[发明专利]具有抗反射性能的硬掩模组合物及采用该组合物图案化材料的方法有效

专利信息
申请号: 200810187921.8 申请日: 2008-12-23
公开(公告)号: CN101470352A 公开(公告)日: 2009-07-01
发明(设计)人: 田桓承;金钟涉;尹敬皓;金旼秀;李镇国;宋知胤 申请(专利权)人: 第一毛织株式会社
主分类号: G03F7/09 分类号: G03F7/09
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 章社杲;张 英
地址: 韩国庆*** 国省代码: 韩国;KR
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供了一种具有抗反射性能的硬掩模组合物。该硬掩模组合物适合用于平版印刷术,提供了优异的光学和机械性能,并表现出高的蚀刻选择性。另外,通过旋涂技术能够容易地施加该硬掩模组合物。使用硬掩模组合物形成的硬掩模层可与集成电路制造工艺相容。有利地,该硬掩模组合物用于短波长平版印刷术。具有抗反射性能的硬掩模组合物及采用该组合物图案化材料的方法。
搜索关键词: 具有 反射 性能 模组 采用 组合 图案 材料 方法
【主权项】:
1.一种由化学式1表示的含芳香环聚合物:其中m和n满足关系式1≤m<190,0≤n<190以及1≤m+n<190,A1选自以及其中每一个R1表示氢原子、C1-C10烷基基团、C6-C10芳基基团、烯丙基基团或卤素原子,而每一个R2表示氢原子、羟基基团、氨基基团(-NH2)、烷氧基基团(-OR)(R是C1-C10烷基或C6-C10芳基基团)或二烷基氨基基团(-NRR’)(R和R’每一个独立地是C1-C10烷基或C6-C10芳基基团),A2选自以及其中每一个R1表示氢原子、C1-C10烷基基团、C6-C10芳基基团、烯丙基基团或卤素原子,而每一个R2表示氢原子、羟基基团、氨基基团(-NH2)、烷氧基基团(-OR)(R是C1-C10烷基或C6-C10芳基基团)或二烷基氨基基团(-NRR’)(R和R’每一个独立地是C1-C10烷基或C6-C10芳基基团),以及B1和B2每一个独立地选自-CH2-、以及
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于第一毛织株式会社,未经第一毛织株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200810187921.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 热敏CTP版成像涂层-201910434963.5
  • 徐燕;张菊明;高兰英;章永洁;张杰;杨海涛;朱殷荣;高国良;黄艳 - 海宁市速美工贸有限公司
  • 2019-05-23 - 2019-08-30 - G03F7/09
  • 本发明公开了一种热敏CTP版成像涂层,具体涉及一种稳定性、涂布性较好的热敏CTP版成像涂层,由下列组分构成耐溶剂性树脂;碱溶树脂;成膜树脂;增溶剂;添加树脂;阻溶促溶树脂;红外吸收染料;染料;其中,碱溶树脂为含有碱溶性结构单体、丙烯酰胺结构单体和/或磺酰胺结构单体共聚而成的改性树脂;所述阻溶促溶树脂为酚醚化树脂。采用上述配方制得的CTP版材具有较好的耐印力及耐溶剂性,同时具有相对较低的感度。
  • 表面具凸纹结构薄膜的曲面基板-201821264243.6
  • 翁沛喜;许铭案 - 许铭案;翁沛喜
  • 2018-08-07 - 2019-06-21 - G03F7/09
  • 本实用新型涉及曲面基板制造技术领域,具体公开了一种表面具凸纹结构薄膜的曲面基板,其包括:一曲面基板,该曲面基板的表面具有一凸纹结构薄膜,且该凸纹结构薄膜的图案的解析度介于0.1‑100微米(um)之间。本实用新型提供的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板,运用激光直写影像技术(Laser Direct Imaging,LDI)与光阻制程,来解决过去运用光阻制程需要光罩的问题,实现无须光罩、制程简单、解析度高、低成本的特殊技术功效。
  • 平版印刷版前体以及用途-201480010831.5
  • A.伊加拉施;Y.托里哈塔;H.鲍曼;U.德瓦斯;C.辛普森;S.维尔纳;M.弗卢格尔 - 伊斯曼柯达公司
  • 2014-02-17 - 2019-06-11 - G03F7/09
  • 阴图制版平版印刷版前体,包含阴图制版可成像层和直接安置在该阴图制版可成像层上的最外层水溶性外涂层。所述最外层水溶性外涂层包含:(1)一种或更多种成膜的水溶性聚合物粘合剂,(2)有机蜡颗粒,以及(3)非蜡亚光颗粒。所述最外层水溶性外涂层具有干厚度(t),其通过以下等式(I)来定义:t=w/r,其中w为用g/m2表示的所述最外层水溶性外涂层的干覆盖率,并且r为1 g/cm3。所述有机蜡颗粒具有小于0.9t(用µm表示)的平均最大尺寸D(蜡),并且所述非蜡亚光颗粒具有由以下等式(II)定义的平均最大尺寸D(亚光):1.5倍的t
  • 一种能够减少静电积聚的感光性树脂版-201820724038.7
  • 沈绍鑫 - 天津鼎迅包装制品有限公司
  • 2018-05-16 - 2019-05-21 - G03F7/09
  • 本实用新型公开了一种能够减少静电积聚的感光性树脂版,包括第一树脂版和位于第一树脂版下方的第二树脂版,所述第二树脂版的顶部开设有缓冲槽,且缓冲槽内滑动套装有与第一树脂版的底部固定安装的滑动座,滑动座底部和缓冲槽的底部内壁之间焊接有多个弹簧,所述缓冲槽的两侧对称设置有开设在第二树脂版上的空腔,且空腔靠近缓冲槽的一侧内壁上开设有两个限位通孔,限位通孔的两侧内壁上滑动连接有滑杆。本实用新型结构简单,能够根据实际需求对滑动座的底部和缓冲槽的底部内壁之间的缓冲行程进行调节,有效地提高了对第一树脂版和第二树脂版的缓冲保护,有利于减少静电积聚的感光性树脂版的使用。
  • 一种感光树脂版生产用的定型装置-201820724039.1
  • 沈绍鑫 - 天津鼎迅包装制品有限公司
  • 2018-05-16 - 2019-05-21 - G03F7/09
  • 本新型涉及一种感光树脂版生产用的定型装置,包括底座、两个支撑板、安装板、移动槽、第一移动块、第一风扇、丝杠、安装槽、旋转电机、限位槽、限位块、两个放置板、承载板、滑槽、第二移动块、第二风扇和连接板,两个支撑板的底部均与底座的顶部固定连接,两个支撑板相互靠近的一侧分别与安装板的两侧固定连接,移动槽开设于安装板的底部,第一移动块滑动安装于移动槽内,所述第一移动块的底部延伸至安装板的下方并与第一风机固定连接,所述丝杠转动安装于移动槽内,且丝杠与第一移动块螺纹连接,安装槽开设于移动槽的一侧内壁上。本新型便于对感光树脂版进行快速均匀的冷却,有利于提高生产效率,结构简单,使用方便。
  • 一种便于拆分拼合的感光树脂版-201820724188.8
  • 沈绍鑫 - 天津鼎迅包装制品有限公司
  • 2018-05-16 - 2019-05-21 - G03F7/09
  • 本新型涉及一种便于拆分拼合的感光树脂版,包括底板,所述底板的顶部固定安装有树脂版本体,树脂版本体的顶部开设有第二凹槽,第二凹槽的一侧内壁上开设有第二限位槽,所述底板的顶部开设有第一凹槽,第一凹槽的两侧内壁上均开设有第一卡槽,第一凹槽内滑动安装有第一支撑柱,所述第一支撑柱的两侧均开设有第一限位槽,第一限位槽内滑动安装有第一限位块,第一限位块的一端延伸至第一限位槽的外侧并与第一卡槽相适配。本实用新型通过第二固定板在第二支撑柱内滑动,使得第三限位块与第二卡槽相适配,使得固定第二固定板的位置,通过第一固定板与第二固定板的相配合,可以快速对树脂版本体进行拆分拼合,且提高了工作效率。
  • 光阻结构及晶圆曝光装置-201821801929.4
  • 沈雪;古哲安;黄志凯;叶日铨 - 德淮半导体有限公司
  • 2018-11-02 - 2019-05-10 - G03F7/09
  • 本实用新型涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种光阻结构及晶圆曝光装置。本所述光阻结构包括:光敏层,包括用于覆盖晶圆的第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面,且能够吸收自所述第二表面射入的第一光线;量子点,掺杂于所述光敏层中,适于在所述第一光线激发下产生能够被所述光敏层吸收的第二光线。本实用新型削弱了驻波效应对曝光过程的影响,确保了晶圆产品的质量。
  • 阳图制版平版印刷版前体和用途-201380046075.7
  • G.豪克;D.弗兰克;C.萨瓦里亚-豪克 - 伊斯曼柯达公司
  • 2013-08-27 - 2019-04-12 - G03F7/09
  • 热敏性阳图制版平版印刷版前体可用于使用高pH、无硅酸盐加工溶液制备平版印刷版。所述前体具有粒化且阳极化的含铝基底,所述基底包括聚(乙烯基膦酸)夹层。第一亲墨层和任选第二亲墨层直接设置于所述聚(乙烯基膦酸)夹层上。此第一亲墨层包含至少0.5%重量的量的芳族酸性染料,所述染料包含至少两个芳基。此外,所述前体在所述层之一中包含红外线辐射吸收剂。
  • 光致抗蚀膜、抗蚀图案的形成方法及导体图案的形成方法-201710685298.8
  • 横道清一 - 日兴材料株式会社
  • 2017-08-11 - 2019-02-26 - G03F7/09
  • 本申请涉及一种光致抗蚀膜、抗蚀图案的形成方法及导体图案的形成方法。本发明提供一种光致抗蚀膜,其在层压至被加工基材上时不易产生气隙,即便是经非硅酮系脱模剂涂布的保护膜,从感光性树脂组合物层剥离的剥离性也优异。本发明的光致抗蚀膜的特征在于:其是在(I)支撑膜上具有(II)感光性树脂组合物层/(III)保护膜的积层构造,且(II)感光性树脂组合物层的厚度为33μm以下的光致抗蚀膜,(III)保护膜是在(II)感光性树脂组合物层上的积层面的最大高度(Rz)为1.2μm以下、且胶带剥离强度为450~1500mN/cm的聚酯膜。
  • 侧面具有护边的感光材料板-201821268477.8
  • 张朝阳 - 河南汇达印通科技股份有限公司
  • 2018-08-08 - 2019-02-26 - G03F7/09
  • 本实用新型涉及感光材料技术领域,名称是侧面具有护边的感光材料板,包括材料板本体,所述的材料板本体具有下面的基板和基板上面的感光涂料层;其特征是:所述的材料板本体周围具有凝固的胶质形成的保护圈,所述的胶质是涂刷在感光材料板周围的,所述的感光材料板本体周边具有向上弯曲的结构,所述的感光材料板本体具有角部,所述的角部具有圆形的倒角结构。这样的感光材料板具有减少包装时对产品的划伤、提高包装时生产效率的优点。
  • 一种丝网印刷用水溶性感光菲林-201820630224.4
  • 李雪 - 李雪
  • 2018-04-28 - 2019-01-11 - G03F7/09
  • 一种丝网印刷用水溶性感光菲林,包括基片层、层叠于基片层上的剥离层、层叠于剥离层上的水溶性感光涂层及层叠于水溶性感光涂层上的感光性防潮层。基片层为经过电火花处理过的PET膜;剥离层为亲水性感光涂层,厚度在0.5‑10微米之间;水溶性感光涂层为厚度在6um‑1000um之间的有机高分子聚合物膜层,其成分可以是聚乙烯醇、醋酸乙烯乳液、丙烯酸酯单体、甲基丙烯酸脂单体等的组合物;感光性防潮层是聚乙烯醇、聚醋酸乙烯乳液、丙烯酸酯单体、甲基丙烯酸脂单体等助剂中的一种或多种有机物组合而成的膜层,其厚度为1‑10um之间。本实用新型与现有三层结构感光菲林相比,不必使用需剥离的防护层,环保、降低成本。
  • 单衬底上包括三层光刻材料的晶圆及其表面颗粒监测方法-201810927323.3
  • 成智国;杨正凯 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2018-08-15 - 2019-01-04 - G03F7/09
  • 本发明涉及一种单衬底上包括三层光刻材料的晶圆,涉及半导体集成电路制造技术,包括:衬底;涂覆于所述衬底上的旋涂的碳,形成第一层光刻材料;涂覆于所述旋涂的碳上的抗反射涂层,形成第二层光刻材料;以及涂覆于所述抗反射涂层上的光刻胶,形成第三层光刻材料,以能在一片晶圆上完成监测三种光阻的工艺性能,更加快速、有效的监控了涂胶工艺的稳定性,且衬底可以重复利用,因此极大地节省了晶圆的使用成本。
  • 一种线路板感光膜-201820074852.9
  • 谭勇 - 广东鑫丰海电子科技有限公司
  • 2018-01-16 - 2018-11-13 - G03F7/09
  • 本实用新型公开一种线路板感光膜,该线路板感光膜包括依次叠加的PET基膜层和涂覆在其表面的感光胶树配酯层以及保护膜层。本线路板感光膜具有优良的光分解性、光交联、光聚合的特性而产生图像的非银感光材料。曝光显影图像解晰度、分辨度高、感光速度快、附着力好的现象,大大解决了感光膜的曝光良率,增加了制程的成品率。
  • 一种免处理阴图CTCP版的制造方法-201711461378.1
  • 刘华礼;顾爱清;何学勤 - 江苏乐彩印刷材料有限公司
  • 2017-12-28 - 2018-08-10 - G03F7/09
  • 本发明公开了一种免处理阴图CTCP版的制造方法,包括碱洗、中和、电解除灰、氧化、封孔、水洗烘干、涂布、二次烘干、曝光成像、裁切、检验包装十个步骤。本发明无需添加任何化学试剂进行显影,直接上印刷机曝光成像印刷,适用于UV油墨印刷,耐UV的油墨具备耐磨,耐候,耐蚀等特性。本发明感度高、显影快、印率高,成本较低,不会产生大量的废水废渣对环境有污染,有利于环境保护。
  • 一种干膜抗蚀剂层压体-201510050337.8
  • 李志强;李伟杰;严晓慧;周光大;林建华 - 杭州福斯特应用材料股份有限公司
  • 2015-01-30 - 2018-08-07 - G03F7/09
  • 本发明公开了一种干膜抗蚀剂层压体,包括支撑层、涂覆于撑层上方的第一抗蚀剂层以及涂覆于第一抗蚀剂层上方的第二抗蚀剂层;所述第一抗蚀剂层的酸值为80~400 mgKOH/g,第二抗蚀剂层的酸值比第一抗蚀剂层酸值高2~41.2mgKOH/g。本发明采用不同酸值的双层结构的抗蚀剂,在抗蚀剂曝光显影后,形成良好的图形侧边形貌,未曝光的图形胶层能更好地除去。使其在印刷电路板、引线框架等的制造、半导体封装等的制造、金属的精密加工等领域中,作为刻蚀用或镀敷用的干膜抗蚀剂层压体材料,在图形曝光显影后,具有非常好的图形线条侧边形貌。
  • 单层耐UV油墨热敏CTP版成像涂层-201810075332.4
  • 黄祖成;陈翔风 - 上海宝士嘉印刷器材有限公司
  • 2018-01-25 - 2018-07-27 - G03F7/09
  • 本发明公开了一种单层耐UV油墨热敏CTP版成像涂层,涉及印刷版材涂层技术领域,解决了现有的双层涂布CTP版成品率低、工艺复杂、成本高的缺点。按质量百分比计,成像涂层包括以下组分:耐溶剂树脂10‑60%;增溶剂2‑12%;促溶树脂3‑25%;成膜树脂10‑65%;阻溶树脂0‑1%;烷基酚‑甲醛树脂6‑30%;抗醇阻溶剂0‑20%;红外吸收染料1‑6%;染料0.85‑2%。本发明中的成像涂层只需要在封孔后的1050铝版表面上涂布一层即可,由于减少了涂布底层的步骤,简化了工艺,提高了成品率,降低了成本;而且其耐UV油墨性强,不易被溶解,印刷寿命长。
  • 具有双层结构的阴图型热敏CTP版前体-201611153669.X
  • 王泳;栗更新 - 乐凯华光印刷科技有限公司
  • 2016-12-14 - 2018-06-29 - G03F7/09
  • 本发明公开了一种具有双层结构的阴图型热敏CTP版前体,在亲水表面的支持体上面依次涂有碱溶性树脂层和阴图型感光层,碱溶性树脂层含有碱溶性树脂、添加树脂和着色染料;阴图型感光层包括成膜树脂、交联剂、红外吸收剂、光产酸源和着色染料。该版材具有高感光速度、高显影宽容度、耐溶剂性以及高耐印率等优点,并拥有良好的储存稳定性,从而更加适应于目前UV油墨印刷的需要。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top