专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]清洗设备-CN202210079573.2有效
  • 高广新;张敬博;李广义;王广永;王延广 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-01-24 - 2023-08-18 - B08B3/04
  • 本发明提供一种清洗设备,其包括腔体、工艺槽和开闭装置,工艺槽设置于腔体内,用于盛放清洗液;开闭装置包括柔性膜、第一卷轴组件和第二卷轴组件;其中,柔性膜覆盖于工艺槽的槽口上,并且具有与工艺槽的槽口相配合的开口部和遮挡部;柔性膜的两端分别卷绕在第一卷轴组件和第二卷轴组件上,且第一卷轴组件和第二卷轴组件能够沿相同方向同步转动以带动柔性膜移动,以使开口部和遮挡部对工艺槽的槽口进行选择性地敞开或遮挡。本发明提供的清洗设备能够有效避免腔体内部气流的流动受到阻碍,且其中的开闭装置不会与清洗设备中的机械手发生干涉。
  • 清洗设备
  • [发明专利]清洗装置-CN202210333213.0有效
  • 李圆晨;王广永;王昭;廖伟 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-03-31 - 2023-05-16 - B08B3/02
  • 本发明公开了一种清洗装置,用于清洗晶圆传输设备,晶圆传输设备包括晶圆支撑臂,清洗装置包括第一清洗块和第二清洗块;其中:第一清洗块和第二清洗块中的至少一者开设有介质入口,第一清洗块和第二清洗块均设有多个介质出口;第一清洗块和第二清洗块可相对运动以对接形成清洗空间,清洗空间用于容纳晶圆支撑臂,且第一清洗块和第二清洗块形成的结构用于环绕晶圆支撑臂,多个介质出口沿清洗空间的内壁设置,以用于环绕晶圆支撑臂。上述方案可以解决清洗装置只能从一侧对晶圆支撑臂进行清洗,而存在对晶圆支撑臂清洗不完全的问题。
  • 清洗装置
  • [发明专利]工件取放组件-CN202011406193.2有效
  • 宋俊超;张虎威;王广永;王嗣阳 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2020-12-03 - 2023-03-21 - B65G47/90
  • 本发明提供一种工件取放组件,包括控制装置、驱动装置和抓取结构,该控制装置能够控制驱动装置驱动抓取结构沿竖直方向和水平方向运动,该驱动装置能够根据驱动装置在竖直方向的载荷和在水平方向的载荷向控制装置发送竖直载荷反馈信息和水平载荷反馈信息,该控制装置用于控制驱动装置驱动抓取结构进行取放操作,并在竖直载荷反馈信息或水平载荷反馈信息超出当前步骤对应的反馈信息范围时,判定取放操作出现异常。在本发明中,控制装置能够根据抓取结构、驱动装置的受力情况及时发现异常,提高半导体工艺的安全性。
  • 工件组件
  • [发明专利]一种支撑装置、干燥装置及清洗机-CN202211171175.X在审
  • 王昭;赵宏宇;王广永;马宏帅 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-09-23 - 2022-12-16 - H01L21/673
  • 本申请公开了一种支撑装置、干燥装置及清洗机,支撑装置用于支撑晶圆,包括至少两个相对设置的支撑组件,支撑组件包括位于顶部的多个限位齿,限位齿沿支撑组件的长度方向排列,相邻两个限位齿之间形成齿槽;支撑组件中的至少一个还包括设置于齿槽旁侧并采用吸水材料制作的支撑部;支撑部的顶面高于齿槽的底面,并且低于限位齿的顶部,用于当晶圆被插入齿槽中时对晶圆的端面进行支撑。本申请的支撑装置,晶圆两个侧面通过两侧的限位齿进行限位,晶圆的端面支撑在支撑部上,由于支撑部采用吸水材料制作,晶圆上残留的水可以被吸水材料吸走。该支撑装置的支撑部对应的接触点不需要压力泵进行辅助干燥,结构简单,成本低。
  • 一种支撑装置干燥清洗
  • [发明专利]槽式清洗设备的注液管和槽式清洗设备-CN202210734012.1在审
  • 王昭;刘东旭;王广永;马宏帅 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-06-27 - 2022-09-09 - B08B3/02
  • 本发明公开一种注液管和槽式清洗设备,涉及半导体制造技术领域。该注液管包括第一管道和第二管道,第二管道套设于第一管道,第二管道的两端分别与第一管道密封相连,且第一管道和第二管道之间形成有缓冲腔,第一管道具有进液口,进液口用于与供液管路连通,第一管道开设有多个第一注液孔,第一注液孔贯穿第一管道的管壁。第二管道的管壁具有第一区域和第二区域,第一区域的管壁与第二区域的管壁构成第二管道;第一区域的管壁开设有多个第二注液孔,第二注液孔由第一区域的内侧壁贯穿第二管道的管壁至第一区域的外侧壁,且第一注液孔与第二区域相对。该方案能够解决注液管喷射清洗药液不均,容易形成射流状清洗痕迹的问题。
  • 清洗设备注液管

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