“柯顺魁”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果10个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]应用矩阵积分法优化光刻部分相干模型的方法-CN202310749886.9在审
发明人： 柯顺魁 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本申请提供一种应用矩阵积分法优化光刻部分相干模型的方法，包括：步骤S1，部分相干光光刻成像理论模型的构建；步骤S2，部分相干光光刻成像模型的实现；步骤S3，积分法转换优化光刻部分相干成像算法。用矩阵积分法将计算光刻部分相干成像需要的四层循环转换成两层循环；或者，用矩阵积分法将等效光源的两层循环变成矩阵运算，然后将非相干叠加的两层循环采用并行算法，既缩短了光照修正的周期，也节省了光罩出版的交货期。
应用矩阵积分优化光刻部分相干模型方法

[发明专利]用于OPC数据采集过程的异常图形辨识学习方法-CN202310745964.8在审
发明人： 柯顺魁 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请提供一种用于OPC数据采集过程的异常图形辨识学习方法，包括：步骤一，OPC数据采集中的异常图形辨识；步骤二，将步骤一中得到的图形分类结果输入BP神经网络；步骤三，BP神经网络的训练学习；步骤四，将步骤三中得到的训练学习结果分类输出。根据本申请，能实现自动化的异常图像识别和异常数据过滤，将提取的正常图像和异常图像分别输入到BP神经网络中进行训练学习，从而进一步提高了OPC数据采集过程的异常图像处理效率，不仅可保证OPC数据采集的有效性，也减轻了OPC工程师的工作负荷。
用于 opc 数据采集过程异常图形辨识学习方法

[发明专利]一种自适应步长的光学临近效应矫正方法-CN202310631138.0在审
发明人： 柯顺魁 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本申请提供一种自适应步长的光学临近效应矫正方法，包括：步骤一，目标图形的边缘切割；步骤二，移动步长的自适应；步骤三，对目标图形的循环优化，直至满足预设的精度要求。通过本申请，充分考虑复杂芯片设计版图的OPC矫正需求和图像内部光学临近效应影响，可以显著提高对晶圆设计版图的OPC矫正效果。
一种自适应步长光学临近效应矫正方法

[发明专利]OPC修正方法-CN202211390279.X在审
发明人： 柯顺魁 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种OPC修正方法，包括：步骤一、在最佳光刻工艺条件下进行OPC建模数据收集建立基准OPC模型。步骤二、在偏离最佳光刻工艺条件下进行OPC建模数据收集建立验证OPC模型。步骤三、采用基准OPC模型对原始版图进行OPC修正得到OPC修正后的版图。采用验证OPC模型对OPC修正后的版图进行图形仿真得到验证仿真图形；判断验证仿真图形是否超出规格，如果超出规格，则重复步骤二进行OPC建模数据补充测量；如果没有超出规格，则验证OPC模型有效。本发明OPC模型能包含光刻工艺的制程参数的变化信息，当光刻工艺的制程参数在最佳光刻工艺附近变化时，依然能保证OPC修正的准确性。
opc 修正方法

[发明专利]版图图形边缘分割方法-CN202211390612.7在审
发明人： 柯顺魁 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种版图图形边缘分割方法，边缘分割中包括进行纹波抑制的边缘切分，纹波抑制的边缘切分包括如下步骤：步骤一、采用OPC模型的光刻模型提取版图的图形的各边的空间光强曲线。步骤二、计算所述空间光强曲线上的极值点。步骤三、在版图的图形的对应的边上形成以各极值点为中心的切分片段。本发明能基于OPC模型来改进版图图形的边缘分割，不需要工程师花费大量的时间来调试OPC配方，从而能获得稳定的OPC配方的调试时间，且具有较好的OPC修正精度。
版图图形边缘分割方法

[发明专利]OPC数据采集方法-CN202010104203.0在审
发明人： 柯顺魁 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-02-20 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种OPC数据采集方法，包括步骤：步骤一、在晶圆上形成多个测试图形；步骤二、采用CD SEM对各测试图形进行测量形成对应的原始测量图像；步骤三、对原始测量图像进行异常图像识别，包括如下分步骤：步骤31、对各原始测量图像进行灰度转换形成对应的中间转换图像；步骤32、对中间转换图像进行特征值提取；步骤33、根据提取的特征值计算各中间转换图像之间的相关系数；步骤34、根据相关系数识别出异常图像并将异常图像过滤掉。本发明能实现自动化的异常图像识别和异常数据过滤，并从而能有效减轻OPC数据量测过程中的工程师人工经验干预，既保证了OPC数据采集的有效性，也减轻了OPC工程师的工作负荷。
opc 数据采集方法

[发明专利]光刻工艺中曝光后烘烤的最佳温度的选取方法-CN201910400738.X在审
发明人： 柯顺魁 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-05-15 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻工艺中曝光后烘烤的最佳温度的选取方法，包括步骤：步骤一、建立光刻工艺，确定光刻工艺条件。步骤二、采集原始版图数据。步骤三、采用光刻工艺中的曝光后烘烤的上限温度和下限温度范围内，逐渐改变曝光后烘烤的温度并得到和对应的光刻图形，根据光刻图形对原始版图进行OPC修正得到对应OPC修正结果；步骤四、对各OPC修正结果进行比较选取最佳的OPC修正结果，以最佳的OPC修正结果对应的曝光后烘烤的温度为理论最佳温度并进而确定最佳温度。本发明能实现光刻工艺中曝光后烘烤的最佳温度的选取，在选取的最佳温度下能使整个版图范围内的光刻工艺效果达到最佳。
光刻工艺烘烤曝光光刻图形原始版图光刻工艺条件采集

[实用新型]网纹甜瓜表型的无损测量装置-CN201220721041.6有效
发明人：李磊;黄丹枫;柯顺魁;张凯;周倩;李梅玲 -专利权人：黄丹枫
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种网纹甜瓜表型的无损测量装置，包括图像采集系统、控制器、显示器以及夹持器，图像采集系统与控制器相连接，图像采集系统用于采集待测网纹甜瓜RGB图像和深度图像并发送至控制器；控制器与显示器相连接，控制器用于向图像采集器发送控制信号，接收并处理图像采集器采集的RGB图像和深度图像，提取待测网纹甜瓜表型信息，显示器用于显示控制器处理得到的网纹甜瓜表型信息；夹持器与图像采集系统相连接，夹持器用于夹持固定待测量的网纹甜瓜表型。本实用新型的装置可在不损坏网纹甜瓜植株的前提下，直接用于在温室提取网纹甜瓜表型特征；可防止测量装置采集图像时外界环境变化对样品造成的影响，且装置体积小、测量效率高。
甜瓜表型无损测量装置

[发明专利]网纹甜瓜果实表型提取与量化方法-CN201210563856.0有效
发明人：黄丹枫;李磊;柯顺魁;苗玉彬;常丽英;牛庆良;唐东梅 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2012-12-21 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： G06K9/60 文献下载
摘要：本发明公开了一种网纹甜瓜果实表型提取和量化方法，包括步骤：S1采用参照物法利用RGB-D视觉传感器采集网纹甜瓜果实的RGB图像和深度图像，并对RGB图像进行预处理；S2对预处理后的图像进行分割，获取参照物图像，并计算像素长度比；S3基于深度图像分割果实，利用像素长度比，计算得到果实的形状特征参数；S4将深度图像中获得的果实的轮廓信息，用在RGB图像中获取果实的RGB图像区域；S5针对果实的RGB图像区域，利用颜色空间转换，获取颜色参数H和S，基于果实RGB图像区域，用网纹覆盖率，灰度共生矩阵参数和多分形维数参数，量化甜瓜网纹特征。本发明的方法提高了网纹甜瓜表型提取的全面性以及获取效率，提高了网纹甜瓜表型量化的客观性和准确性。
甜瓜果实表型提取量化方法

[发明专利]基于手持设备的蔬菜生产水肥药管理系统-CN201110054058.0无效
发明人：苗玉彬;柯顺魁;黄丹枫;张凯;刘晓嵩;朱春燕 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2011-03-08 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： A01G1/00 文献下载
摘要：一种田间作业的农机技术领域的基于手持设备的蔬菜生产水肥药管理系统，包括现场传感器、传感数据汇聚站点、手持设备、远程服务器；现场传感器定时采集环境数据信息，传感数据汇聚站点保存来自现场传感器的数据信息，手持设备接收、显示和存储来自传感数据汇聚站点的数据信息，将水肥药的投放信息发送至远程服务器，识别温室的ID号。本发明结构简单、成本低廉，适宜无线网络环境下的作物栽培过程使用。
基于手持设备蔬菜生产水肥管理系统

1
共 10 条