[发明专利]液处理装置和液处理方法有效
| 申请号： | 200910205874.X | 申请日： | 2009-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN101727009A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 木下道生 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/30;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供液处理装置和液处理方法，用干燥抑制溶剂将不使用的涂敷液喷嘴前端部密封，能够简单地将用于防止长时间干燥的处理调整为最佳状态，在根据吸引溶剂层的量设定的长时间内，可以不进行虚拟分液。本发明的液处理装置(方法)用于进行液处理，在该液处理中，从涂敷液喷嘴向由基板保持部大致水平地保持的基板的表面供给涂敷液，并向上述基板的表面喷出，形成涂敷膜，设有摄像涂敷液喷嘴(10)前端部的单元，预先利用插入显示摄像图像的画面中的软尺(121a)设定用于进行防止长时间干燥的处理时的涂敷液的位置和干燥抑制溶剂的位置，从而不依赖于目测而基于设定值进行分液控制，进行上述涂敷液喷嘴的前端部内的涂敷液的干燥抑制的调整。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种液处理装置，其用于进行液处理，在该液处理中，从涂敷液喷嘴向由基板保持部大致水平地保持的基板的表面供给涂敷液，并向所述基板的表面喷出而形成涂敷膜，该液处理装置的特征在于，包括：用于搬送能够在由所述基板保持部保持的基板的上方移动的所述涂敷液喷嘴的喷嘴搬送机构；用于使所述涂敷液喷嘴在待机位置待机的喷嘴槽；分液控制部，其用于在所述喷嘴槽中，对来自所述涂敷液喷嘴的涂敷液的喷出动作，或者涂敷液、该涂敷液的干燥抑制溶剂的吸引动作和干燥抑制溶剂的排出动作进行分液控制；用于控制所述分液控制部的控制部；判定处理部，其设置于所述控制部，用于分析判断由对所述涂敷液喷嘴进行摄像的摄像单元所摄像的喷嘴图像数据；操作显示部，其用于进行被摄像的所述涂敷液喷嘴的喷嘴图像数据的显示、以及设定值的输入；和软尺，其具有能够在所述操作显示部中与由所述摄像单元得到的所述涂敷液喷嘴图像的垂直方向的长度重合地进行固定显示的刻度值，其中，所述判定处理部对用所述软尺的刻度值设定的设定值与利用所述控制部对动作中的涂敷液喷嘴的状态进行摄像得到的在所述涂敷液喷嘴内的涂敷液和干燥抑制溶剂各自的吸引位置进行比较来进行判定处理，所述控制部基于所述判定处理控制所述分液控制部，进行所述涂敷液喷嘴的前端部内的涂敷液的干燥抑制的调整，其中，该用所述软尺的刻度值设定的设定值使得所述操作显示部中所述涂敷液喷嘴内的涂敷液和干燥抑制溶剂成为最佳位置。
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- 一种施用装置(1)，用于以手动控制的方式施用光固化材料，包括壳体部分(3)；其中，壳体部分(3)包括至少一个第一端部区域(31)和位于其相反位置的第二端部区域(33)；接收设备(5)，用于以可拆卸方式接收装有光固化材料的施用设备(100)，其中，施用设备(100)包括一个出口孔，光固化材料可以从该出口孔排出；用于固化光固化材料的发光装置，特别是LED灯(21)及/或闪光设备；其中，所述接收设备(5)被设计成使得将施用设备(100)连接至接收设备(5)之后，施用设备(100)的出口孔面对第一端部区域(31)；其中，发光装置被布置在壳体部分(3)的第一端部区域(31)之内或上，以在其被启动时，能够提供朝或在壳体(3)的第一端部区域(31)方向的光。
- 光刻胶涂布装置-201920167999.7
- 潘昌雷 - 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭光电科技股份有限公司
- 2019-01-30 - 2019-08-09 - G03F7/16
- 本实用新型公开了一种光刻胶涂布装置，所述光刻胶涂布装置包括支撑平台以及旋转壳体；所述支撑平台呈水平设置并配置为能够绕自身轴线旋转以带动放置在其上的玻璃基板旋转；所述旋转壳体包括水平设置的旋转板以及沿周向延伸设置在所述旋转板的边沿的止挡壁，所述旋转板设置在所述支撑平台下方并能够绕自身轴线转动，所述止挡壁的上端的水平高度高于所述支撑平台的水平高度，所述止挡壁与所述旋转板的连接位置处设置有回收口，所述回收口的下方设置有与所述回收口连通的回收容器。本实用新型能够及时将使用过的光刻胶进行回收，从而提高了光刻胶的利用率，降低了彩色滤光膜的制作成本。
- 高均匀性圆筒镍网涂胶装置及其涂胶工艺-201910257494.4
- 孙科;李洪;孟晓峰;赵轶君;张胜权 - 江苏双宇镍业高科有限公司
- 2019-04-01 - 2019-08-02 - G03F7/16
- 本发明涉及的一种高均匀性圆筒镍网涂胶装置及其涂胶工艺，它包括感光涂胶机、高压冲洗台、高温烘箱、浸泡水槽和圆网装闷头机；所述感光涂胶机包括机架、胶桶、涂胶辊、曝光灯和操作箱，所述机架的一侧连接有操作箱，所述机架的顶部设有涂胶双杆，所述涂胶双杆上滑动设置有胶桶，所述涂胶双杆的下方设置有涂胶辊，所述涂胶辊的下方设置有移动轨道，所述移动轨道上滑动设置有曝光灯；所述高压冲洗台包括台架和支撑横杆，所述圆网装闷头机包括机体、卡盘架、中托架和卡盘。本发明涂胶均匀，使用感光印花法，涂胶后马上曝光显影，随之用水洗溶解光敏剂，使得印花部分留在圆网上，环保的同时节约资源。
- 改善光阻附着力的方法-201910275747.0
- 彭钊 - 深圳市华星光电技术有限公司
- 2019-04-08 - 2019-08-02 - G03F7/16
- 本发明公开一种改善光阻附着力的方法，包括以下步骤：S10提供一玻璃基板；以及S20提供一烷氧基硅烷至所述玻璃基板，使所述烷氧基硅烷与所述玻璃玻璃基板进行化学反应，得到一表面带有疏水基团的玻璃基板以及一水解产物。利用本发明之改善光阻附着力的方法，使基板能有效吸附有机光阻，且过程中产物易于回收利用。
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