中含有铝且铝的含量在不同的极面上的组分不同。
5.根据权利要求1所述的增强型开关器件，其特征在于，所述氮化物沟道层和氮化物势垒层之间还形成有氮化铝层。
6.根据权利要求1或5所述的增强型开关器件，其特征在于，所述氮化物势垒层上还设有氮化物冒层。
7.根据权利要求1或5所述的增强型开关器件，其特征在于，所述氮化物势垒层上还设有介质层。
8.根据权利要求7所述的增强型开关器件，其特征在于，所述介质层选自SiN、SiO2、SiAlN、SiON、Al2O3、HfO2、HfAlO中的一种或多种的组合。
9.根据权利要求7所述的增强型开关器件，其特征在于，所述介质层上形成一凹槽，该凹槽沿竖直方向贯穿所述介质层，所述栅极位于所述凹槽内。
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