[发明专利]衬底处理装置及搬运装置

摘要

一种衬底处理装置及搬运装置。本发明提供一种衬底处理装置，所述衬底处理装置用于形成CIS类太阳能电池的光吸收层，进行硒化或硫化处理，能够应对玻璃衬底的大型化。所述衬底处理装置具有：处理室，容纳多个衬底，所述衬底形成有由铜-铟、铜-镓、或铜-铟-镓中的任一种形成的层合膜；反应管，以构成处理室的方式形成；气体供给管，向处理室中含硒元素气体或含硫元素气体；排气管，将处理室内的气体排出；加热部，以包围反应管的方式设置；及风扇，在多个玻璃衬底的表面上，使上述处理室内的气体在多个玻璃衬底的短边方向上强制对流。

主权项

一种衬底处理装置，具有：处理室，容纳多个衬底，所述衬底形成有由铜‑铟、铜‑镓或铜‑铟‑镓中的任一种形成的层合膜；反应管，以构成所述处理室的方式形成；气体供给管，向所述处理室中导入含硒元素气体或含硫元素气体；排气管，将所述处理室内的气体排出；加热部，以包围上述反应管的方式设置；及风扇，在所述多个玻璃衬底的表面上，使所述处理室内的气体在所述多个玻璃衬底的短边方向上强制对流。