“张敬博”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果53个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种半导体清洗设备的清洗臂结构及半导体清洗设备-CN202223324067.X有效
发明人：陈忠明;宋爱军;赵宏宇;张敬博;李欢;郑洪;王瑞轩 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体清洗设备的清洗臂机构及半导体清洗设备，涉及半导体技术领域，清洗臂结构包括设置在安装底板上的驱动组件和清洗臂旋转组件，驱动组件与清洗臂旋转组件之间通过传动带传动，驱动组件通过安装部件与安装底板连接，安装部件上设置有张紧块，张紧块螺纹连接有张紧螺钉，安装底板上设置有挡块，挡块用于与张紧螺钉的螺纹端相抵靠；解决现有技术中的清洗臂结构在进行传动带的张紧调节时只能凭借操作者的经验确定调节量，调节量不易进行精准控制，无法进行精细调节的问题。
一种半导体清洗设备结构

[发明专利]噻唑并嘧啶类化合物及其制备方法、用途和药物组合物-CN202010388795.3有效
发明人：许恒;陈晓光;林松文;金晶;季鸣;吴德雨;张敬博;伏蓉;张妍;张明祎 -专利权人：中国医学科学院药物研究所
申请日： 2020-05-09 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C07D513/04 文献下载
摘要：本发明属医药技术领域，具体涉及噻唑并嘧啶类化合物及其制备方法、用途和药物组合物。所述噻唑并嘧啶类化合物由式(I)所示，其为PI3K抑制剂，可以用于制备预防和/或治疗与PI3K活性相关的疾病的药物，如肿瘤、自身免疫性疾病、肾脏疾病、心血管疾病、炎症、代谢功能障碍、内分泌功能障碍或神经疾病。#imgabs0#
噻唑嘧啶化合物及其制备方法用途药物组合

[发明专利]清洗腔室-CN202310712947.4在审
发明人：梁家齐;赵宏宇;张敬博;王延广 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B08B15/02 文献下载
摘要：本发明公开一种清洗腔室，包括腔室本体、排风箱体、调节机构和排液装置；排风箱体位于腔室本体之外，且排风箱体与腔室本体相连通，排风箱体开设有与外界空间相连通的通孔；调节机构包括调节板，调节板可活动地位于排风箱体内，调节板用于调节排风箱体的排风量；其中，调节板设置于腔室本体和排风箱体的连通口与排风箱体与厂务排风端的连通口之间，且调节板朝向腔室本体与排风箱体的连通口的一侧倾斜向下设置；排液装置通过通孔与外界空间相连通，排液装置用于收集排风箱体内冷凝的液体，并将收集的液体通过通孔排至外界空间。上述方案能够解决清洗腔室的清洗效果较差的问题。
清洗

[发明专利]清洗设备-CN202210079573.2有效
发明人：高广新;张敬博;李广义;王广永;王延广 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本发明提供一种清洗设备，其包括腔体、工艺槽和开闭装置，工艺槽设置于腔体内，用于盛放清洗液；开闭装置包括柔性膜、第一卷轴组件和第二卷轴组件；其中，柔性膜覆盖于工艺槽的槽口上，并且具有与工艺槽的槽口相配合的开口部和遮挡部；柔性膜的两端分别卷绕在第一卷轴组件和第二卷轴组件上，且第一卷轴组件和第二卷轴组件能够沿相同方向同步转动以带动柔性膜移动，以使开口部和遮挡部对工艺槽的槽口进行选择性地敞开或遮挡。本发明提供的清洗设备能够有效避免腔体内部气流的流动受到阻碍，且其中的开闭装置不会与清洗设备中的机械手发生干涉。
清洗设备

[发明专利]半导体工艺设备及其清洗腔室-CN202310395973.9在审
发明人：宋爱军;王锐廷;卢夕生;赵宏宇;张敬博 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开一种半导体工艺设备的清洗腔室，其包括腔室外壳(100)、清洗液收集机构(001)、清洗液排放机构(002)和用于承载晶圆(600)的承载座(700)，清洗液收集机构(001)和承载座(700)均设于腔室外壳(100)内，且清洗液收集机构(001)环绕承载座(700)设置，清洗液排放机构(002)与清洗液收集机构(001)连通；清洗液收集机构(001)和清洗液排放机构(002)的材质与腔室外壳(100)的材质不同，且耐腐蚀性优于腔室外壳(100)的耐腐蚀性。上述方案能解决相关技术公开的清洗腔室由于整体采用较贵的耐腐蚀材料制造，而存在制造成本较高的问题。本申请还公开一种半导体工艺设备。
半导体工艺设备及其清洗

[发明专利]预制组装式钢混结构光伏发电设备平台-CN201710748247.5有效
发明人：张元海;陈鹏;吴林霞;陈再;张敬博 -专利权人：广东水电二局股份有限公司;徐闻县粤水电能源有限公司;东南粤水电投资有限公司
申请日： 2017-08-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： E02D27/44 文献下载
摘要：预制组装式钢混结构光伏发电设备平台，包括预应力管桩、结构框架、设备支撑框架和钢混承台板，以预应力管桩作为支撑基础，在预应力管桩上设置结构框架，结构框架由固定在预应力管桩上的主梁和连接在主梁之间的次梁排列而成，在结构框架上固定设备支撑框架，设备支撑框架由T梁排列而成，形状大小与所需要支承的设备底面形状大小相适配，用于支承设备，设备支撑框架内部连通至结构框架的底面，形成供电缆穿过的电缆孔，钢混承台板包括楼承板和混凝土层，楼承板铺设在结构框架上，混凝土层浇筑在楼承板上，设备支撑框架的顶端高于混凝土层。本发明具有施工效率高、周期短、造价低、拆除方便的特点，且能够适用于湖泊、水库等消落区。
预制组装式钢混结构发电设备平台

[发明专利]半导体清洗设备的卡盘结构、半导体清洗设备及方法-CN202211055538.3有效
发明人：杨慧毓;王海阔;宋爱军;刘本锋;张敬博;卢夕生;谢志勇 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体清洗设备的卡盘结构及半导体清洗设备，该卡盘结构包括用于承载晶圆的卡盘基体，在卡盘基体与晶圆相对的第一表面的边缘处形成有多个避让凹部，多个避让凹部与机械手在取放晶圆时与晶圆的接触位置一一对应地设置，用以避免机械手在取放晶圆时接触卡盘基体；在卡盘基体中设置有第一气体通道，第一气体通道在第一表面上具有多个第一出气口，多个第一出气口沿第一表面的周向间隔分布；每个第一出气口的喷气方向均朝向晶圆的与卡盘基体相对的表面外侧倾斜。本发明实施例可以降低机械手的位置校准难度，避免在晶圆边缘处产生颗粒污染和腐蚀。
半导体清洗设备卡盘结构方法

[发明专利]清洗腔室-CN202111401304.5有效
发明人：梁家齐;赵宏宇;张敬博;王延广 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B08B15/02 文献下载
摘要：本发明公开一种清洗腔室，包括腔室本体(100)、排风箱体(200)、调节机构(300)和排液装置；所述排风箱体(200)位于所述腔室本体(100)之外，且所述排风箱体(200)与所述腔室本体(100)相连通，所述排风箱体(200)开设有与外界空间相连通的通孔(231)；所述调节机构(300)包括调节板(310)，所述调节板(310)可活动地位于所述排风箱体(200)内，所述调节板(310)用于调节所述排风箱体(200)的排风量；所述排液装置通过所述通孔(231)与所述外界空间相连通，所述排液装置用于收集所述排风箱体(200)内冷凝的液体，并将收集的液体通过所述通孔(231)排至所述外界空间。上述方案能够解决清洗腔室的清洗效果较差的问题。
清洗

[发明专利]半导体工艺设备和排气调节机构-CN202211265823.8有效
发明人：许璐;李欢;赵宏宇;张敬博 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-10-17 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种半导体工艺设备排气调节机构。该半导体工艺设备的工艺腔室包括有多个沿竖直方向层叠设置的容置腔，容置腔用于容置待处理晶圆；排气装置包括有排气组件，多个排气组件与多个容置腔一一对应且连通设置；排气组件包括排气管及排气调节机构，排气管沿竖直方向延伸设置，并且排气管的周壁与容置腔连通，一端与一抽气装置连接；排气调节机构沿竖直方向延伸设置，并且排气调节机构的调节端容置于排气管内部，排气调节机构的操作端位于排气管另一端的外部，通过对操作端进行操作，以使调节端沿竖直方向作升降动作，用于调整排气管的气体流量。
半导体工艺设备排气调节机构

[发明专利]噻吩并嘧啶类化合物及其制备方法、用途和药物组合物-CN202111319623.1在审
发明人：许恒;陈晓光;林松文;金晶;吴德雨;张敬博;姜慧敏 -专利权人：中国医学科学院药物研究所
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C07D495/04 文献下载
摘要：本发明属于制药技术领域，涉及噻吩并嘧啶类化合物及其制备方法、用途和药物组合物。
噻吩嘧啶化合物及其制备方法用途药物组合

[发明专利]ECU数据篡改的检测方法、装置、电子设备及存储介质-CN202211596035.7在审
发明人：李国朋;葛浩;张雷波;曹石;张敬博;李春燕 -专利权人：潍柴动力股份有限公司;潍坊潍柴动力科技有限责任公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G06F11/30 文献下载
摘要：本申请提供了一种ECU数据篡改的检测方法、装置、电子设备及存储介质，所述方法包括：获取所述ECU中当前驾驶循环的状态特征参数；根据ECU中预存的状态结构体数组确定ECU的初始状态特征值；根据ECU中当前驾驶循环的状态特征参数计算ECU在当前驾驶循环的状态特征值；当判断ECU在当前驾驶循环的状态特征值与初始状态特征值不等同，确定ECU在当前驾驶循环内发生数据篡改。本申请通过ECU中当前驾驶循环的状态特征参数计算获得表征ECU当前驾驶循环的状态特征值，并在当前驾驶循环的状态特征值相较车辆初始状态特征值发生改变时，确定ECU在当前驾驶循环内发生数据篡改，由此实现对ECU数据是否发生篡改的检测。
ecu 数据篡改检测方法装置电子设备存储介质

[发明专利]炉管清洗装置及炉管清洗设备-CN202011572977.2有效
发明人：王延广;赵宏宇;张敬博;高广新;梁家齐 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： B08B9/049 文献下载
摘要：本发明公开了一种炉管清洗装置及炉管清洗设备，装置包括：传动机构、清洗机构和清洗介质管路；所述传动机构与所述清洗机构连接，用于驱动所述清洗机构在炉管内移动；所述清洗介质管路与所述清洗结构连通，用于将清洗介质通入所述清洗机构；所述清洗机构用于喷出所述清洗介质，并在所述清洗介质的反作用力下旋转。实现对炉管内壁的自动清洗，提高清洗效果。
炉管清洗装置设备

[发明专利]扫地机回充座定位方法、装置、设备及介质-CN202210071896.7有效
发明人： 张敬博;黄纯 -专利权人：深圳市无限动力发展有限公司
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： A47L11/40 文献下载
摘要：本公开的一种扫地机回充座定位方法，通过判断扫地机的当前位置是否能扫描到扫地机回充座发射的蓝牙信号；当扫地机可以扫描到所述蓝牙信号时，以扫地机的当前位置为原点、当前方向为X轴正方向建立XY正交轴；将扫地机沿所述XY正交轴的X轴和Y轴正方向移动预设距离后的位置标记分别标记为A、B点，并分别获取A、B点的蓝牙信号强度值；根据所述A点和所述B点的蓝牙信号强度值，分别计算A点和B点与所述回充座的距离；根据A点和B点与所述回充座的距离计算出所述回充座的坐标，利用蓝牙信号具备的高穿透能力和不会因地形或装修材料导致反光而形成反射的特性，可以更加高效精准的判断回充座的位置。
地机回充座定位方法装置设备介质

[发明专利]半导体工艺设备及其清洗装置-CN202110356070.0有效
发明人：高广新;王延广;张敬博;张明;梁家齐 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B08B9/08 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺设备及其清洗装置。该清洗装置用于对半导体工艺设备的工艺部件进行清洗，包括：工艺槽、滚动机构及伸缩机构；工艺槽用于承载清洗液以清洗工艺部件；滚动机构设置于工艺槽内，滚动机构包括并列设置的两个滚轮结构，两个滚轮结构均沿工艺槽的长度方向延伸设置，并且滑动设置于工艺槽的底部，用于承载并带动工艺部件转动；伸缩机构设置于两个滚轮结构之间，用于调节两个滚轮结构之间的间距，以使两个滚轮结构能承载不同规格的工艺部件。本发明的清洗装置能实现对不同尺寸的工艺部件进行清洗，从而有效提高了清洗装置的兼容性，扩展了适用性及适用范围。
半导体工艺设备及其清洗装置

[发明专利]同步相位的故障确定方法、故障确定装置、处理器与车辆-CN202210510059.X有效
发明人：曹石;姜冰;刘明辉;任利民;张敬博 -专利权人：潍柴动力股份有限公司;潍坊潍柴动力科技有限责任公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： F02D41/30 文献下载
摘要：本申请提供了一种同步相位的故障确定方法、故障确定装置、处理器与车辆，该故障确定方法包括：获取各缸的离子电流信号以及缸压峰值位置信号；在发动机满足预设条件的情况下，至少根据各缸的离子电流信号以及缸压峰值位置信号，确定发动机的同步相位是否故障，预设条件包括：发动机的点火系统和喷射系统无故障、发动机不存在同步相位相关故障以及发动机处于稳定运行的工况，从而解决了现有技术中难以较为准确地对发动机的同步相位进行故障诊断的问题，进而实现了对发动机点火系统和喷射系统的精确控制、保证了发动机的燃烧较为充分以及保证了发动机的性能和排放水平较好。
同步相位故障确定方法装置处理器车辆

1
2
3
4
下一页»
尾页
共 53 条