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- [实用新型]一种载台平行度检测仪-CN202021900845.3有效
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蔡文必;林鑫;张灿秋
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厦门市三安集成电路有限公司
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2020-09-03
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2021-03-30
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G01B11/27
- 本实用新型公开了一种载台平行度检测仪，属于半导体的制程设备领域。包括：一放置于载台上的支架，支架设置有三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；支架连接有显示单元，显示单元的面板侧设有操作按键；支架设有电源且电连接三个测距单元和显示单元；利用了三个不在一条直线上的点确定一个平面、平行四边形对边等长且两两平行的几何原理；不需要载台处于水平状态，仅通过三个测距单元的测距数值，就能够快速判断载台和作业面是否相互平行；并且载台平行度检测仪可以适配不同型号载台，通配率高。
- 一种平行检测
- [发明专利]垂直腔表面发射激光装置-CN201980044575.4在审
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巴布·达亚尔·巴多拉帕斯
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厦门市三安集成电路有限公司
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2019-07-08
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2021-03-19
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H01S5/024
- 一种VCSEL装置(10)，包括一基材(100)、第一型和第二型掺杂分布式布拉格反射器(110，140)、第一及第二电极(120,170)、一主动层堆叠(130)、一反相表面浮雕层(150)及一限制件(160)。该反相表面浮雕层(150)具有一有一凹槽宽度(W1)的表面浮雕凹槽(151)。该限制件(160)界定一供由主动层堆叠(130)所产生的一激光光束穿过且具有一不小于8μm且不小于该表面浮雕层(151)的该凹槽宽度(W1)的1.6倍的贯孔宽度(W2)的贯孔(161)。该反相浮雕层(150)具有一等于该激光光束的波长的n/4倍的最小厚度，n是一不小于2的正偶数。
- 垂直表面发射激光装置
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