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[发明专利]一种无阀压电泵及其制作方法-CN202110510547.6有效
发明人：全雪;蔡金东 -专利权人：上海芯物科技有限公司
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： F04B43/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种无阀压电泵及其制作方法，涉及流体机械技术领域。该无阀压电泵包括壳体、弹性盖板、电极组件、电源组件、多个压电薄膜和多个三角板，壳体内部中空且沿长度方向的一侧设置有开口，弹性盖板封堵于开口使壳体形成泵腔，壳体的两端分别设置有入口和出口，入口和出口均与泵腔连通；多个压电薄膜均匀间隔贴附于弹性盖板的外壁；相邻两个压电薄膜的振动方向相反；电极组件贴附于泵腔的外壁且多个压电薄膜均与电极组件连接；电源组件与电极组件电连接；多个三角板均匀间隔设置于泵腔内且均与壳体连接，多个压电薄膜在三角板所在的平面的投影与多个三角板交替设置。该压电泵能提升扰流效率，提高泵送效率和泵送速度，结构简单、成本低。
一种压电及其制作方法

[发明专利]一种MEMS传感器的封装方法-CN201910526686.0有效
发明人：李以贵;涂云婷;王欢;张成功;蔡金东 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS传感器的封装方法，包括以下步骤：提供多层电路板，清洗烘干，在多层电路板上印制引线用焊盘，并在引线用焊盘上焊接金球；提供MEMS传感器芯片，在MEMS传感器芯片背面印制芯片焊盘，在芯片焊盘上利用溅射沉积多层金属膜；将MEMS传感器芯片倒装置于多层电路板上；以焊接金球作为凸点，采用热压焊技术接合引线用焊盘和芯片焊盘，并在在引线用焊盘与芯片焊盘之间填充填料；在MEMS传感器芯片正面用粘结剂粘结保护盖子；提供上表面覆盖有玻璃薄膜的弹性盖子，采用粘结剂将弹性盖子粘结于保护盖子上，得到MEMS传感器。与现有技术相比，本发明具有生产成本低、容易批量生产、气密性能好等优点。
一种 mems 传感器封装方法

[发明专利]一种热驱动微型气体泵送器件及泵送器件加工方法-CN202110543936.9有效
发明人： 蔡金东;全雪 -专利权人：上海芯物科技有限公司
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： F03G7/06 文献下载
摘要：本发明涉及微流控技术领域，公开一种热驱动微型气体泵送器件，包括：泵送本体，泵送本体上刻蚀形成有泵送流道以及位于泵送流道内的热源结构，热源结构包括沿泵送流道的延伸方向等间隔设置的多个加热柱，加热柱呈等腰三角形形状，多个加热柱的中轴线均位于泵送流道的中心线上；压电陶瓷薄膜，覆设于泵送流道的侧壁及加热柱的侧壁，压电陶瓷薄膜的厚度随接入电压的变化而变化；盖板，盖设于泵送本体上并将泵送流道覆盖。本发明提供的热驱动微型气体泵送器件通过设置泵送流道及热源结构，能够在热源结构和泵送流道之间形成稳定的温度场，实现气体的稳定泵送。本发明提供的泵送器件加工方法能便捷快速地加工上述热驱动微型气体泵送器件，经济性好。
一种驱动微型气体器件加工方法

[发明专利]一种单向阀及其制备方法-CN202010057100.3有效
发明人： 蔡金东;宋阳阳;王新亮;胡慧珊;马硕 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2020-01-19 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： F16K99/00 文献下载
摘要：本发明公开一种单向阀及其制备方法，所述单向阀包括依次堆叠的第一基片层、中间层、第二基片层，其中：所述第一基片层，设置有第一开口；所述中间层，设置有单向阀体，所述单向阀体包括活塞柱结构以及被所述活塞柱结构间隔的流道，所述活塞柱结构通过活塞弹性膜片与所述中间层相连接；所述第二基片层，设置有第二开口，所述第二开口可与所述流道连通；所述活塞弹性膜片具有预应力变形。本发明的单向阀具有如下优点：(1)可以主动防止流体回流，具有响应快，流控精度高等特点；(2)结构紧凑简单、易加工、体积尺寸小，制造成本低，可大批量生产；(3)通过控制活塞柱下表面与阀体下表面高度差，来预设阀门开启阈值，可满足更多应用场景。
一种单向阀及其制备方法

[发明专利]一种带周期伸缩式可变衍射光栅的微加速度传感器-CN201910527294.6有效
发明人：李以贵;高磊;王欢;张成功;蔡金东 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G01P15/03 文献下载
摘要：本发明涉及一种带周期伸缩式可变衍射光栅的微加速度传感器，包括基座、与基座固定连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端固定连接的质量块、以及用于测量悬臂梁位移的测量机构，测量机构包括两端分别与基座和质量块连接的周期伸缩式可变衍射光栅、以及固定于基座上的激光器和光电探测器；激光器和光电探测器分别置于周期伸缩式可变衍射光栅的两侧。与现有技术相比，本发明采用周期伸缩式可变衍射光栅测量物体加速度，利用光学光栅的误差平均效应的特点，具有测量精度高、响应速度快、测量高效、更容易测量精密振动等优点。
一种周期伸缩可变衍射光栅加速度传感器

[发明专利]一种超强度微针阵列制造方法-CN201910323065.2有效
发明人：李以贵;王欢;张成功;王洁;蔡金东;金敏慧 -专利权人：苏州应汝电子科技有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种超强度微针阵列制造方法，包括以下操作步骤：S1：将PMMA微针阵列作为原始模具，利用移动X射线曝光并制作PMMA微针；S2：将S1制作得到的PMMA微针通过PDMS转模形成二次模具，在PDMS的基础上涂一层导电材料，从而制作PDMS模具的铬/铜种子层；S3:在S2的基础上进行镍/金刚石复合电镀；并且在镍/金刚石复合电镀的过程中加入坑抑制剂。通过上述方式，本发明所设计的镍/金刚石微针阵列具有无损伤，高强度，易操作的优势，金刚石针尖有助于使量子纳米传感变得更具成本效益和实用性，也可用于进行诸如电磁场、温度或应力的高灵敏度纳米级测量。国内这种超强度的微针阵列尚有欠缺，发展前景广阔。
一种强度阵列制造方法

[发明专利]敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器及其加工方法-CN201910527313.5有效
发明人：李以贵;金敏慧;王欢;张成功;王洁;蔡金东 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器，包括固定连接的敏感膜和传力导杆，敏感膜包括基板、设于基底中心位置的中心板、连接于基板和中心板之间的悬臂梁、设于悬臂梁上的压敏电阻，基板上设有与压敏电阻位置匹配的接触孔，金属引线与压敏电阻在接触孔内形成欧姆接触，并组成惠斯登电桥；中心板一体连接传力导杆。与现有技术相比，本发明具有制备简便、成本低、测量误差小、方便安装等优点。
敏感传力导杆一体化传感器及其加工方法

[发明专利]一种晚熟柑橘的种植方法-CN201811642977.8有效
发明人： 蔡金东 -专利权人：重庆嘉之树农业有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： A01G17/00 文献下载
摘要：本发明涉及植物栽培技术领域，具体公开了一种晚熟柑橘的种植方法，包括下述措施：A、冬季保温措施：利用保温装置的环形保温组和顶盖保温组对柑橘树进行保温；B、冬季升温措施：利用保温装置的环形保温组对柑橘树进行辅助升温；C、灌溉管理：在保温装置四周挖排水沟，防止保温装置周围的水流到柑橘树根部；D、修剪；E、用肥管理；F、柑橘的疏果。本方案用以解决现有技术中柑橘树难以熬过冬季的问题。
一种晚熟柑橘种植方法

[发明专利]一种湿法刻蚀设备及光刻胶清洗显影装置-CN201910185830.9有效
发明人：李以贵;蔡金东;王欢;张成功;吴文渊;王洁;金敏慧 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种湿法刻蚀设备及光刻胶清洗显影装置，该湿法刻蚀设备包括：壳体，壳体的外壁上设有控制面板；载液盆设于壳体内，用于盛放溶液；该载液盆的盆沿与壳体的内壁固连；超声波雾化器固设于载液盆的底部，用于将载液盆中的溶液雾化成液滴；刻蚀花篮设于载液盆的盆沿上，用于盛放被刻蚀器件；该被刻蚀器件与溶液分离；供电模块设于壳体的底部；其中，超声波雾化器与控制面板电连接；超声波雾化器、控制面板均与供电模块电连接。采用刻蚀花篮使被刻蚀器件与溶液分离，并用超声波雾化器将刻蚀液雾化，利用雾化液滴刻蚀器件，使镂空、栅格等精细复杂结构平稳释放，提供刻蚀精细复杂结构的成功率。
一种湿法刻蚀设备光刻清洗显影装置

[实用新型]一种多芯片集成封装结构-CN201922365640.3有效
发明人：俞童;钟蓝倩;蔡金东;宋阳阳;温赛赛;王新亮 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种多芯片集成封装结构，包括：流道基座；固定于流道基座上方的电路板，流道基座与电路板形成封闭空腔结构，封闭空腔结构形成主流道，封闭空腔结构的两侧分别设置有连接入口与连接出口；电路板面向封闭空腔结构的内侧固定有第一传感器芯片，第一传感器芯片对应于主流道，电路板面向空腔结构的内侧和/或外侧固定有第二传感器芯片，第二传感器芯片的外部设置有保护结构。上述多芯片集成封装结构通过设置芯片保护结构可达到多种芯片的集成封装，该封装结构紧凑简单，占用空间小，可实现大批量制造，最大化降低封装成本，进而提高传感器模组的附加值。
一种芯片集成封装结构

[发明专利]一种带有外层的中空结构微针阵列制作方法-CN201910323058.2在审
发明人：王欢;李以贵;张成功;蔡金东 -专利权人：苏州应汝电子科技有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种带有外层的中空结构微针阵列制作方法，包括以下操作步骤：S1：制作原始硅模具；S2：将原始硅模具硅烷化，按10：1配置PDMS溶液，将硅片用双面胶黏贴与培养皿中，倒入配置好的PDMS溶液，抽气泡25‑35min；S3：将S2步骤中的原始硅模具在50℃‑70℃烘箱中热固化1‑3h，脱模，得到两块针形PDMS模具；S4：将尺寸大的针形PDMS模具二次转模，得到坑形较大尺寸PDMS模具；S5：填充较大尺寸坑形PDMS模具，得到微针阵列结构；S6：微针阵列结构抽除气泡后取出后脱模；S7：在微针阵列结构下方开出小孔。通过上述方式，本发明中有外层的中空微针阵列，外层和中空部分尺寸可调整，外层根据需求可制备为易降解、固体及带孔结构，满足多场景应用需要，中空孔可填充多种形式的有效成分以达满足不同应用场景的要求。
微针阵列模具原始硅中空结构中空脱模针形填充培养皿制作烘箱场景应用应用场景除气泡硅烷化胶黏贴可调整热固化中空孔带孔硅片降解小孔转模配置制备取出

[发明专利]一种聚丙烯微孔膜的制备方法-CN201811389307.X在审
发明人：朱勇飞;付传玉;郑树松;王楠;孙洪伟;吕天一;李海权;蔡金东;程璐;王宇 -专利权人：北方华锦化学工业股份有限公司
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： H01M2/14 文献下载
摘要：本发明属于锂离子电池技术领域，具体涉及一种加入成核剂的聚丙烯微孔膜的制备方法，包括将聚丙烯、聚丙烯β晶型成核剂按质量百分比共混，流延制得铸片；将上述铸片用拉伸机双向同步拉伸得到聚丙烯微孔膜。本发明采用干法双向拉伸的方法制备聚丙烯微孔膜，不仅提高了微孔膜的韧性，同时也提高了其穿刺强度，同时减小了微孔膜的加工成本。
聚丙烯微孔膜制备微孔膜铸片聚丙烯聚丙烯β晶型成核剂质量百分比锂离子电池双向拉伸双向同步穿刺成核剂拉伸机干法共混减小拉伸流延加工

[发明专利]一种聚丙烯锂电池隔膜专用料的分级结晶方法-CN201811389205.8在审
发明人：朱勇飞;郑树松;孙洪伟;蔡金东;付传玉;王楠;王岩;纪中仁;程璐;王宇;李鹤 -专利权人：北方华锦化学工业股份有限公司
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： G01N25/20 文献下载
摘要：本发明属于聚丙烯热分析领域，具体涉及一种聚丙烯锂电池隔膜专用料的分级结晶方法。包括将聚烯烃树脂置于差示扫描量热仪的坩埚中，在氮气的保护下，升温至200℃停留5分钟，以消除残留的热历史，然后以10℃/min的降温速率降至40℃，再以10℃/min的升温速率升温八次，每次温度递减4℃；升至167‑139℃停留15min；每次升温后都以10℃/min的降温速率降至40℃，并停留2min；最后以10℃/min的升温至200℃；记录热流变化，得到热分级熔融曲线。该方法无需大量溶剂，成本低且不会污染环境，可以较好的分析影响锂电池隔膜专用料的熔融峰值，极大的提高了对原料选择的准确性，并且操作简单方便。
聚丙烯锂电池隔膜专用料分级结晶停留氮气差示扫描量热聚烯烃树脂热流变化熔融曲线原料选择热分级热分析热历史溶剂熔融坩埚递减残留记录分析

[发明专利]基于整形X射线移动曝光的微台阶加工装置及方法-CN201810794694.9在审
发明人：李以贵;吕曈;蔡金东;王欢;吴文渊;何易德 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于半导体集成电路制造技术领域，更具体地，涉及一种基于整形X射线移动曝光的微台阶加工装置及方法。基于整形X射线移动曝光的微台阶加工装置，它包括同步辐射光光源、掩膜版、PMMA光刻胶板、移动工作台和曝光腔，所述掩膜版、PMMA光刻胶板、移动工作台设置在曝光腔内，PMMA光刻胶板固定设置在移动工作台上，掩膜版位于PMMA光刻胶板前方，所述同步辐射光光源位于曝光腔外，且设置在掩膜版前方，所述掩膜版上设有小孔，所述同步辐射光光源发射的X射线进入曝光腔区域，通过掩膜版上的小孔，得到整形好的X射线，对移动工作台的上PMMA光刻胶板进行曝光。通过控制整形X射线照射到光刻胶的时间，获得不同的曝光剂量，从而获得不同深度的台阶式结构。
掩膜版光刻胶板整形曝光腔同步辐射光移动工作台加工装置微台阶曝光移动小孔光源半导体集成电路制造台阶式结构固定设置光源发射曝光剂量光刻胶

[发明专利]一种特氟龙快速微加工装置及方法-CN201710548247.0在审
发明人：李以贵;吕曈;蔡金东;黄远;颜平;王欢 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2017-07-06 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种新的特氟龙加工装置及工艺，包括同步辐射光源、喷嘴、光束整形器、加热板，其中同步辐射光源位于喷嘴前端，光束整形器位于加热板的中心位置，加热板上的电阻丝采用钨电阻丝，加热板基片采用玻璃材料，能使加热丝绝缘。同步辐射光源产生的同步辐射光，通过喷嘴汇聚在光束整形器上，形成一束较细的同步辐射光束，照射到特氟龙加工件上进行特氟龙微加工，同时使加热板贴近特氟龙工件对特氟龙工件实行局部加热，实现快速加工。
一种特氟龙快速加工装置方法

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