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[发明专利]一种MEMS微镜阵列的制备方法及微镜-CN202311193462.5在审
发明人：李亚雷;温赛赛;仇旭萍;张裕华 -专利权人：苏州亿波达光电子科技有限公司
申请日： 2023-09-15 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS微镜阵列的制备方法，包括如下步骤：S1、在读出电路板表面设置基板；S2、在基板表面沉积牺牲层，并在牺牲层表面刻蚀通孔；S3、在牺牲层表面沉积与读出电路板连接的镜面，得到MEMS微镜；S4、刻蚀MEMS微镜得到阵列化排布的微镜单元；S5、去除牺牲层，得到MEMS微镜阵列。本方法通过读出电路板与每个微镜单元的独立连接实现了其阵列化设置，每个微镜单元均能够独立控制其偏转，可在较小的静电驱动力作用下满足所需的偏转角度，提高了产品的使用灵活程度及效果，此外，本方法通过牺牲层的设置制备出扭转刚度较小的微镜阵列，并提高了镜面的填充率，使微镜单元可呈现出更佳的成像效果。
一种 mems 阵列制备方法

[发明专利]小体积的氢气传感器及其加工方法-CN202310762183.X在审
发明人：宫美梅;温赛赛 -专利权人：苏州亿波达光电子科技有限公司
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种小体积的氢气传感器及其加工方法，包括：惠斯通电桥，所述惠斯通电桥包括：催化组件，所述催化组件包括两个阻值相同的催化电阻，其中一个所述催化电阻暴露在空气中，在预设温度范围内催化氢气产热；参考组件，其提供参考信号，所述参考组件包括两个阻值相同的掺杂参考电阻，所述掺杂参考电阻的阻值为催化电阻的100‑1000倍。其结构小巧，工艺难度低，节约工艺成本。
体积氢气传感器及其加工方法

[发明专利]一种隔膜泵系统及其检测方法-CN201810223868.6有效
发明人： 温赛赛;胡慧珊;马硕;王新亮 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： F04B43/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种隔膜泵系统，该隔膜泵系统包括隔膜泵、与该隔膜泵可拆卸连接的流量传感器、与所述隔膜泵和所述流量传感器相连接的微控制器，其中隔膜泵用于泵送流体，流量传感器用于检测隔膜泵的功能异常并输出正常信号或异常信号；微控制器根据流量传感器输出的信号来调控隔膜泵。本发明还提供了一种能够精确检测出隔膜泵系统的功能异常的检测方法。本发明的隔膜泵系统将隔膜泵和流量传感器可拆卸连接，结构简单，制作工艺简单，体积小且成本低，提高了泵送精度，还提高了可靠性。
一种隔膜系统及其检测方法

[发明专利]一种感测元件及压力传感器-CN202310514513.3有效
发明人： 温赛赛;邢昆山 -专利权人：苏州亿波达光电子科技有限公司
申请日： 2023-05-09 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种感测元件及压力传感器，其中感测元件包括：衬底，在其厚度方向具有相对的第一表面和第二表面；衬底设有至少一个压敏电阻区，压敏电阻区靠近第一表面，压敏电阻区具有压敏电阻连接区，压敏电阻连接区电接触至少两个接触区；至少一个保护层，覆盖于衬底的第一表面；至少一个第一保护环，位于压敏电阻区和衬底的第二表面之间；至少一个第二保护环，设于衬底内，且位于保护层和第一保护环之间；屏蔽层，设置在保护层的表面或者设置在保护层和压敏电阻区之间；其中，第一保护环、第二保护环和屏蔽层中的至少一个通过接触区和外电路连接。本发明规避衬底产生的游离电荷对压阻区域的影响，提高压力传感器的精度和长期稳定性。
一种元件压力传感器

[发明专利]感测元件及压力传感器-CN202310514446.5有效
发明人： 温赛赛;邢昆山 -专利权人：苏州亿波达光电子科技有限公司
申请日： 2023-05-09 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种感测元件及压力传感器，其中感测元件包括第一衬底，第二衬底，覆盖于第一衬底；第二衬底内设有至少一个压敏电阻区，压敏电阻区靠近第二衬底的上表面，压敏电阻区具有压敏电阻连接区，压敏电阻连接区电接触接触区；至少一个保护层，覆盖于第二衬底的上表面；至少一个保护环，设于第二衬底内，且压敏电阻区和压敏电阻连接区位于保护环内侧；屏蔽层，设置在保护层的表面或者设置在保护层和压敏电阻区之间；其中，第一衬底、保护环和屏蔽层中的至少一个通过接触区和外电路连接。本发明规避衬底产生的游离电荷对压阻区域的影响，提高压力传感器的精度和长期稳定性。
元件压力传感器

[发明专利]负压式介质腔芯片系统-CN201710655430.0有效
发明人：马硕;胡慧珊;温赛赛;王新亮 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2017-08-03 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种负压式介质腔芯片系统，所述系统包括芯片组件，所述芯片组件包括芯片膜层，所述芯片膜层上设置有入口、出口以及与所述入口和所述出口连通的介质腔，所述入口用于向所述介质腔内送入待检测介质，所述介质腔用于容纳所述待检测介质；抽气装置，所述抽气装置设置有抽气口，所述抽气口与所述芯片膜层的所述出口密闭连通，以对所述介质腔抽气，以使得所述介质腔内部形成负压。本发明的负压式介质腔芯片系统，便于对介质腔内的待检测介质实现封装，降低封装制作成本，简化封装工艺步骤，能够实现原位观测液‑液相、固‑液相界面的形貌或/及生化反应性能表征等。
负压式介质芯片系统

[发明专利]一种MEMS流量传感器芯片-CN201811414115.X有效
发明人：宋阳阳;温赛赛;马硕;胡慧珊;王新亮 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G01F1/684 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS流量传感器芯片，所述MEMS流量传感器芯片包括具有腔体的基底、设置在基底下方的腔体保护层、叠设于基底上方的电阻元件支承层、载置于电阻元件支承层的感温元件和测流元件、覆盖感温元件和所测流元件的电阻元件保护层以及设置在所述电阻元件保护层上方的芯片保护层。其中，所述测流元件对应设置在所述腔体的正上方；所述感温元件设置在所述基底上方的非腔体对应的位置。本发明的MEMS流量传感器芯片应用广泛，特别适用于小微流量的流体流速测量；具有电路结构简单，测量精度高、成本低的特点；提升了测量灵敏度和测量范围；并且使用寿命更长。
一种 mems 流量传感器芯片

[实用新型]流量控制阀-CN201921349312.8有效
发明人： 温赛赛;宋阳阳;俞童;钟蓝倩;马硕;胡慧珊;王新亮 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： F16K31/66 文献下载
摘要：本实用新型提供一种流量控制阀，具体涉及一种使用MEMS流量传感器自动监测并控制流量的阀门装置，针对现有的流量控制阀存在体积大、质量大、成本高、拆卸清洗和维修困难、控制导电性差的液体弱的问题，提供一个低成本、小体积的流量控制阀；本实用新型实施例一种流量控制阀包括控制模块、MEMS流速传感器模块、信号输入模块、信号输出模块、驱动模块以及阀门，所述控制模块与所述MEMS流速传感器模块、信号输入模块、信号输出模块以及驱动模块的一端均电连接，所述驱动模块的另一端与阀门电连接，各个模块之间可通信的耦合。
流量控制

[实用新型]一种多芯片集成封装结构-CN201922365640.3有效
发明人：俞童;钟蓝倩;蔡金东;宋阳阳;温赛赛;王新亮 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种多芯片集成封装结构，包括：流道基座；固定于流道基座上方的电路板，流道基座与电路板形成封闭空腔结构，封闭空腔结构形成主流道，封闭空腔结构的两侧分别设置有连接入口与连接出口；电路板面向封闭空腔结构的内侧固定有第一传感器芯片，第一传感器芯片对应于主流道，电路板面向空腔结构的内侧和/或外侧固定有第二传感器芯片，第二传感器芯片的外部设置有保护结构。上述多芯片集成封装结构通过设置芯片保护结构可达到多种芯片的集成封装，该封装结构紧凑简单，占用空间小，可实现大批量制造，最大化降低封装成本，进而提高传感器模组的附加值。
一种芯片集成封装结构

[实用新型]传感器封装结构-CN201921540808.3有效
发明人：俞童;钟蓝倩;宋阳阳;温赛赛 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2019-09-17 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01D11/26 文献下载
摘要：本实用新型提供一种传感器封装结构，属于传感器技术领域，其可至少部分解决现有的传感器封装结构复杂、体积大、不易拆装和无法测量特殊液体问题，本实用新型实施例的传感器封装结构包括基座、流道、传感器组件和密封件，所述基座设置有芯片放置位，所述流道穿设在所述基座中并与所述芯片放置位连通，所述流道的第一端穿出至所述基座一侧，所述流道的第二端穿出至所述基座另一侧，所述传感器组件包括电路板以及设置在所述电路板朝向所述基座一侧的传感芯片，所述电路板与所述基座连接，所述传感芯片放置在所述芯片放置位中，所述密封件夹设在所述电路板与所述基座之间，以密封所述电路板与所述基座。
传感器封装结构

[发明专利]气泡检测传感器装置-CN201910977589.3在审
发明人： 温赛赛;俞童;宋阳阳;钟蓝倩 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2019-10-15 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： G01N25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种气泡检测传感器装置，属于传感器技术领域，其可至少部分解决现有的传感器灵敏度低、传感器面积大的问题，本发明实施例的一种气泡检测传感器装置包括气泡传感器以及与所述气泡传感器电连接的信号采集处理模块，所述气泡传感器包括支撑层、依次设置在所述支撑层上的第一保护层和第二保护层以及夹有在所述第一保护层和所述第二保护层之间的至少一个感温元件；所述感温元件，用于检测流体流过时的温度变化信号，并将所述温度变化信号转换为电信号；所述信号采集处理模块，用于根据所述电信号确定所述流体中的气泡信息。
气泡传感器信号采集处理模块气泡检测传感器温度变化信号第二保护层第一保护层感温元件支撑层传感器技术领域传感器灵敏度流体流过依次设置电连接传感器流体转换检测

[实用新型]一种多格滴样观测窗口-CN201822146640.X有效
发明人：胡慧珊;王新亮;温赛赛;马硕 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及微纳观测表征技术领域，提供了一种多格滴样观测窗口，其包括：衬底，衬底包括第一表面和第二表面，第一表面设置有第一薄膜且第二表面设置有第二薄膜，第一表面或第二表面上阵列形成多个方形凹槽；在每个凹槽的中间位置设置多个观测凹槽，观测凹槽贯穿衬底与第一薄膜，或贯穿衬底与第二薄膜。上述多格滴样观测窗口通过在衬底上形成多个观测窗口可以实现同时观测多个样品，并且每个正四棱台孔观测窗口间有阻挡衬底层及薄膜的存在而避免样品的交叉感染，极大地节省了观测时间。
衬底薄膜观测窗口观测第二表面第一表面滴样多格本实用新型表征技术方形凹槽交叉感染正四棱台衬底层贯穿阻挡

[实用新型]一种用于微观原位观察的MEMS加热芯片-CN201822038744.9有效
发明人：王新亮;黄鹏;龚巍;樊凡;马硕;温赛赛;胡慧珊 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种用于微观原位观察的MEMS加热芯片，包括：硅基衬底，依次设置于硅基衬底上的支撑层与钝化层；设置于钝化层的上表面的加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于钝化层上，加热电极和测量电极围绕形成用于微观原位观察的观察区域；贯穿设置于硅基衬底与支撑层中的隔热空腔，隔热空腔的上表面在垂直于硅基衬底的方向上对应观察区域。上述加热芯片通过采用钝化层来保护加热电极与测量电极，使加热过程中电阻更加稳定，温度可加热到1000度以上，有效隔绝气体和液体，避免电极在加热过程中挥发污染测试的样品，使加热芯片加热温度高且加热稳定、污染小，进而满足SEM或TEM进行微观原位观察的测检测要求。
测量电极加热电极钝化层硅基衬加热芯片原位观察隔热空腔观察区域加热过程微观上表面支撑层加热本实用新型挥发污染绝缘设置依次设置电极可加热电阻同层垂直测试贯穿检测污染

[实用新型]一种贴片式药液注射器-CN201822133467.X有效
发明人：马硕;温赛赛;王新亮;黄鹏;宋阳阳;胡慧珊 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2018-12-19 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： A61M5/145 文献下载
摘要：本实用新型提供一种贴片式药液注射器，包括具有刚性壁外壳的第一容器(1)，具有刚性壁液体容器外壳的第二容器(2)，弹性膜(3)，抽吸装置(4)和一次性使用即抛弃的元件；其中，弹性膜将第一容器分成第一腔室(5)和第二腔室(6)；所述第一容器固定在第二容器内，第一容器与第二容器之间形成第三腔室(7)；所述第一腔室存储药液，其中，药液通过抽吸装置的抽液组件抽取后再通过抽吸装置的排出口(13)和注射针(14)注射至患者体内，本申请将抽吸装置的一部分组件直接集成在药液容器中，将抽吸装置的排出口直接设置在装置的底部；本实用新型得到药液注射器实现了小型化、节约体积，给患者更佳便利的佩戴体验。
抽吸装置第一容器药液注射器第二容器本实用新型第一腔室弹性膜刚性壁排出口贴片式抽液组件第二腔室药液容器液体容器直接设置注射针腔室抽取佩戴存储注射体内抛弃便利节约申请

[实用新型]一种流量测试辅助设备及流量测试装置-CN201821859107.1有效
发明人：宋阳阳;温赛赛;胡慧珊;马硕;王新亮 -专利权人：苏州原位芯片科技有限责任公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： G01F15/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种流量测试辅助设备，所述流量测试辅助设备包括固定板座、载置于该固定板座的测量通道、固定于该固定板座的保护壳，其中，所述固定板座上设有管道支承部，所述测量通道载置于所述管道支承部；所述保护壳的下部设有与所述管道支承部相对应的固定部，所述保护壳通过所述固定部固定在所述支承部上。本实用新型的流量测试辅助设备的结构设计，可以很好地保护芯片及PCB的稳定连接，减少环境和人为因素对测量电路的影响，保证流速测量的精度和准确性。
辅助设备固定板座流量测试支承部保护壳本实用新型测量通道固定部流量测试装置保护芯片测量电路流速测量人为因素稳定连接保证

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