[发明专利]半导体封装结构及其制造方法无效
申请号: | 201210112147.0 | 申请日: | 2012-04-17 |
公开(公告)号: | CN102623359A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 洪嘉临 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/60;H01L25/00;H01L23/31 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆勍 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明关于一种半导体封装结构及其制造方法,本发明的制造方法利用一模具覆盖于导电元件上,该模具的一内表面具有一薄膜,该薄膜接触芯片的一表面,且该薄膜容置这些导电元件的部分,使一封胶材料包覆基板的第一表面、该芯片及部分这些导电元件,且暴露该芯片的该表面。由于利用该薄膜接触该芯片的该表面,且该薄膜容置这些导电元件的部分,以使部分这些导电元件及该芯片的该表面暴露,故不须已知移除部分封胶材料的步骤,及不须移除残胶,也不会造成焊球表面的污染。因此可简化工艺、缩短工艺时间及降低制造成本,以利于量产。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体封装结构的制造方法,包括以下步骤:(a)提供一基板,该基板具有一第一表面及一第二表面;(b)形成数个导电元件于该基板的该第一表面;(c)设置一芯片至该基板的该第一表面,且该芯片电性连接至该基板;(d)覆盖一模具于该基板上,该模具的一内表面具有一薄膜,该薄膜接触该芯片的一表面,且该薄膜容置所述导电元件的部分;及(e)形成一封胶材料以包覆该基板的该第一表面、该芯片及部分所述导电元件,且暴露该芯片的该表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造