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[实用新型]一种加热组件-CN201820402999.6有效
发明人：管长乐;南建辉;张金斌 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2018-03-23 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体设备加工技术领域，尤其涉及一种加热组件。本申请提供的加热组件，设于载板下方，包括呈上下设置的第一加热单元及第二加热单元，第一加热单元包括多根平行布置的第一加热元件，第二加热单元包括多根平行布置的第二加热元件；第一加热元件的排布方向垂直于第二加热元件的排布方向设置，且第一加热元件与第二加热元件在载板加热面上的投影构成多个环形加热区域。结构简单，设计合理，通过设有上下两层的加热单元，每个加热单元均包括多根加热元件，且两个加热单元的加热元件在载板加热面上的投影共同构成了多个环形加热区域，如此，把载板的加热面分为多个环形的区域，有效提高了加热温度分布的均匀性，利于工艺结果的提升。
加热元件加热单元载板加热组件加热区域平行布置排布加热投影加工技术领域加热温度分布半导体设备本实用新型方向垂直方向设置工艺结果上下两层上下设置加热面均匀性申请

[实用新型]一种氮化物薄膜太阳能电池-CN201820503196.X有效
发明人：马亮 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2018-04-10 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： H01L31/056 文献下载
摘要：本实用新型提供一种氮化物薄膜太阳能电池，包括衬底、非掺杂层、布拉格反射镜、n型掺杂层、非掺杂多量子阱层、p型掺杂层；在衬底上从下向上设置非掺杂层、布拉格反射镜、n型掺杂层、非掺杂多量子阱层和p型掺杂层，n型掺杂层的边缘区域为台面，在台面上设置有n型欧姆电极，p型掺杂层上设置有p型欧姆电极。本实用新型采用的DBR结构具有高反射率波段可调的特性。通过调整DBR结构中高、低折射率层的氮化物组分、厚度和周期数来调节高反射率波段位置，实现高反射率波段与电池光谱响应曲线的一致、协调；亦即，将高反射率波段调整到与太阳能电池处于高量子效率的波段一致的位置。如此，可使器件的效率实现最大化。
高反射率太阳能电池波段布拉格反射镜本实用新型氮化物薄膜多量子阱层非掺杂层非掺杂衬底电池光谱响应低折射率层高量子效率边缘区域波段调整波段位置向上设置效率实现台面氮化物可调的周期数最大化协调

[实用新型]温度调节装置及晶片真空加热装置-CN201820439210.4有效
发明人：卢继奎;张金斌;南建辉 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2018-03-29 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G05D23/19 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶片加热技术领域，提供一种温度调节装置及晶片真空加热装置。其中，温度调节装置包括多块角度可调的反射板，安装在晶片以及用于加热所述晶片的加热单元之间的热传递路径上，用于调整所述加热单元向各块所述晶片辐射的热量。本实用新型的温度调节装置，反射板可以将加热单元发出的热量或者光线反射到不同位置。从而，当加热单元由于装配误差或者加工误差等原因导致真空壳体内晶片温度不均匀的时候，可以在不改变晶片真空加热装置内部布局的情况下，通过调节反射板的角度解决晶片温度不均匀的问题。
晶片温度调节装置加热单元真空加热装置反射板本实用新型不均匀热传递路径光线反射加工误差角度可调晶片加热装配误差真空壳多块加热体内辐射

[实用新型]工艺液体加热装置-CN201820301723.9有效
发明人：宋俊超 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2018-03-05 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： F28D1/047 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工艺液体加热装置，其包括加热槽、工艺槽、热交换器、供液管路和回液管路；其中，工艺槽上设置有进液口和出液口；热交换器设置在工艺槽中，热交换器包括并排设置的相互连通的进液管和出液管，且进液管的进液口和出液管的出液口位置相邻；供液管路的两端分别与加热槽和进液管连通；回液管路的两端分别与加热槽和出液管连通。本实用新型提供的工艺液体加热装置，通过将进液管和出液管并排设置，可以使工艺液体温度与出液管中的低温热媒的温度同样维持在较高的水平，从而降低工艺液体温度波动，保证了工艺液体的温度持续保持在恒定的温度水平，提高了工艺液体整体温度的均匀性。
工艺液体出液管进液管加热装置热交换器工艺槽加热槽连通本实用新型并排设置供液管路回液管路进液口出液口位置低温热媒温度波动温度水平出液口恒定的均匀性保证

[实用新型]一种基片装夹装置-CN201820285583.0有效
发明人：刘旭 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基片装夹装置，包括：设置在载板上的基座，所述基座与溅射源位于所述载板的相对两侧；与所述基座轴连接的压片，且所述压片用于将基片压装在所述载板上；设置在载板的远离基座的一侧的驱动机构，压片处的载板上设置有通孔，所述驱动机构穿过所述通孔，且用于驱动所述压片旋转；阻挡件，所述阻挡件位于所述基片与所述通孔之间，且所述阻挡件设置在所述压片与所述载板之间。本实用新型提供的基片装夹装置，通过在基片与通孔之间设置阻挡件，且阻挡件位于压片与所述载板之间，从而实现对溅射材料从通孔到达基片侧围通道的阻断，避免溅射材料通过通孔绕镀到基片周侧；本实用新型结构简单，应用方便。
通孔压片阻挡件本实用新型装夹装置载板溅射材料驱动机构相对两侧基座轴溅射源侧围压装穿过驱动应用

[发明专利]一种双结薄膜太阳能电池组件的制作方法及其电池组件-CN201710212569.8在审
发明人：顾世海 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2017-04-01 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种双结薄膜太阳能电池组件的制作方法及其电池组件，其由多个电池单元连接而成，每个电池单元包括底电池和顶电池，底电池上设有图形化的绝缘层及与底电池电性连接的背面金属电极层，顶电池上设有图形化的正面金属电极层，底电池为多晶Ge底电池，顶电池为GaAs顶电池，底电池各层和顶电池各层呈外延方式倒置生长，GaAs顶电池至多晶Ge底电池之间依次生长有隧道结N型区和隧道结P型区；正面金属电极层上及未被正面金属电极层覆盖的顶电池上形成有减反射层。本发明采用倒置生长方式，有利于提高晶体质量，采用一次性生长完成电池结构，能够简化工艺，提高产品的良率，而且用Ge作为底电池不需要生长复杂的电池结构，有利于电流的传输。
底电池顶电池正面金属电极层生长薄膜太阳能电池组件电池结构电池组件倒置隧道结图形化双结绝缘层背面金属电极层单元连接电池单元电性连接多个电池减反射层外延方式一次性多晶良率制作传输覆盖

[发明专利]一种多腔室间气氛隔离装置及方法-CN201710179599.3在审
发明人：兰立广 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及半导体器件及结构制备技术领域，尤其涉及一种多腔室间气氛隔离装置及方法，气氛隔离装置包括第一反应腔室和第二反应腔室，两个反应腔室之间设有隔离间室，隔离间室内设有第一隔离墙和第二隔离墙；第一隔离墙和第二隔离墙共同围成进气腔，进气腔两侧形成第一隔离腔和第二隔离腔；第一隔离墙的顶部和第二隔离墙的顶部分别设有连通进气腔和对应的隔离腔的第一进气狭缝和第二进气狭缝；第一反应腔室和第二反应腔室的侧壁底部分别设有连通对应的反应腔室和隔离腔的第一排气狭缝和第二排气狭缝；第一隔离腔和第二隔离腔的底部均设有出气口；进气腔连接有进气口。实现两个腔室间气体良好密封的同时，两个反应腔室的工艺气体不会接触。
反应腔室隔离腔隔离墙进气腔气氛隔离装置排气狭缝多腔室隔离间进气狭缝连通进气口制备技术领域半导体器件工艺气体出气口侧壁腔室密封室内

[发明专利]一种一体化集成的能源供给产品及其制备方法与设备-CN201810073089.2在审
发明人：胡晓;侯珊珊;梁慧;刘琦 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2018-01-25 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： H01L31/0392 文献下载
摘要：本发明提供了一种一体化集成的能源供给产品，为三五族薄膜太阳能电池和全固态薄膜锂电池的集成，太阳能电池的正极连接锂电池的正极集流体，负极连接锂电池的负极Li的集流体，锂电池的正负极集流体通过导线与负载连接。本发明还提供能源供给产品的制备方法、制备能源供给产品使用的设备，包括手套箱，手套箱内集成有磁控溅射镀膜设备、真空蒸镀设备和热压设备。本发明的能源供给产品，采用三五族薄膜太阳能电池，采用质量较轻的柔性衬底，太阳能电池整体厚度在200微米以下，重量面积比为300g/m2，远小于晶硅电池的重量面积比；采用薄膜全固态锂电池，衬底为柔性；整个能源供给产品厚度在1毫米以内，具备柔性，轻便易携带。
能源供给锂电池制备薄膜太阳能电池太阳能电池一体化集成集流体面积比衬底磁控溅射镀膜设备全固态薄膜锂电池全固态锂电池真空蒸镀设备正极集流体产品使用负极连接负载连接晶硅电池热压设备正极连接负极手套箱正负极轻便手套薄膜携带

[实用新型]单面抛光用多晶片厚度补偿装置及研磨设备-CN201721583246.1有效
发明人：宋士佳;童翔 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2017-11-23 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆制备技术领域，尤其涉及一种单面抛光用多晶片厚度补偿装置及研磨设备。该装置包括载具，所述载具上开设有多个晶片容纳槽，所述晶片容纳槽内设有晶片承载垫和伸缩机构，所述晶片承载垫的第一面用于安装待研磨晶片，所述晶片承载垫的第二面与所述伸缩机构的伸缩端相连接，并可在所述伸缩端带动下沿纵向来回移动；所述载具设有用于将所述载具与研磨设备的研磨头相连接的连接器。该研磨设备，其包括研磨设备本体、设于所述研磨设备本体上的研磨头，以及上述单面抛光用多晶片厚度补偿装置。该厚度补偿装置能够将各待研磨晶片的工作面自动调整至位于同一水平面上，减少了人力物力成本，该研磨设备简化了工艺步骤。
研磨设备厚度补偿装置单面抛光晶片承载多晶片晶片容纳伸缩机构研磨晶片研磨头制备技术领域连接器本实用新型工艺步骤人力物力同一水平第二面伸缩端伸缩晶圆下沿载具移动

[实用新型]一种尾气处理设备的清理装置-CN201721400895.3有效
发明人：庞云玲;南建辉 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： B08B9/043 文献下载
摘要：本实用新型涉及工业废气回收处理技术领域，尤其涉及一种尾气处理设备的清理装置，包括刀具、刀具驱动组件和筒体安装座，刀具包括连接件和设于连接件上的刀片，连接件与刀具驱动组件连接，尾气处理设备的套筒安装于筒体安装座上，刀片与套筒做相对运动，以将套筒上沉积的固体刮除。本实用新型尾气处理设备的清理装置，用于尾气处理设备上的套筒的清理，套筒上沉积有固体，刀具驱动组件控制刀片的运动状态，筒体安装座控制套筒的运动状态，使刀片和套筒形成相对运动形式，在相对运动过程中刀片接触套筒并进行刮削动作，将套筒上沉积的固体刮落，实现尾气处理设备中沉积固体的清理和回收。
尾气处理设备套筒刀片沉积刀具驱动清理装置筒体安装连接件本实用新型运动状态刀具工业废气回收相对运动过程相对运动形式接触套筒控制套筒套筒安装组件控制组件连接中刀片刮除刮落刮削回收

[实用新型]一种弯曲形变检测装置-CN201820052818.1有效
发明人：何金正 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2018-01-12 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种弯曲形变检测装置，其包括升降机构、第一安装架、第二安装架、控制器以及指示器件，第一安装架和第二安装架分别位于升降机构的两侧；第一安装架和第二安装架上设置有相对应的第一对射传感器和相对应的第二对射传感器，第一对射传感器与第二对射传感器在竖直方向上的距离大于待测工件的厚度；控制器与升降机构、第一对射传感器以及第二对射传感器分别电连接，升降机构用于使待测工件运动至第一对射传感器与第二对射传感器之间的指定位置；第一对射传感器和第二对射传感器均与指示器件电连接。本实用新型的弯曲形变检测装置，其能够较好地实现对待测工件是否发生了弯曲形变的检测。
传感器安装架升降机构弯曲形变检测装置本实用新型待测工件指示器件控制器电连接竖直检测

[实用新型]一种闸阀以及内部集成闸阀的真空腔室-CN201721835018.9有效
发明人：高少飞 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： F16K11/065 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜设备的真空腔室技术领域，公开了一种闸阀以及内部集成闸阀的真空腔室。所述闸阀包括阀座、阀板以及气缸组件，所述气缸组件包括气缸载板以及气缸，所述阀板设置在所述气缸载板的正上方，所述气缸固定在所述气缸载板上且所述气缸的缸体位于所述气缸载板的下方，所述气缸的气缸杆穿过所述气缸载板与所述阀板固定连接并推动所述阀板在所述阀座上移动；所述气缸载板的板面外周大于所述阀板的外周，所述气缸载板能够与该闸阀安装的腔室的底板开口密封连接。本实用新型闸阀以及内部集成闸阀的真空腔室，在进行阀板维护时，可使阀板与气缸组件整体从腔室底部拆卸下来，这样就可减少上盖的拆装和检漏工作，也可减少对腔内的污染。
气缸阀板载板闸阀真空腔室内部集成气缸组件本实用新型阀座腔室外周底板开口镀膜设备密封连接闸阀安装气缸杆上移动板面拆装缸体检漏腔内上盖拆卸穿过污染维护

[实用新型]一种温度均匀性检测装置-CN201721833120.5有效
发明人：杨巍 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2017-12-25 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： G01K11/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种温度均匀性检测装置，包括光信号模块、第一光纤和第二光纤，光信号模块和第一光纤均位于加热装置的外部，第一光纤的一端固定于光信号模块上，第一光纤的另一端固定于加热装置上；第二光纤设于加热装置内的待测温区域，第二光纤的伸出端与第一光纤相连接。该装置可以避免与加热装置中的物料架发生干涉，同时，可以更好地贴合靠近物料的待测温区域，增加了对物料的测温范围，解决了现有技术中因物料架遮挡，存在物料检测遗漏的问题，提高了温度均匀性检测的精度。
光纤加热装置光信号模块温度均匀性测温检测装置物料架本实用新型物料检测伸出端贴合遗漏遮挡干涉检测外部

[实用新型]一种真空测量装置-CN201721758220.6有效
发明人：赵青松;南建辉 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空规技术领域，尤其涉及一种真空测量装置，包括沿压力传导方向依次设置的前级腔室和真空规，前级腔室与真空规连通，前级腔室内设有前级隔膜，真空规内设有测量隔膜，前级隔膜与测量隔膜之间形成压力传导腔，压力传导腔内填充有压力传导液。本实用新型的压力传导液体可用于有腐蚀性气体的真空环境中，避免造成真空规的测量隔膜被腐蚀的问题，也避免真空环境中的易沉积物质在真空规内壁和测量隔膜上沉积，引起测量隔膜变形，影响真空度的检验精度的问题；即使沉积物质会造成前级腔室入口的堵塞，造成前级隔膜变形，也不会影响检测精度，即使腐蚀性气体造成前级隔膜损坏，位于前级腔室中也便于前级隔膜更换，不会影响到后续真空规。
前级真空规测量隔膜压力传导沉积隔膜腔室真空测量装置本实用新型腐蚀性气体真空环境变形压力传导方向隔膜更换隔膜损坏腔内填充腔室入口依次设置影响检测影响真空传导液有压力可用内壁连通堵塞腐蚀室内检验

[实用新型]一种冷却板-CN201721701901.9有效
发明人：邓曾红;管长乐 -专利权人： 北京创昱科技有限公司
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜领域的冷却设备技术领域，公开了一种冷却板，包括冷却板本体，所述冷却板本体内设置有循环水道，所述循环水道为进、回水通道并行的水道。本实用新型提供的冷却板通过在冷却板本体内设置进、回水通道并行的循环水道，提高了冷却板的换热效率，解决了因进水、回水温差引起的整体冷却板温度不均匀的问题。
循环水道冷却板冷却回水通道并行体内本实用新型冷却板本体热效率回水温差冷却设备真空镀膜整体冷却不均匀进水水道