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- [发明专利]一种晶圆姿态检测装置及方法-CN202310927605.4在审
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周庆亚;田洪涛;刘福强
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北京晶亦精微科技股份有限公司
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2023-07-26
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2023-10-27
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H01L21/67
- 本发明属于半导体制造技术领域，具体公开了一种晶圆姿态检测装置及方法。其中，晶圆姿态检测装置通过将第一激光测距仪安装于多个工位中的第一工位，将第一挡板安装于第二工位，光发射器将光线射向挡板，在夹持件夹持晶圆后，驱动结构驱动夹持件沿着竖直方向移动的过程中，控制器可以采集光线射向晶圆表面时的距离信号，并将这些距离信号换算为距离值，经汇总后拟合形成波形图，与晶圆移动时为理想姿态时拟合的波形图对比，即可判断出晶圆实际移动时的姿态是否存在异常，为后续是否对晶圆的姿态进行矫正提供数据参考，进而避免现有方案中晶圆以异常的姿态进入下一工艺单元时破损的现象发生，提升了晶圆姿态检测装置的实用性。
- 一种姿态检测装置方法
- [发明专利]一种防碰撞控制方法-CN202210322608.0有效
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吴燕林;周庆亚;李嘉浪;张康;刘福强
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北京晶亦精微科技股份有限公司
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2022-03-29
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2023-06-23
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B24B37/00
- 本发明涉及半导体加工设备技术领域，其目的是提供一种防碰撞控制方法，监测扫描配方安全性时可靠性强、准确性高。上述的防碰撞控制方法包括：获取t0+i×Δt时刻第一运动件预计位置SAi和第二运动件预计位置SBi；并计算二者之间的距离Q；若距离Q小于或等于碰撞距离ΔQ，则对两者运动方向进行判断，若两者为相向运动则t0+i×Δt时刻两者可能会碰撞，需进行避让，若两者不是相向运动则说明t0+i×Δt时刻两者不会碰撞；若距离Q大于碰撞距离ΔQ，则说明两者不会碰撞，并按上述步骤对总执行时间T内每过Δt时刻两者是否碰撞进行判断。本发明解决了现有人为监测扫描配方安全性的方法可靠性差且易损坏设备的问题。
- 一种碰撞控制方法
- [发明专利]一种具有冷却功能的抛光装置-CN202210099458.1有效
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周博伦;刘福强;李伟;史霄
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北京晶亦精微科技股份有限公司
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2022-01-27
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2023-06-20
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B24B37/10
- 本发明提供的一种具有冷却功能的抛光装置，包括：抛光盘具有上下贴合连接的第一盘体和第二盘体，第二盘体上开设有用于传感器穿过的避让孔；旋转轴连接在第二盘体上，用于驱动抛光盘旋转；冷却回路呈螺旋状盘布在第一盘体与第二盘体之间,冷却回路中适于流通冷却液；冷却回路的进/回液口均连通有软管，该软管穿过旋转轴的穿轴孔后、适于与冷却液箱连通；冷却回路对避让孔进行绕包，冷却液先流经绕包在避让孔周向的冷却回路；驱动组件至少部分设于旋转轴上，用于驱动旋转轴转动。本发明的冷却回路能够对抛光盘进行循环冷却，降低因热影响抛光液的化学反应；避让孔被冷却回路绕包，能够对传感器进行充分冷却，减小因安装传感器导致的散热不均问题。
- 一种具有冷却功能抛光装置
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